洁净车间环境监测

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1、主讲人：王晓曦洁净车间环境监测Smallpureandfreshandbeautifulreporttemplate洁净室环境控制要点洁净车间环境监测分类及参数标准车间环境监测方法纯化水的检验方法及结果标准ontents一、洁净室环境控制要点温湿度、压差风速、尘埃粒子、沉降菌、浮游菌二、洁净车间环境监测分类及监测结果标准试剂生产部质量管理部温湿度、压差、风速尘埃粒子、沉降菌、浮游菌监测分类十万级洁净室参数标准序号项目控制要求1温度18℃-28℃2相对湿度45-65%3压差洁净室（区）相对于室外大气的静压差应≥10pa空气洁净级别不

2、同的洁净室（区）之间的静压差应≥5帕人流和物流通道应是从外向内压差逐步增加4尘埃粒子≥0.5um≥5um3，500，000个/m320，000个/m35沉降菌/皿106浮游菌／m35007换气次数/h≥15三、车间环境监测方法项目内容温湿度标准规定温度为18～28℃、相对湿度为45%～65%监测时间净化空调系统正常运行于30min以后开始监测工具指针式温湿度计，温度精度为1℃，湿度精度为1%监测人员洁净室生产操作员监测位置洁净室各区域监测频次2次/天（一）、温度、湿度通过洁净区各房间放置的温湿度表读数在洁净区厂房温度或相对湿度监测

3、中，发现结果超出范围时，应及时查明原因，进行必要的调整。《洁净区车间温湿度控制规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-013）（二）、压差压差监测位置空气洁净级别不同的相邻房间洁净区（室）内外监测标准≥5pa≥10pa监测时间净化空调系统正常运行于30min以后开始监测工具微压表监测人员洁净室生产操作员监测频次2次/天监测状态动态测试通过洁净区房间墙壁上的压差表读数注意：洁净区所有的门应关闭，测试时不允许有人穿越房间，微压表示数稳定后再读数。测试过程必须在达到平衡状态后进行。当洁净室压差不足时，应及时报告，立即调查原因，按照《空气净化系统

4、使用标准操作规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-014）进行必要的调整，应检查洁净室密闭性或更换初、中效过滤器或适当加大新风阀开度，以提高总送风量和新风量，保证洁净区（室）压差合格。（三）、尘埃粒子1定义尘埃粒子，一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒。监测要点标准规定具体内容监测时间净化空调系统正常运行时间不少于30min后开始监测工具尘埃粒子计数器监测人员质检部操作员监测方法、监测位置具体查看《尘埃粒子测定标准操作规程》监测频次正常生产过程中，生产洁净室（区）尘埃粒子的测定每季度一次，停产时半年测定一次。监测状态静态测试（or动态）洁

5、净度控制标准不同洁净级别生产区域的控制标准动态测试时以低一级洁净度级别的静态标准为参考。洁净度级别静态尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm≥5μm100级3,500010,000级350,0002,000100,000级3,500,00020,000300,000级10,500,00060,0002、仪器：尘埃粒子计数器。3、测试规则3.1测试条件（1）温度和湿度洁净室（区）的温度和湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃-28℃，相对湿度控制在45%-65%之间）。（2）压差空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应>5Pa

6、，空气洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。3.2测试状态：静态或动态均可进行测试。静态测试时室内测试人员不得多于2人。测试报告中应标明测试状态及室内测试人数。3.3测试时间1）静态a测试时，对非单向流洁净室，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。在静态b测试时，对非单向流洁净室，测试宜在生产操作人员撤离现场并经过20min自净后开始。2）在动态测试时，须记录生产开始的时间及测试时间。注：静态a：洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，生产

7、工艺设备已安装、洁净室（区）内没有生产人员的状态。静态b：洁净室（区）在生产操作全部结束，生产操作人员撤离现场并经过20min自净后。动态：洁净室（区）已处于正常生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。6、测试步骤1）仪器开机接通电源，预热至稳定后将采样管接入仪器自净口，仪器开始自净至尘埃粒子数为零。2）采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置（《尘埃粒子测定标准操作规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-028）附录A）。按附录B确定洁净室（区）采样点数目后进行采样。3）采样管口置采样点采样时，在确认技术

8、稳定后方可连续读数。每次采样量不得低于最小采样量（附录C）。4）将测试结果打印输出。7、采样注意事项1)非单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口宜向上。2)布置采样点时，应尽量避开回风口。3)采样时，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量少活动。4)