三氟化氮-黎明化工研究设计院有限责任公司

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1、三氟化氮NF3气体在高能化学激光、电子工业(IC)以及太阳能光电产业等方面具有非常广泛的应用。目前，黎明院拥有一条年产500吨的NF3生产线，其生产工艺、设备均处于国内领先地位。主要用途：NF3的三个主要用途，一是用作高能化学激光气的氟源，二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂，三是应用于太阳能光电产业。NF3其它用途：生产全氟铵盐，用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度，在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。物化性质：NF3在室温和大气压力下是无色、稳定和有毒的气体。相对分子质量为71.002，沸点

2、为-129.06℃。NF3在室温下较稳定，但在800~1200℃下发生猛烈分解；NF3是一种有潜力的氧化剂，特别是在约200℃时，其反应性与氧相当；NF3在与其它元素反应时主要用作氟化剂；NF3在常温下不与水、稀酸和稀碱溶液反应，但在100℃下与碱性溶液接触时会缓慢水解生成亚硝酸盐及氟化物，在电火花作用下，NF3可与水猛烈反应；NF3与H2或氢化物可快速反应并放出大量的热，该反应是NF3用于高能化学激光器的基础；NF3可与有机物作用，但通常需升高温度以引发反应，因而常常发生爆炸；在低于70℃时N

3、F3气体对普通金属不腐蚀，因此可用钢、不锈钢、镍、铜和铝等材料制作相关设备。安全数据：NF3是一种有毒、不可燃的压缩气体；无气味，但其中所含的杂质使它闻起来有发霉的气味；暴露极限:OSHA:PEL=10ppm.ACGIH:TWA/TLV=10ppm.NIOSH:1000ppm.当进入浓度超过暴露极限的泄方区时需配备自给式呼吸器(SCBA)；氧化剂，会引起或促进金属和非金属物质的燃烧，特别是温度超过200℃时；燃烧产物有毒；使用NF3的任何系统都不应有油、油脂和其它有机物；存储于钢瓶中，压力小于1

4、500psig，盛装NF3的气瓶不允许在高于52℃的环境下使用、贮存和运输。包装规格：包装：高压无缝碳钢钢瓶包装规格：47L国标或DOT瓶、470LY瓶等。三氟化氮质量指标：项目(体积分数）指标三氟化氮(NF3),102≥99.9899.9999.996四氟化碳(CF4),10-6≤1005020氮(N2),10-6≤10105氧加氩(O2+Ar),10-6≤1053一氧化碳(CO),10-6≤1051二氧化碳(CO2),10-6≤1050.5氧化亚氮(N2O),10-6≤1051六氟化硫(SF

5、6),10-6≤1052可水解氟化物(以HF计)或总酸度，10-6≤111水(H2O)，10-6≤111GB/T21287-2007电子工业用气体三氟化氮黎明院生产现状：黎明院现有一套年产500吨的三氟化氮生产线，以生产4N以上规格的产品为主，并可提供GB/T21287-2007指标中其它规格产品。2008年，黎明院NF3产品通过了中国台湾某著名企业严格的清洗蚀刻试验，完全能够满足其生产需要，已进行了批量采购，目前反馈的使用报告表明黎明院NF3产品质量良好,并确定黎明化工研究院为NF3气体合格供

6、应商。2009年黎明院NF3生产工艺、质量控制、分析方法及产品质量通过了日本某著名气体厂商的仔细考察与严格检验，气体检测结果表明，黎明院的NF3产品质量已达到国际先进水平，随即与黎明院签署长期合作协议，开始批量采购。