真圆度测定仪说明书

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1、2仪器的设置下面介绍RA-116系列产品的设置环境和仪器的连接方法。2．1设置环境的选择使用环境对RA-116系列产品的测定功能有一定影响，因此设置仪器时要注意以下几点；·设置在无振动、无灰尘、无油污而且温度变化较小，相对稳定的场所。·避免选择温度急剧变化的场所，适合在20℃±10℃的温度范围内使用。·保存温度最好维持在－10℃~60℃。·避免在温度过高的场所使用。（湿度85%以下，在封闭的地方）·选择使用额定电压的90~110%之间的电源。·采用高精度测试仪进行测量时，要注意避免振动和空气流动的影响。2．2仪器的摆放2.2.1仪器的摆放布局主体部分以及空气过

2、滤器部分的摆放布局，请参照下图。2.2.2导线的连接方法请根据下图连接导线。警告仪器在发热、冒烟、焦味等异常状态下继续使用，有导致火灾或通电的危险。因此在使用时发生异常现象，请立即切断电源、拔掉电源插头。然后联系代理商或者营业所。2.2.3调整桌面（工作台，载物台）的安置注意以下操作请在规定大气压下进行。如在非规定大气压下进行操作，会损伤空气轴承。拆卸固定板（请参照示意图）。备注:在运送此仪器时要用到固定板，请保管好固定板。工作台的CX、CY两个角扭向左扭转，使工作台易置入中心轮。工作台安置到中心轮时，使中心轮的‘●’标记和工作台的CX角扭方向一致。插入酸化银

3、电池（适用于RA-116D产品）如图示，在工作台上固定的4个电池盒中插入酸化银电池。电池的使用年限通常为1～2年。如果，显示屏（LCD）有显示“B”字样，表示电池电量不足。这时，请立即更换电池。2.2.4调主机部分的水平请根据以下的顺序，调整主机的水平度。1．在供给压缩空气的状况下、主机接入电源。CRT画面设定到如下图所示位置。2．检测器支架和检测器按下图组装。3．检测器尽可能设置在桌面的外围。4．使工作台旋转时刻度尺偏转在5微米以内的状况下，慢慢的提高放大率，调出水平。5．在工作台上放置水平调整器，在下图的※标记处进行水平调整。在调出水平后，其他2点作为辅助

4、轻轻摁一下。3检测单元的调整3.1检测器的调适检测器的测头和R轴的中心轴不对齐，会产生误差。要对齐测头尖端和R轴的中心轴，请按以下顺序操作。检测器的调整有两种方法：水平调整和平面调整。（1）水平调整·竖直放置检测器支架（如图），调出工作台的中心。·使工作台静止不动。·如图转动调整螺丝，将检测器移至位移最大处。按顺时针方向转动调整螺丝，测头将向外移动。·提高放大率再按上面的顺序反复操作。注意直径微小、测量精度要求比较高的工件，使用水平调整。（2）平面调整·横放检测器·测头尖端对齐R轴的中心位置。A）在测头倾斜的状态下进行测量，必须重新调整测头尖端与R轴中心对齐。

5、测头倾斜时，调整检测器使测头下降至测头尖端位置（垂直时）。B）测头倾斜时（水平度测定等），要加入因倾斜而产生的误差，进行调整。3.2校准/校正/校对3.2.1校准本仪器由杠杆式检测器读出位移。所以，如果测头的长度变化，即使是统一变量，但不能判断是同一物体。如果更换了测头或者检测器主机的话，必须重新进行校准（含灵敏度）。3.2.2校准的种类（1）静态校准是在检测器中赋予已知的位移绝对值，使仪器经过校准打到赋予的值的校准方法。（2）动态校准调整仪器使测量数据与已知真圆度工件的数据相吻合的校准方法，叫动态校准。（3）直径校准待测工件的直径可以与已知直径的标准物进行比

6、较，以此测定直径的方法叫直径校准。注意·在进行直径校准时，事先要进行检测器灵敏度（静校准或者动校准）校正。·在校准之前，调出标准的中心点和水平。·标准物最好使用真圆度性能良好的产品。标准物直径由LSC基准圆直径代用。·测头角度有变更时，得不到正确的测量结果，需要重新进行灵敏度校准&直径校准。3.2.3校正方法（1）静态校准设定校准条件·在系统菜单【测定（M）】选项中选择【校正条件设定】·开始输入赋予的绝对值·模板校准，输入模数；标准量块校准，输入20微米准备校准·模板校准；◎在工作台放置标准物（如：参考半球、标准量块等），使它与检测器轻轻接触。（也可采用旋转工

7、作台的方法）◎停止供给空气，固定工作台。·标准量块校准；◎如图在光学玻璃上连接规块。◎将标准量块和光学玻璃置入工作台中心，使测头接触光学玻璃面，调出水平。偏差要小于0.5微米。◎调出水平后测头放置在标准量块的最高处。操作·在系统菜单【测定（M）】选项中选择【静态校准】·放大率为1000，检测器调“0”（单位：微米）（RA-300/400/700可以使用自动装置）·进入下一阶段，赋予一个位移，进行下一步模板校准，·检测器和基准面间插入模板；标准量块校准，·将调整桌面慢慢旋转，使测头尖端接触标准量块低部校正值的登录在输入测量数据即测量单位、名称、测头的偏转角度后，

8、请按登录。注意：测量数据没有进行登录，