mems设计结课作业

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1、平时上课出勤及表现（20%）实验课出勤/实验结果检查/实验报告/期中测试（30%）课程结业试题理论/设计/总结报告（50%）课程最终成绩上面表格为该课程最终成绩记入方法。2011/2012学年第2学期《MEMSCAD》课程结业试题本结业试题包括：一、理论部分；二、综合设计实验部分；三、本课程主要内容总结报告。理论试题部分（40分）综合设计实验仿真部分（40分）课程总结报告（20分）总分拟题教师：谭秋林E-mail:tanqiulin@nuc.edu.cn2012-4-10理论部分1、按您的理解，请阐述运用

2、ANSYS软件进行分析求解问题的基本步骤和思路。结合本专业，谈谈其在所学专业中的应用。（10分》答：使用ansys软件的基本步骤和思路：定义参数，建模，网络划分，施加约束，加载荷求解，结果分析Ansys在微电子学专业中的应用：ANSYS是一个通用的有限元分析软件，它的能用性就表现它多种多样的分析能力，包括从简单的线性静态分析到复杂的非线性动态分析。而且，ANSYS还具有产品的优化设计、估计分析等附加功能。MEMS技术涉及力学、流体力学、热学、电学和电磁学等多学科交叉问题，MEMS器件作为新型器件，其设计已

3、不再是传统意义上的设计，而是包含了新工作机理的探索和新器件结构的开发。MEMS器件的设计需要综合多学科进行理论分析，这大大增加了设计参数选择的难度，常规的分析计算方法己无法应付设计需求。所幸的是当今计算机技术的进步使得CAD技术在器件设计屮得到广泛的应用，二维和三维计算机绘图技术的发展使我们能够对复杂的MEMS结构及版图进行计算机设计。有限元技术的应用使得人们可以用精确的计算机数值求解方法来分析和预测器件的性能，对器件工作的静态、准静态和动态模拟成为可能,从而能够对MEMS器件结构和工艺进行计算机模拟和设

4、计优化。2、分别阐述INTELLISUITE和L-EDIT软件在微电子学专业中的作用和能完成的任务。说明用INTELLISUITE软件分析仿真工程问题时的基本步骤。（16分》答：IntclliSuitc提供从概念设计到产品制造的MEMS解决方案。可进行多物理量的分析,其模拟和分析模块使用户无须进入实际生产即可评估所设计器件的工艺可行性和工作性能。它的突出特点是将著名的开发工具与先进的流水相结合，使MEMS产品迅速走向市场。具有多项领先技术和首要发明创新。软件可广泛运用于MEMS各个环节，是设计、分析、模拟

5、仿真传感器、加速度计、激励器、生物微流体芯片、射频开关以及光学MEMS器件的强大工具。L-Edit包含1C设计编辑器、自动布线系统、DRC设计规则检查器、netlist网表提取器、设计布局与电路netlist的比较器，这些模块组成了一个完整的1C设计与验证解决方案。L-EditPro丰富完善的功能为每个1C设计者和生产商提供了快速、易用、精确的设计系统。INTELLISUITE软件分析仿真的步骤：（1）工艺设计：包括硅片的加工、玻璃片的加.以及键合/封装I:艺；（2）T艺仿真：用mask创建掩膜阁形，用I

6、ntelliFab进行工艺仿真。①定义一个硅片；②清洗所定义的硅片；③在硅片底部淀积一层Si02;④再在其上淀积一层光刻胶；⑤淸洗光刻胶；⑥刻蚀SiO2;⑦刻蚀硅片；⑧淸洗全部的光刻胶；⑨刻蚀掉全部的SiO2。根据需要可以进行各种工艺。3、请阐述用完全法（Full）进行多步载荷下的工程问题的求解基本思路与方法。（6分》答：l〉Mainmenu>solution>analysistype>newanalysis>transient>ful1展开载荷步选项菜单mainmcnu>solution>unabrid

7、gcdmenu展幵载说步选项菜牢后，设置时间和载说步solution>loadstepopts>time/frequent>time-time'step在弹出的对话框［timeatendofloadstep］输入2.5E-005在［steppedorrampedb.c］单选列表中选择stepped2〉solution>loadstepopts>time/frequent>time_timesubstep>numberoftimesubstep输入503〉设置结果输出选项preprocessor>1oads

8、>1oadstepopts>outputctrls>DB/results选择Everysubstep4〉加载求解4、按您的理解，请预测国内以及欧洲等发达国家在未来十年后MEMSCAD技术的发展情况，目前中与欧洲等发达国家存在的差距和需解决的技术瓶颈问题。《8分》答：MEMS（MicroElectroMechanicalSystems,微机电系统）是多种学科交叉融合并具有战略意义的前沿高技术，是未来的主导产业之一。MEMS以其微