上海大学公开邀请招标购置金属及合金薄膜用磁控溅射设备

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1、上海大学公开邀请招标购置“金属及合金薄膜用磁控溅射设备”的公告招标编号：SDSB-14002根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器设备招、投标管理办法》，上海大学材料科学与工程学院先进无机材料制备工艺教研室因教学、科研发展需要，现公开邀请招标采购金属及合金薄膜用磁控溅射设备。一、设备需求1.设备名称：金属及合金薄膜用磁控溅射设备。2.技术要求：2.1设备功能：射频溅射、直流溅射、垂直溅射、斜靶共溅射、全自动控制。2.2.样品反溅清洗：样品台可加负偏压，进行样品反溅预清洗及辅助沉积。2.3.真空获得及

2、真空隔断系统：2.3.1.极限真空度：9×10-5Pa；*2.3.2.溅射室：600升/秒分子泵、进口真空机械泵，150mm口径插板阀；*2.3.3.溅射室带有恒压控制能力，配有进口可在工作状态在线测量的进口真空规及压力调节阀。靶基距可调，可调范围60-100mm。2.4.电源系统：*2.4.1.射频电源：600W射频电源及自动匹配器1套，必须为进口产品；2.4.2.直流电源：1000W直流电源1台；2.4.3.偏压电源：-100V～-800V连续可调直流脉冲电源1台。2.5.气路系统：配有2台质量控制器，控制Ar、O2独立进气。2.6.

3、加热系统：共溅射工位样品加热温度≥600℃；一个直溅射工位样品加热温度≥300℃。2.7.工件台及样品尺寸:*2.7.1.样品台可放置6英寸1片或2英寸样片6片；*2.7.2.垂直溅射、共溅射模式的工件盘为一个整体工件盘，不采用两个工件盘互换安装方式。工件台可自转，转速可调0-30rpm可调。*2.8.溅射均匀性：在4英寸范围内，溅射膜厚均匀性≤±5%。2.9.功率加载控制：提供电源功率的梯形、分段线性耦合加载控制模式。2.10.提供膜厚仪接口。2.11.控制系统：采用全自动控制方式。控制单元须采用进口PLC；控制软件运行在工业控制计算机

4、上，采用触摸屏操作。带有安全保护手段。3.主机、附件详细清单3.1、金属及合金薄膜用磁控溅射设备2台4.易损、易耗件清单和价格表请投标人提供所投设备的备品备件、易损、易耗件清单和价格表，并承诺在质保期后3年内以不高于上述清单价格按招标人不时要求的数量及合理时间向招标人提供该易损件和备品备件。二.投标方资质要求：1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。2、在中华人民共和国境内注册的独立法人且注册资金在人民币100万元（含100万元）以上。3、投标方须有完善的质量管理体系及详细说明（如果有的话）。三、设备报价1.报价单位应根据设备需求的

5、规定进行报价，其报价在采购过程中是不可以改变的（除非买方对设备提出新的要求）。2.报价单位对设备需求中所列的设备进行报价。报价单位可以用技术规格等于或高于同类品种的设备进行报价。3.进行报价的设备必须同时附设备图样，主要技术性能、主要技术指标和具体配置的书面资料。4.报价以人民币报价。四、交货时间中标厂商须在合同签约之日起90天内保质保量交付所有设备和附件。五、验收方式：设备到货后，由卖方、买方共同开箱验货；卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符。卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试，在系统整体调试完成后，买方认为合格后，签订系统

6、安装验收报告。卖方应在设备到货前一个月，对仪器实验室场地条件,如工作台、水、电、气等配套设施提出建议并出具场地准备书。验收一般应在二周之内完成，超过视作延期交货。延期多少天，相应地质保期延长延期天数的三倍（双方另有约定除外）。六、付款方式：设备到后付90%，验收合格后付10%。七、质量保证与售后服务1.质保期为自用户签署最终验收报告之日起24个月，在质保期间出现故障，供货商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损

7、坏，均由供货方负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供货方负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。2.货物到达学校后7天内由卖方负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供货方自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供货方公司专职技术人员，不得派出学生或供货方用户等非公司专职技术

8、人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。3.卖方根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。投标方提供详细的中文操作、维护指南。4.定期维护，终身保修，只收取零部件