athlete晶圆植球机新程序建立

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1、ATHLETE植球机新程序的建立一，准备工作1，将机台TABLE改成我们所需要的尺寸，如BL6212为8寸产品，就需要将TABLE更换成8寸，详细见改机清洗规范2，检查球具是否是我们所需要建立程序产品的球具，若焊球成分，大小都相同则无需更换；只要其中有一样不同就需要更换球具，具体见改机清洗规范3，更换相应的STENCIL，具体见改机清洗规范wafer上左右两个特殊点相对于MAP中心点的坐标；3，MAP中心点分别相对于stencil上左下角球和右下角球的坐标左下角最外侧一个球中心为测量STENCIL上第一个对位点一，建立程序1

2、，手自动开关旋至MANUAL档，按“HOME”进行原点复位2，按“STOP”进入停止状态NEWTYPE3，选择“FILE”右侧显示功能菜单，选择“NEWTYPE”来进行6’或8’产品原程序的COPY，例如：TI8YRZI8是8寸产品，NEW6是6寸产品4，选择一个作为拷贝程序后进行程序新建命名，如：输入BL03EVS85，选择“RecipeEditor”，然后选择右侧“TYPECHANGE”选择刚刚所创建的新程序，按“OK”保存，系统载入新程序三，参数的输入与修改1，将“TYPEDATA”打开，选择“OPERATIONDAT

3、A”2，选择WAFER尺寸和设置片厚参数3，保存参数设置4，选择“WAFERRECOGNITIONPOINT”4，选择“PRINTINGMOVEMENTSETTING”9，GAPBTWWAFERANDMASK和GAPGAPBTWWAFER&MASK和GAPBTWSUPPORT&MASK这两个参数值跟胶量有关，新建程序时可以不改，涂胶后根据胶量而改。5，在“TYPEDATA”界面底下选择“PAGEDOWN”进入下一页，然后选择“BALLRELEASESETTING”来进行球量设定。6，因为COPY的是8寸程序，所以“BALLR

4、ELEASESETTING”只需修改一片WAFER的球数由2个植球BRUSH来分配，由于片子是-135°放置，左边BRUSH分配总球数X40%，右边BRUSH分配总球数X60%四，WAFER与MASK的位置和图像识别1，将WAFER手动模式传递到TABLE上，具体见操作规范2，返回MANUAL操作的主界面，选择第三项“TYPEREGISTRATION”。3，选择“RECOGNITIONPOINTTRANSFER®ISTRATION”4，选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”进行WAFER上识

5、别点位置的移动5，先移动到前面一个识别点的认识位置6，观察左边显示器是否已经移动到我们在CAD图上标识的识别点位置。如图所示已经在特殊DIE（即识别点）附近。7，如果显示屏上没有显示识别点，则需要去观察识别WAFER的CAMERA当前所在位置，靠近人一侧的为识别FRONT点的CAMERA，靠后的是BACK点的CAMERA，见下图。8，观察识别点与CAMERA偏差位置后，选择软件“TABLEJOGMOVE”9，根据偏差距离，选择适当的JOG量（小键盘5为JOG量+，0为JOG量-），然后移动TABLE上（Y+），下（Y-），左

6、（X-），右（X+）。10，利用上述JOGMOVE，将白色十字线移到识别点的标识位置，如图11，在“TABLEJOGMOVE”中记下当前的X,Y坐标值，如图X：1145.107Y：84.66012，CANCEL“TABLEJOGMOVE”，再次选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的FRONTPOINT，打开此时的“TABLEJOGMOVE”，记下当前的x’,y’坐标值，例如x’：1144.107，y’：83.660X轴方向的偏差量A=X-x’=1145.107-1144.107=1同理Y方向的

7、偏差量B=Y-y’=84.660-83.660=1。然后选择“TYPEDATA”中的“WAFERRECOGNITIONPOINT”，将FRONTPOINT的X,Y坐标值分别减去A.，B，保存退出。13，再选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTPOINTTRANSFER”去检查下补正参数后的识别点位置是否正确，若正确则进行下一步，反之则再进行以上步骤校准。14，选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACKPOINTTRANSFER”15，同样方法找

8、到BACKPOINT的正确位置16，按“PAGEDOWN”进入下一界面，选择“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”17，选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTTRANSFER”18，待移动到waferFRONT识别点后选择