基于积分散射理论的光学疵病快速检测方法

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1、基于积分散射理论的光学疵病快速检测方法　　Abstract：Inthispaper，adetectionsystemusedinquicklydetectingopticaldefectsisintroducedbasedontheintegralscatteringtheoryandphotometriccharacteristicsofintegratingsphere，ainlyappliedinthecurrentmassproductionofmobilephonelens.Themainpurposeofdetectionsystemisthatbecause

2、thetestedlensnumberishuge，thedetectionspeedbeesmoreandmoreimportant.aintainahighspeed.Consideringthecost，theforcostshouldnotbetooexpensive.Thedetectionprincipleisthatthedetectiondeviceshouldgettheflaatismenergyvoltageofthequalifiedandunqualifiedlensthroughdetectingtheirsamplestoestablisht

3、hedatabaseandthroughprocessingandthecontrastoftheexperimentaldata，thethresholdofdetectionstandardm的划痕属于长划痕表面疵病，日常检测即可发现。破边是指分布在元件周围、可能影响元件性能的局部人为结构，这类缺陷可能不在光学有效区域内，但也属于一种表面疵病。　　本文提出的检测方法其依据是积分散射理论，积分散射法一般是用于检测超光滑光学表面粗糙度，在本方法中，主要是利用了积分散射法测量透射散射的形式，通过检测装置获取待测镜头的疵病透射散射光总能量，然后根据疵病散射光总能量与疵病总面积

4、的关系判定疵病的严重程度，完成对镜头疵病的检测。　　1疵病检测方法与原理　　目前主要根据疵病对光的散射特性有别于其周围表面对光的散射特性这一特点来检测疵病，该检测方法包括两种类型，一类是成像法[2]，另一类是散射能量分析法[3]。其中，成像法大致包括掠射法[6]、目视法[4]、滤波成像法[5]等。散射能量分析法包括散射光能量角分布分析法[7]、散射光能量积分分析法等等。　　成像法是指针对精密光学元件表面进行成像检测表面疵病的方法。而成像检测的基础则在于目视检测。目视法这种传统方法目前在疵病检测领域被普遍应用。其检测原理是：用发散角经过一定约束的强光束照射被测光学元件表面，

5、检测员迎着反射或透射光束（或者避开反射或透射方向）观察被测表面区域，如果该区域在亮背景下存在暗像，或者暗视下存在亮像，就说明该表面区域有疵病。目视法检测方法简单、检测环境要求低、检测仪器简单。但是严格来讲，目视法是基于经验的缺陷检测，检测员的主观判断对检测结果影响较大，不同的检测员往往会得到不同的检测结果，检测精度低，检测速度较慢，且长时间的工作会对人眼造成损伤。　　滤波成像法主要由高/低通滤波成像法和自适应滤波成像法几个类型，检测原理是借助空间高通滤波器，使高频疵病散射光进入接收器，在光学表面形成疵病的亮相。或者借助空间低通滤波器，使低频疵病散射光进入接收器，在暗视下的

6、光学表面形成疵病的暗像。如果亮相或暗像面积较大，就说明疵病较大，如果亮相或暗像面积较小，说明疵病较小。如果对图像进行处理，还可以得到更多的疵病信息。而自适应滤波成像法与高通滤波成像法类似，只是滤去的频谱不是固定的，而是根据反射或者透射光的具体频谱特征而变化的。滤波成像法，精度高，可以非常直观地反应出疵病的程度，甚至可以计算出疵病位置，检测速度较快，但它也存在一定的局限性，如果待检疵病系统过小，则它很难检测出来。　　掠射法，是采用平行光斜射在被测元件表面，如果被照射表面区域完好，斜射的平行光被反射后会平行射出，如果被照射表面区域有疵病，则平行光产生的散射光进入光学成像系统（

7、相机）成像，最后利用数字图像处理算法和识别算法对疵病图像进行一系列的处理，从而达到检测疵病的目的。掠射法的应用非常广泛和灵活，通过对检测系统装置的改进，可以达到很高的检测精度，但处理步骤多、算法复杂，检测速度较慢。　　散射能量分析法，其基本原理是通过分析精密光学元件表面疵病散射光的散射角度和散射面积进行疵病诊断。该分析方法其实是通过疵病散射光能量积分对疵病进行量化判断，用具体数值来定义疵病的危害程度。目前常被提到的积分散射法，其原理是基于一个积分半球积分统计散射光的能量，再通过探测器所显示的数值来定义疵病的危害程度。在实际应用