《真空技术介绍》word版

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1、真空泵选型的注意事项关键词：真空泵选型、真空设备选型1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、选择真空机组：(1)当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。(2)有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大

2、气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。5、当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。6、了

3、解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽（油烟）对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。在我

4、们考虑到了各种情况后，才能最后确定一个适应于您的解决方案：(1)最小的投资费用。(2)最小的生产运行费用。(3)将前两种情况合理均匀分配的可行方案。真空泵最佳工作范围 泵种类 油封机械泵 水蒸汽喷射泵 罗茨泵 油增压泵 油扩散泵 最佳工作范围(Pa) 105～10 105～102 102～1 1～10-1 5×10-2～10-4定律及公式  1、罗茨泵的前级抽速：  2、粗抽泵的抽速选择：S＝(0.1～0.2)S罗S＝Q1/P预S＝2.3Kq·V·lg(Pa/P预)/t S－机械泵有效抽速(升/秒) 

5、S罗－罗茨泵有效抽速(升/秒) Q1－真空系统漏气率(托·升/秒) P预－需要达到的预真空度(托) V－真空系统容积(升) t－达到P预时所需要的时间 Pa－大气压值(托) Kq－修正系数与设备终值时压强P有关真空概念及真空计算公式关键词：真空定义、真空计算、真空概念、真空计算公式1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位通常用托（T

6、orr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。7、流导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。　　U＝Q/(

7、P2-P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度

8、有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。15、冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来