激光精密刻蚀机技术参数

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1、激光精密刻蚀机技术参数1.用途说明：设备加工对象主要包括聚酰亚胺等聚合物材料、陶瓷（氧化铝、氮化铝、氧化锆、氮化硼等）、玻璃、石英、磷化铟等非金属材料，以及不锈钢、铸铁、钨铜等各种金属及合金材料；设备可对平面及曲面施行精细微加工；设备各部件高效集成，可实现高精度钻孔、切割及表面材料刻蚀等加工工艺。2.系统概述:主要构成序号配件数量1紫外激光器1台2五轴运动机构1套3振镜光学模组1套4CCD影像系统1套5光路传输系统1套6防尘系统1套7软件控制系统1套3.主要技术规格及要求:部件规格型号1)紫外激光器型号：Belin生产厂家：美国技术参数技术指标

2、输出功率7W@30kHz激光波长355nm冷却方式水冷模式TEM00重复频率20~100KHz脉宽＜25ns@30KHz平均脉冲稳定性＜2%@100kHz2)运动机构型号：非标定制生产厂家：德龙激光设备配备有X/Y/Z轴与A/B旋转轴，用于工件位置移动与调焦，其中旋转轴用于工件向心加工。安装板B轴-精密旋转台A轴-精密旋转台X轴线性机构加工幅面：250mm最大速度：200mm/s重复精度：±2um定位精度：±3um分辨率：0.1umY轴线性机构加工幅面：250mm最大速度：200mm/s重复精度：±2um定位精度：±3um分辨率：0.1umA轴

3、旋转模组旋转角度：360°定位精度：≤1arcminB轴旋转模组旋转角度：360°定位精度：≤1arcminZ轴调焦机构最大速度：25mm/s运动行程：100mm*注：以上精度数据参考JIS标准。1)振镜光学模组型号：Intelliscan生产厂家：德国SCANLABAG项目规格/功能扫描速度3000mm/s跳转速度14000mm/s单次扫描范围45mm×45mm场镜焦距100mm1)CCD影像相关旁轴影像系统（旁轴安装，用于定位）项目规格/说明视野大于0.4mm×0.4mm像素＞30万2)光路传输系统项目说明/规格备注光闸气缸驱动非标定制扩束

4、镜355nm2-10倍连续可调发散角可调四维调节功能3)防尘系统项目说明光学腔入光口增加紫外保护镜片光学腔密封机械配合橡胶密封条实现完全密封光学腔出光口与Z轴光学部分密封连接聚焦镜防尘安装紫外保护镜片设备集尘吹、吸结合提供专业风机，保证集尘风量平台防尘X-Y轴独立叠加从内到位，提供三层防尘设计4)软件相关功能详述多级管理安全操作软件支持多级权限管理设置可按需设置为工程师模式、操作员模式，保证设备安全稳定的操作图档导入、存储与导出功能软件支持CAD软件DXF、DWG等格式的文档直接导入、存储或导出；图形在线编辑操作界面具备加工图形的编辑窗口，可对

5、导入的图纸进行在线的增删或修改；对于用于工艺试样的图纸，软件提供基本的绘图功能，可在软件中做直接绘图工艺专家数据库软件可根据加工要求，对图纸不同图层的加工元素编辑不同的加工参数；对加工工艺参数具备编辑、存档、导入功能；加工参数保存与图纸名称保持一致，做到一一对应加工演示功能针对新品、新工艺开发，软件提供加工演示功能，即在激光器不出光的情况下，控制设备各部件参照设定参数加工，以便操作人员确定加工可能性端口监测错误诊断设备开机软件执行初始化，对设备激光器、平台及各I/O端口执行初检；加工过程，对平台及I/O端口执行实时监测，保证运行稳定无故障；在发

6、现运行故障时，对应在界面“信息输出区”显示错误信息，便于排查半自动寻焦功能软件提供半自动寻焦，即自动在材料上加工数个单元图形，由操作人员参照最佳加工效果设定对应焦点位置，该功能亦可用于离焦加工工艺确认振镜矫正功能软件提供振镜矫正功能，可按需在设备维护、点检期间，提供振镜矫正识别与精确定位配合CCD影像系统对图像进行识别，实现精确的定位功能各部件独立控制软件可实现对平台、振镜、I/O端口做独立控制，从而实现多种加工模式简易测量功能配合CCD影像系统，软件可实现对加工工件进行简易的尺寸测量4.设备关键部件品牌及产品序号名称产地品牌1激光器中国Bel

7、lin2X-Y轴导轨日本IKO3X-Y轴电机荷兰TECNOTION4X-Y轴驱动器以色列ELMO5X-Y轴光栅尺德国Jena6X-Y轴读数头德国Jena7振镜光学模组德国SCANLABAG10影像镜头日本慕藤光11影像CCD韩国Balser12扩束镜德国jenoptik13聚焦镜德国SCANLABAG定制14工控机台湾研华15运动控制卡美国Galil16PLC控制器日本MITSUBISHI5.设备工作环境1)设备安装空间：3000mm（W）×3000mm（L）×2500mm（H）2)电力需求：380V/20A50HZ，整机功率5000W3)空气

8、需求：除油除水的压缩空气4)环境温度：20-25℃5)环境湿度：湿度40%～60%，变异量小于5%℃/8Hrs6)其他：机房附近无强烈震动，强磁场，强