3、乙氧基)乙醇)(BDG)(100%,电子级,工作压力3-5bar),冷却水(入水:工作压力3-4bar,最大入水温度25°C,出水工作压力:最大2bar),新鲜空气(Freshair用于旋转器腔室)(工作压力100Pa),乙二醇(制冷机)。6、工艺描述:6.1、工艺条件:环境温度:+22°Cto+24°C;环境湿度:45to65%RHat专业技术资料word资料下载可编辑24°C;设计文件名称EdgeIsolation&PSGSelectiveEmitter工艺操作规程T-IS-026共6页第2页专业技术资料word资料下载可编辑6.2、工艺原理: Ed