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时间:2018-10-31
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1、静电知识共4页,目前1/4页[1][2][3][4] 1.ESD的含义及三种型式ESD的含义: ESD是代表英文ElectroStaticDischarge即"静电放电"的意思。ESD是本世纪中期以来形成的以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热(火花)效应(如静电引起的着火与爆炸)及和电磁效应(如电磁干扰)等的学科。近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂,对静电放电的电磁场效应如电磁干扰(EMI)及电磁兼容性(EMC)问题越来越重视。三种型式: 1.人体型式即指当人
2、体活动时身体和衣服之间的摩擦产生摩擦电荷。当人们手持ESD敏感的装置而不先拽放电荷到地,摩擦电荷将会移向ESD敏感的装置而造成损坏。 2.微电子器件带电型式既指这些ESD敏感的装置,尤其对朔料件,当在自动化生产过程中,会产生摩擦电荷,而这些摩擦电荷通过低电阻的线路非常迅速地泻放到高度导电的牢固接地表面,因此造成损坏;或者通过感应使ESD敏感的装置的金属部分带电而造成损坏。 3.场感类型式即有强电场围绕,这可能来之于塑性材料或人的衣服,会发生电子转化跨过氧化层。若电位差超过氧化层的介电常数,侧会产生电弧以破坏氧化层,其
3、结果为短路。 4.其它还有:机器模式、场增强模型、人体金属模型、电容耦合模型、悬浮器件模型。 2.静电术语及定义①静电:物体表面过剩或不足的静止的电荷②静电场:静电在其周围形成的电场③静电放电:两个具有不同静电电位的物体,由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电 荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后,击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。④静电敏感度:元器件所能承受的静电放电电压⑤静电敏感器件:对静电放电敏感的器件⑥接地:电气连接到能供给或接受大量电荷的物体,如大地,船等.⑦中和:利用异性电荷使静电消失⑨防
4、静电工作区:配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有明确的区域界限和专门标 记的适于从事静电防护操作的工作场地。3.静电的产生①摩擦:在日常生活中,任何两个不同材质的物体接触后再分离,即可产生静电,而产生静电的最通方法,就是摩擦生电。材料的绝缘性越好,越容易是使用摩擦生电。另外,任何两种不同物质的物体接触后再分离,也能产生静电。②感应:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如将其置于一电场中,由于同性相斥,异性相吸,正负离子就会转移。③传导:针对导电材料而言,因电子能在它的表面自由流动,如与带电物体接触,将
5、发生电荷转移。 4.静电对电子工业的影响 集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场(StaticElectricField)和静电电流(ESDcurrent)成为这些高密度元器件的致命杀手。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动,空气流动,搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感。A.静电对电子元件的影响①静电吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响产品的功能与寿命。②因电
6、场或电流破坏元件的绝缘或导体,使元件不能工作(完全破坏)。③因瞬间的电场或电流产生的热,元件受伤,仍能工作,寿命受损。B、静电损伤的特点:①隐蔽性人体不能直接感知静电,除非发生静电放电,但发生静电放电,人体也不一定能有电击的感觉。这是因为人体感知的静电放电电压为2-3KV。②潜伏性有些电子元器件受到静电损伤后性能没有明显的下降,但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐患,而且增加了器件对静电的敏感性。已产生的问题并无任何方法可治愈。③随机性电子元件什么情况下会遭受到静电破坏呢?可以这么说,从一个元件生产后一直到它损坏以前所
7、有的过程都受到静电的威胁,而这些静电的产生也具有随机性。由于静电的产生和放电都是瞬间发生的,及难预测和防护。④复杂性静电放电损伤分板工作,因电子产品的精细,微小的结构特点而费时、费事、费钱,要求较复杂的技术往往需要使用扫描电镜等精密仪器,即使如此有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别,使人误把静电损伤失效当作其它失效,这是对静电放电损害未充分认识之前,常常归咎于早期失效或情况不明的失效,从而不自觉的掩盖了失效的真正原因。⑤严重性ESD问题表面上看来只影响了制成品的用家,但实际上亦影响了各层次的制造商,如:保用
8、费、维修及公司的声誉等等。5.静电对电子元器件的危害及防护原理 电子元器件按其种类不同,受静电破坏的程度也不一样,最低的100V的静电压也会对其造成破坏。近年来随着电子元器件发展趋于集成化,因此要求相应的静电电压也在不断减弱。 人体平常所感应的静电电压在2-4KV以上,通常是由于人体的轻微动作或与绝缘物的磨擦而引
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