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1、显微镜观测光斑大小摘要介绍用显微镜观测光斑大小的方法。显微镜观测光斑大小的方法结合分析软件，可以测量和分析尺寸小、形状不规则、能量分布复杂的单色光和复合光形成的光斑，为需要对光斑进行评估的各种应用领域提供了实时、快速、有效的测量方法。通过该实验能了解到不同波长的光斑大小，以及光斑大小与显微镜放大倍数和观测角度之间的关系。测量显微镜的光学系统形成物方远心光路,使被测工件的光学成像落在仪器的分划板上,然后通过目镜使分划板上的标准刻线对工件影像进行瞄准,以达到测量的目的。因此,影像法是测量显微镜的最常用、最基本的测量方法。关键词：测量显微镜，影像法，波长，
2、观测角度，放大倍数23MICRORCOPYSPOTSIZEABSTRACTIntroductionspotsizewithamicroscopeobservationmethod.Microscopeobservationmethodcombinedwithspotsizeanalysissoftwarecanmeasureandanalyzesmallsize,irregularinshape,monochromaticlightenergydistributionandthecomplexformationofcompositebeamoflig
3、htforthespottoassesstheneedforavarietyofapplicationsprovidesreal-time,fasteffectivemeasurementmethod.Theexperimentcanbelearnedbydifferentwavelengthsoflightspotsize,andspotsizeandmicroscopemagnificationandviewinganglerelationship.Measuringmicroscopeopticalsystemtelecentricinobje
4、ctform,enablingtheopticalworkpiecepartitionimaginginstrumentson-boardfall,andtheneyepiecesothatthestandardpartitionboardgrooveontheworkpieceimagetoaimtoachievethemeasurementpurpose.Therefore,theimagemethodisthemostcommonlyusedmeasuringmicroscope,thebasicmeasurementmethod.KeyWor
5、d:measuringmicroscope,imagingmethod,wavelength,observationangle,magnification23目录摘要IABSTRACTII第一章绪论11.1测量显微镜11.1.1测量显微镜107JA11.1.2测量显微镜的使用11.1.3测量显微镜正常使用注意事项21.2观测光斑3第二章测量光斑的方法42.1观测光斑大小的方法42.1.1CCD摄像法42.1.2光纤探针扫描法52.1.3测量大数值孔径光学系统小光斑6第三章材料与方法83.1实验材料83.1.1显微镜83.1.2滤光片、凸透镜、激光器1
6、03.2实验方法113.3实验步骤133.4实验测量方法14第四章实验的结论与分析164.1实验结论164.1.1解决问题164.1.2实验结果16234.2实验分析20结论21致谢22参考文献2323第一章绪论1.1测量显微镜测量显微镜是一种大型的精密测量仪器，具有准确度高、功能全等特点，是生产企业长度计量工作中最常用的光学仪器之一。测量显微镜的光学系统形成物方远心光路，使被测工件的光学成像落在仪器的分划板上，然后通过目镜使分划板上的标准刻线对工件影像进行瞄准，以达到测量的目的。因此，影像法是测量显微镜的最常用、最基本的测量方法。由于测量显微镜还配
7、备了许多辅助设备，所以除了最基本的影像法外，它还能实现轴切法、光学接触法、机械测量法、双像法等测量手段，以达到不同的测量目的。1.1.1测量显微镜107JA产品简介：测量显微镜107JA，采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。107J为光栅数显的小型精密测量仪器。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360º的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量；采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可
8、连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量。是一种理想的多用途的小型精密测量仪
