《半导体词汇》word版

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1、最新半导体词汇1.acceptancetesting(WAT:waferacceptancetesting);e+].Q"U+T-`5Q#w0H3.ACCESS:一个EDA(EngineeringDataAnalysis)系统+t$u;g7g3~D(d  

2、6.Alignmark(key):对位标记8O0j6o4w6r#a8.Aluminum)_.{/Y'E  T:`;t3Z9.Ammonia:O5@!w6

3、0H10.Ammoniumfluoride#l'

4、1y:_%z/K;e)I11.Ammoniumhydroxide,]6k(c

5、$S/Y$k)I12.Amorphoussilicon:α-Si,非晶硅(不是多晶硅)8R2S4_;s2}3[2{!i5k-t13.Analog:模拟的0s6n'O$K1r-c8g/T1T%H14.Angstrom)`'uS6h&V+}6Y%v,W:W+W;t15.Anisotropic:各向异性(如POLYETCH3E*^!G:b-X5R  Q6{8W(~16.AQL(AcceptanceQualityLevel):接受质量标准,在一定采样下,可以95%置信度通过质量标准(不同于可靠性,可靠性要求一定时间后的失效率)2}-]2u9

6、[.a(Q3](N3G3@){;g@1v17.ARC(Antireflectivecoating):抗反射层(用于METAL等层的光刻)1C*L1J/}/{8E7u0})]18.Antimony(Sb)锑#f/w)s;t:n"}19.Argon6O(U%E9T*a!N20.Arsenic0U3Q9K9q4l:p1G*T21.Arsenictrioxide*r8

7、4l  U9?6c-T)Z22.Arsine6X1N+_8x#i23.Asher,x5?1l7V3Q9F)l3{3x'Q24.Aspectration:形貌比(ETCH中的深

8、度、宽度比)O$?*b1n%X5Z25.Autodoping:自搀杂(外延时SUB的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层)3T0]0@8V+B3g26.Backend:后段(CONTACT以后、PCM测试前)"s)pU0`&A(?8p)y9z27.Baseline:标准流程:t5a7I7m2P+p28.Benchmark:基准;z%~)H3P(Y2[$S29.Bipolar:双极$o8f3q.a-.C7R1?30.Boat:扩散用(石英)舟%U(w"G  Z+s0m;m#A  Z0w31.CD:(CriticalDi

9、mension)临界(关键)尺寸。在工艺上通常指条宽,例如POLYCD为多晶条宽。W"w"r9~;i$W-G2L32.Characterwindow:特征窗口。用文字或数字描述的包含工艺所有特性的一个方形区域。;]3H.P/n!ow%[#}:q"r33.Chemical-mechanicalpolish(CMP):化学机械抛光法。一种去掉圆片表面某种物质的方法。#h57u+f3@'G34.Chemicalvapordeposition(CVD):化学汽相淀积。一种通过化学反应生成一层薄膜的工艺。%z"x3l4m5F/s2q*F35

10、.Chip:碎片或芯片。3`+?(I/Y/n%w36.CIM:computer-integratedmanufacturing的缩写。用计算机控制和监控制造工艺的一种综合方式。,_1F5Z4p1j5~39.Compensationdoping:补偿掺杂。向P型半导体掺入施主杂质或向N型掺入受主杂质。:?(H-o/w0h40.CMOS:complementarymetaloxidesemiconductor的缩写。一种将PMOS和NMOS在同一个硅衬底上混合制造的工艺。!`5Z"S#^,U9H9Z2A._41.Computer-aid

11、eddesign(CAD):计算机辅助设计。)

12、%P!L$Y4^/n,L9G42.Conductivitytype:传导类型,由多数载流子决定。在N型材料中多数载流子是电子,在P型材料中多数载流子是空穴。.p/F.i3J0G8C:F6C43.Contact:孔。在工艺中通常指孔1,即连接铝和硅的孔。+J(q$J7V,S1S*S44.Controlchart:控制图。一种用统计数据描述的可以代表工艺某种性质的曲线图表。-o6X5x!^9Q8R45.Correlation:相关性。5VL)S*m5`46.Cp:工艺能力,详见proces

13、scapability。%O/L6b,F,G4Eh8w47.Cpk:工艺能力指数,详见processcapabilityindex。0w:X%b*h9*w5q48.Cycletime:圆片做完某段工艺或设定工艺段所需要的时间。通

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