GB-T14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮

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1、中华人民共和国国家标准GB/T14600一93电子工业用气体氧化亚氮Gasesforelectronicindustry-Nitrousoxide1主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用气体—瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮存与运输要求。本标准适用于硝酸钱热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。分子式:N20相对分子质量;44.01(按1989年国际相对原子质量)2}I用标准GB190危险货物包装标志GB3723工业用化学产品采样通则GB

2、5099钢制无缝气瓶GB5832.1气体中微量水分的测定电解法GB5832.2气体中微量水分的测定露点法GB6680液体化工产品采样通则GB7144气瓶颜色标志GB7230气体检测管装置GB7445氢气GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定气相色谱法GB10624高纯氛GB/T14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法3技术亲件氧化亚氮产品的质量应符合表1要求。表1项目指标氧化亚氮纯度,10-,)99.9974氨含量110_6(5二氧化碳含量,10-s(2一氧化碳含量,10-0簇1国家技术监仔局1

3、993一as一26批准1994一07一01实施GB/'r14600一93续表1项目指标烃CG--C(以甲烷计)含量,1os蕊1氮含量,10蕊10氧含量10-02一氧化氮含量.10“镇1二氧化氮含量.10-s〔1水含量,10-fi3注:纯度及杂质含量均以体积分数表示。4检验方法4.1采样方法采样时将样品钢瓶倒置。采取液相样品,液态样经气化后用导管与仪器直接连接。测定氧、氮、水、二氧化碳、一氧化碳和烃采用金属管,测定氨、一氧化氮和二氧化氮采用聚四氟乙烯管作为采样导管。4.2纯度氧化亚氮产品的纯度,用体积分数表示,按

4、式(1)计算:T=100一(9,十R十仍十9}4+叽+几+仍+R+"y)X10-"····”·(1>式中:,一氧化亚氮纯度,10-2;仍—氨含量,10-`;4'—二氧化碳含量,10-`;妈—一氧化碳含量,10-6;A-烃C,-C,(以甲烷计)含量,10-61毋—氮含量,10-6;丹—氧含量,10-b;9r—一氧化氮含量.10-b;外—二氧化氮含量11。一‘;升一水含量,10-1,4.3盆含f的测定4.3.1方法提要采用填装有澳酚蓝(或其他等效)显色剂的检测管来测定氧化亚氮中的氨。检测极限:0.5X10-1(V/

5、V),4.3.2设备及材料a.不锈钢针形阀。b.聚四氟乙烯管。c.氨检测管:测量范围(2^-30)X10-`(V/V)ad.流量计:测量范围0^200mL/min,4.3.3操作步骤4.3.3.1把不锈钢针形阀装在样品钢瓶出口处。4.3.3.2用导管将流量计与针形阀连接起来。·4.3.3.3将预先倒置的样品钢瓶阀门打开,用氧化亚氮气体充分置换系统,待能取到代表样后,将检测管连接在流量计出口处。GB/T14600一934.3-3.4当氧化亚氮气体通过检测管时开始计量。进样量和进样流量的控制,按检测管操作说明书进行

6、。4.3.3.5根据检测管颜色变化的长度,读出氨的含量。4.4一级化碳和二叙化碳含A的测定按GB8984的规定进行测定。但本标准改变了以下条件:a.载气:氢气。其纯度应大于99.999X10-"需符合GB7445规定。流速约30mL/min,b.尾吹气:氢气。将燃烧气气路改为氢作尾吹气。氢纯度应符合GB10624规定。。色谱柱:长约。.70m、内径4mm的不锈钢管,填装TDX-01碳分子筛,粒度为200^-250pm,d.柱温:约80'C。4.4.1标准混合气4.4-1-1标准混合气应符合国家的有关规定,并具有

7、国家标准化行政主管部门批准的编号。4.4.1.2标准混合气中一氧化碳和二氧化碳的浓度,应与待测样品中一氧化碳和二氧化碳的浓度相近,通常不大于被测样品中一氧化碳和二氧化碳浓度的200写,也不小于被测样品中一氧化碳和二氧化碳浓度的50%,4.4.1,3标准混合气的底气采用氢气。4.5烃C,-C,含t的测定按GB/T14606的规定进行测定。4.6氮和级含f的测定4.6.1仪器采用带有氦离子或带有光离子检测器的气相色谱仪,测定氧化亚氮中的氮和氧含量。检测极限:均不低于0.5x10-scv/v>,4.6.2仪器参数4.

8、6.2,仪器的操作参数,按仪器使用说明书和检测灵敏度要求选定。4.6.2.2色谱柱:长约1.5m,内径约4mm的不锈钢管,内装5A(或13X)分子筛,粒度为250-400拜m.4.6.2.3样品体积:1^-3mL,4.6-2.4检测器及色谱柱温度:室温。4.6.3标准混合气4.6.3.1标准混合气应符合国家的有关规定,并具有国家标准化行政主管部门批准的编号。4.6.3.2标准混合气中氮

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