即时表徵影像及形貌量测方法研究

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1、工研院量測中心九十六年度分包研究規格及受託對象資格說明序號案名1即時表徵影像及形貌量測方法研究2AOI盲孔陰影區孔深檢測方法與系統之研究3表徵顯微及動態特性量測方法研究4液晶模組參數量測研究5薄膜蝕刻圖案多波長偏光影像對比分析模式研究6雷射共焦精微檢測與驗證技術7製作及測試Mirco-bolometersthermaldetector8血壓臨床資料庫建立9陣列晶片等效折射率評估10基因晶片點印之螢光定量技術研究11顯示器品質主觀評價方法建立12影像品質評價影片研發與製作13低對比度二維影像處理技

2、術研究工研院量測中心九十六年度分包研究規格及受託對象資格說明共13案，第1案分包研究案名稱即時表徵影像及形貌量測方法研究分包研究經費450仟元主計畫名稱(經費來源)先進製造與系統關鍵技術發展四年計畫分包研究背景說明成果用於何處？為何要分包研究？分包案與主計畫關聯性？靜態與動態表面量測為表面量測之基礎，但由於無法即時的擷取到干涉圖形，使得受到環境所造成的誤差嚴重影響實驗的精確度，為了提高實驗的精確度，穩定度與效率，進而發展出即時相移干涉量測法。干涉技術可解決高精密度、高解析度的問題，但所花費的時間

3、需要更長，無法即時的表徵；而運用即時相位轉換干涉術可解決時間方面的問題，利用此優點來減少環境所造成的誤差，縮短實驗所需的時間，使得實驗結果之精確度提高。分包研究需求說明一、結案驗收規格、功能、指定研究方法利用基本的光學元件特性來達到產生相位差的效果，配合上兩個PBS與四台CCD，即可達到同時擷取四個不同相位的干涉圖形(1)文獻蒐集：蒐集與深入分析和即時表徵影像與形貌量測方法相關之國內外文獻。(2)理論分析：研讀即時表徵影像與形貌量測之相關理論架構與數學公式所代表的意義。(3)實驗雛型系統之建立：

4、包含對光學系統架構之模擬、電腦控制與影像資料擷取、軟體運算之配合以及系統之整合與測試。(4)實驗程序與方法建立即時相移量測方法之建立：光源之控制方法、光干涉強度與對比度之控制、向位分布修正、雜訊處理、系統誤差來源之分析與控制、量測系統之校正。進行實例量測以及結果分析與評估。二、分包對象必須具備何種經驗、設備，或技術能力之要求具架設白光干涉儀及解相軟體撰寫、多ccd影像同步處理，光路設計之經驗。具白光干涉儀等設備。三、其他要求徵求分包對象學術研究單位分包研究預定期間96年2月15日至96年11月3

5、0日如需進一步了解指定研究方法、規格，請與本中心李雅萍小姐聯絡，電話035743707招標、決標、簽約、撥款作業，請與本中心金娟如小姐聯絡，電話035743816工研院量測中心九十六年度分包研究規格及受託對象資格說明共13案，第2案分包研究案名稱AOI盲孔陰影區孔深檢測方法與系統之研究分包研究經費400仟元主計畫名稱(經費來源)自動光學顯微檢測設備技術關鍵計畫分包研究背景說明成果用於何處？為何要分包研究？分包案與主計畫關聯性？成果用於盲孔孔深檢測;運用大學之前瞻研究能力;可使用此技術克服AOI量

6、測陰影問體分包研究需求說明一、結案驗收規格、功能、指定研究方法深度解析度：2μm演算法與光機系統能克服陰影問題二、對象必須具備何種經驗、設備，或技術能力之要求國內大學或研究機構徵求分包對象學術研究單位或研究機構分包研究預定期間96年2月1日至96年11月30日如需進一步了解指定研究方法、規格，請與本中心涂鐘範先生聯絡，電話035743880招標、決標、簽約、撥款作業，請與本中心金娟如小姐聯絡，電話035743816工研院量測中心九十六年度分包研究規格及受託對象資格說明共13案，第3案分包研究案名

7、稱表徵顯微及動態特性量測方法研究分包研究經費450仟元主計畫名稱(經費來源)平面顯示器設備技術開發三年計劃(2/3)分包研究背景說明成果用於何處？為何要分包研究？分包案與主計畫關聯性？1.成果將應用於干涉顯微儀的動態量測技術2.藉由與學術單位之合作，學習相關的技術能力，加速計劃執行3.為主計劃未來之發展方向分包研究需求說明一、案驗收規格、功能、指定研究方法1.搭配干涉顯微技術之全域動態三維輪廓量測功能2.自動化共振頻率偵測及掃瞄功能3.動態量測頻寬：大於等於3MHz4.全域量測範圍：大於等於25

8、6×256二、包對象必須具備何種經驗、設備，或技術能力之要求1.具備光干涉顯微量測技術經驗2.具備光干涉顯微量測系統3.具備MEMS元件動態量測經驗者佳4.具備高頻(1MHz以上)驅動電路設計經驗者佳三、其他要求徵求分包對象學術研究單位或研究機構分包研究預定期間96年2月1日至96年11月30日如需進一步了解指定研究方法、規格，請與本中心童啟弘先生聯絡，電話035732296招標、決標、簽約、撥款作業，請與本中心金娟如小姐聯絡，電話035743816工研院量測中心九十六年度分包研究規格及受託對象