athlete晶圆植球机新程序建立

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时间:2018-10-30

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1、ATHLETE植球机新程序的建立一,准备工作1,将机台TABLE改成我们所需要的尺寸,如BL6212为8寸产品,就需要将TABLE更换成8寸,详细见改机清洗规范2,检查球具是否是我们所需要建立程序产品的球具,若焊球成分,大小都相同则无需更换;只要其中有一样不同就需要更换球具,具体见改机清洗规范3,更换相应的STENCIL,具体见改机清洗规范wafer上左右两个特殊点相对于MAP中心点的坐标;3,MAP中心点分别相对于stencil上左下角球和右下角球的坐标左下角最外侧一个球中心为测量STENCIL上第一个对位点一,建立程序1

2、,手自动开关旋至MANUAL档,按“HOME”进行原点复位2,按“STOP”进入停止状态NEWTYPE3,选择“FILE”右侧显示功能菜单,选择“NEWTYPE”来进行6’或8’产品原程序的COPY,例如:TI8YRZI8是8寸产品,NEW6是6寸产品4,选择一个作为拷贝程序后进行程序新建命名,如:输入BL03EVS85,选择“RecipeEditor”,然后选择右侧“TYPECHANGE”选择刚刚所创建的新程序,按“OK”保存,系统载入新程序三,参数的输入与修改1,将“TYPEDATA”打开,选择“OPERATIONDAT

3、A”2,选择WAFER尺寸和设置片厚参数3,保存参数设置4,选择“WAFERRECOGNITIONPOINT”4,选择“PRINTINGMOVEMENTSETTING”9,GAPBTWWAFERANDMASK和GAPGAPBTWWAFER&MASK和GAPBTWSUPPORT&MASK这两个参数值跟胶量有关,新建程序时可以不改,涂胶后根据胶量而改。5,在“TYPEDATA”界面底下选择“PAGEDOWN”进入下一页,然后选择“BALLRELEASESETTING”来进行球量设定。6,因为COPY的是8寸程序,所以“BALLR

4、ELEASESETTING”只需修改一片WAFER的球数由2个植球BRUSH来分配,由于片子是-135°放置,左边BRUSH分配总球数X40%,右边BRUSH分配总球数X60%四,WAFER与MASK的位置和图像识别1,将WAFER手动模式传递到TABLE上,具体见操作规范2,返回MANUAL操作的主界面,选择第三项“TYPEREGISTRATION”。3,选择“RECOGNITIONPOINTTRANSFER®ISTRATION”4,选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”进行WAFER上识

5、别点位置的移动5,先移动到前面一个识别点的认识位置6,观察左边显示器是否已经移动到我们在CAD图上标识的识别点位置。如图所示已经在特殊DIE(即识别点)附近。7,如果显示屏上没有显示识别点,则需要去观察识别WAFER的CAMERA当前所在位置,靠近人一侧的为识别FRONT点的CAMERA,靠后的是BACK点的CAMERA,见下图。8,观察识别点与CAMERA偏差位置后,选择软件“TABLEJOGMOVE”9,根据偏差距离,选择适当的JOG量(小键盘5为JOG量+,0为JOG量-),然后移动TABLE上(Y+),下(Y-),左

6、(X-),右(X+)。10,利用上述JOGMOVE,将白色十字线移到识别点的标识位置,如图11,在“TABLEJOGMOVE”中记下当前的X,Y坐标值,如图X:1145.107Y:84.66012,CANCEL“TABLEJOGMOVE”,再次选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的FRONTPOINT,打开此时的“TABLEJOGMOVE”,记下当前的x’,y’坐标值,例如x’:1144.107,y’:83.660X轴方向的偏差量A=X-x’=1145.107-1144.107=1同理Y方向的

7、偏差量B=Y-y’=84.660-83.660=1。然后选择“TYPEDATA”中的“WAFERRECOGNITIONPOINT”,将FRONTPOINT的X,Y坐标值分别减去A.,B,保存退出。13,再选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTPOINTTRANSFER”去检查下补正参数后的识别点位置是否正确,若正确则进行下一步,反之则再进行以上步骤校准。14,选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“BACKPOINTTRANSFER”15,同样方法找

8、到BACKPOINT的正确位置16,按“PAGEDOWN”进入下一界面,选择“RECOGNITIONPATTERNRECOGNITION”17,选择“WAFERRECOGNITIONPOINTTRANSFER”中的“FRONTTRANSFER”18,待移动到waferFRONT识别点后选择

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