基于原子力显微镜

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1、基于原子力显微镜目录中文摘要及关键词．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．1前言．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11原子力显微镜（AFM）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21.1AFM

2、的物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21.2原子力显微镜的成像原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31.3原子力显微镜的主要构件和性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．.31.3.1激光器单元．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．

3、．．．．．．．．．．．．．．31.3.2微悬臂单元．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31.3.3压电扫描单元．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4（LsbyAtomicForceMicroscope(AFM)Abstract：ThispaperhasintroducedthebasicprinciplesofAtomicForceM

4、icroscope(AFM)indetectingthesurfacetopographyofsamplesshortly,andhasrevieodesofthisequipmentsuchascontactmode,non-contactmodeandtappingmodeindetails,andhasgiventheuniquepointoftappingmode,andhasstressedontheidiographicfunctionoftheinstrument’sparamete

5、r-analysisanddata-processing,andhasgivenprominencetothesuperiorityofAFMaccordingtotheparisonandanalysisbetaterialshasgreatvalue.Inthispaper,ZnOthinfilmsarepreparedbyCVDmethod,andthepropertiesoftheirsurfacetopographyhavebeenstudiedpletelybyAFM,includin

6、gthedirectionofthegraingroagnitudeofgrains,theshapeanddistributionofgrains.Andthispaperhasalsointroducedsomefunctionsoftheimagemanagingandanalyzingsoftshortly.KeyicForceMicroscope(AFM);surfacetopography;ZnOthinfilms;imageanalysis前言显微观测技术是人类视觉感官功能的延伸与增

7、强，以光学显微镜、电子显微镜为代表的1系列先进显微技术的出现与应用，为人类科技和社会的进步做出了巨大贡献。然而1切都还没有结束，科技是无止境的。1982年，IBM公司苏黎世实验室的G.Binning和H.Rohrer发明了世界上第1台扫描隧道显微镜(ScanningTunnellingMicroscope，简称STM)。STM仪器能够提供人们前所未有的高空间分辨率，利用STM，人类有史以来第1次在实空间观察到了原子的晶格结构图像，为人类认识微观世界的奥秘提供了有力的观察和研究工具。扫描隧道显微镜以

8、它优异的功能激起各国学者的极大关注，在它出现后的几年中，已经在物理学、材料科学、光电子学和微电子技术等领域中得到广泛应用。但是，STM的工作原理要求样品必须是电的良导体，所以它只能用于研究导体和半导体材料。而大部分的材料是不导电的，在研究它们时必须在样品表面覆盖1层导电薄膜。这既大大地增加了制样的难度，而且在很大程度上损失了样品的细节信息[1]。（作文网zicForceMicroscope，简称AFM)，它是在扫描隧道显微镜基础上，为了能够直接观察和研究非导电材料的表面形貌，经过改