精密拼接光栅多自由度控制系统分析

《精密拼接光栅多自由度控制系统分析》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、重庆大学硕士学位论文IV目录目录中文摘要..........................................................................................................................................I英文摘要................................................................................................

2、.......................................III1绪论.........................................................................................................................................11.1课题的研究背景..................................................................

3、............................................11.2精密拼接光栅的国内外研究现状..................................................................................31.2.1国内研究现状......................................................................................................3

4、1.2.2国外研究现状......................................................................................................41.3精密拼接光栅多自由度控制系统研究的关键问题......................................................61.3.1驱动和检测方案的优化研究.................................................

5、.............................61.3.2精密拼接光栅动态智能闭环控制算法的研究...................................................61.4本文主要研究内容..........................................................................................................61.4.1精密拼接光栅多自由度模型的分析...............

6、...................................................61.4.2驱动和检测方案的设计与分析..........................................................................61.4.3多自由度控制系统方案的设计..........................................................................61.4.4精密拼接光栅多自由度控制系统实验

7、及实验结果分析...................................71.5论文的结构内容安排......................................................................................................72精密拼接光栅理论模型分析及系统控制方案设计......................................92.1拼接光栅多自由度控制理论模型分析.....................

8、.....................................................92.2控制系统方案设计........................................................................................................102.2.1驱动方案分析.....