基于微控制器的风速风向传感器系统设计

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1、基于微控制器的风速风向传感器系统设计*张燕波，沈广平，董自强，秦　明，黄庆安（东南大学MEMS教育部重点实验室　南京　210096）摘　要：提出了一种基于惠斯通全桥电路的热式风速风向传感器系统设计方案。传感器芯片结构利用ANSYS软件进行了热学和电学的耦合仿真，并进行了结构优化。芯片采用剥离工艺在陶瓷衬底上加工而成，利用直接安装技术对传感器进行封装。系统采用恒温差工作原理进行控制，热温差工作原理测量风速和风向。系统中微控制器集成的电流型D/A对传感器恒温差控制模式的初始状态进行设定，同时补偿环境温度的变化造成的输出信号的漂移，使得系统的工作温度扩展到-40~60℃。热温差检测模式利用位于片上

2、的8个温敏元件构成两路惠斯通全桥电路连接，这种设计在保证灵敏度的同时提高了其测量范围。本系统的微控制器集成了大量模拟和数字模块，减少片外元件使用量，大幅缩小系统体积，同时能够提高测量系统的测量精度及可靠性。通过风洞测试表明，该系统能够完成360º风向检测，精度达到3°，风速的检测范围达到35m/s。关键词：MEMS；温度补偿；风传感器系统；智能传感器系统中图分类号：TN36　　文献标识码：A　　国家标准学科分类代码：510.3030DesignofwindsensorsystembasedonmicrocontrollerZhangYangbo,ShenGuangping,DongZiqia

3、ng,QinMing,HuangQing’an(KeyLaboratoryofMEMSoftheMinistryofEducation,SoutheastUniversity,Nangjing210096,China)Abstract：ThispaperproposedanthermalwindsensorsystembasedonWheatstonefullbridge.ThesensorstructurewasoptimizedbyANSYSsoftwareinthermalfieldandelectricalfield.Thechipwasfabricatedontheceramics

4、ubstratebyliftoffprocess,andpackagedbythedirectchippackagingtechnology.Theconstanttemperaturedifferencemodeisusedtocontrolthewindsensorsystem,whichtheintegratedcurrent-typeD/Aisintroducedtosettheinitialstateofthismodeandcompensatethesystemfluctuationcasedbythedriftofambienttemperature,thereforethes

5、ystemworkingtemperatureextendfrom-40℃to60℃.CalorimetricmodeadopteighttemperaturesensingelementstoformtwoWheatstonefullbridges,soastoimprovethetestingrangeandsignalsensitivitysimultaneity.Asthemicrocontrollerintegratesalargenumberofanaloganddigitalcomponents,thenumberoftheoff-chipcomponentscanberedu

6、ced,aswellasthesizeofthesystem.Windtunneltestresultsshowthatthewindsensorsystemcandetectwindspeedupto35m/sandwinddirectionof360º,thewinddirectionerroris3º.Keywords：MEMS;temperaturecompensation;windsensorsystem;smartsensorsystem第10期张燕波等：基于微控制器的风速风向传感器系统设计21451　引　　言收稿日期：2009-01　　ReceivedDate：2009-01*

7、基金项目：国家863项目（2007AA04Z306）资助风速风向是气象资料中非常重要的部分，在气象预报、环境监测与控制等方面有重要的应用。传统的测量方法主要用风杯来测量风速，用风向标测量风向[1]。这些机械装置体积大、价格昂贵，且具有移动部件，维护不便。近20年来，微电子机械系统（MEMS）的发展为风速传感器的发展带来了新的突破口[2]。基于微机械加工技术的热式风速传感器可以同时完成风速风向的测量，且具有精度