大口径光学非球面超精密数控铣磨机开发研究

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1、毕业论文大口径光学非球面超精密数控铣磨机开发研究59毕业论文绪论1.1课题的背景和来源“大口径光学非球面超精密数控铣磨机”的开发研制隶属于“国家863计划”攻关项目，这个项目由某微纳精密机械有限公司承接。该公司是进行精密制造技术方面产品制造和技术研究开发的制造实体，由一批国内知名专家领队和年富力强的中青年技术人员组成，具有很强的科学研究和技术攻关能力。为了响应教育部的号召，实施大学本科教改计划，某微纳精密机械有限公司与中原工学院联合实施“卓越工程师”的培养计划。具体施行方法就是由该公司接收中原工学院大四学生来公司实习并完成毕业设计，为学生走上工作岗位提

2、供一个锻炼自己的平台。1.2研究的目的和意义非球面光学元件是一种非常重要的光学零件，因其在光学系统中能够很好的矫正多种像差，改善成像质量，提高系统鉴别能力，且能以一个或几个非球面零件代替多个球面零件，从而简化仪器结构，降低成本并有效的减轻仪器重量而得到重要应用。其加工质量的好坏与非球面加工机床的制造水平息息相关，因此，进一步提高我国非球面超精密机床的制造水平势在必行。为了提高非球面超精密机床的整体性能，其主要构件——Z轴的结构特性也至关重要。为此开展了对于大口径非球面超精密光学铣磨机Z轴结构特性的分析和优化。以期通过对该梁的结构静力学分析和结构动力学分

3、析，对横梁的结构做出优化设计，改善其静力学和动力学特性，从而保证机床的Z轴的精密进给，最终实现该铣磨机整体使用性能。研制出加工口径达900mm的光学非球曲面加工机床及成套应用工艺，可以满足国家国民经济主要领域和国防工业的重大需求，部分解决禁运和替代进口问题，提升我国相关领域的核心竞争力和创新能力。打破国外的技术封锁，使我国的非球面曲面光学零件的超精密加工水平提升一个大的台阶，从整体上缩短与世界最先进水平的差距。1.3国内外研究现状随着国防工业、航空、民用光学技术的发展，各种高精度的非球面光学元件越来越多地应用于高性能要求的光学系统中。光学元件因其具有矫

4、正多种像差，改善成像质量，提高系统鉴别能力59毕业论文等优点而得到广泛应用。目前，高精度非球面光学元件的使用受到其加工精度、表面质量和制造成本的限制，但是市场上对光学元件的需求促使各个国家致力于高精度非球面光学元件加工的技术研究。1.3.1国外非球面零件超精密加工技术的现状80年代以来，国外出现了许多种新的非球面超精密加工技术，主要有：（1）计算机数控单点金刚石车削技术计算机数控单点金刚石车削技术是由美国国防科研机构于60年代率先开发、80年代得以推广应用的非球面光学零件加工技术。它是在超精密数控车床上，采用天然单晶金刚石刀具，在对机床和加工环境进行精

5、确控制条件下，直接利用金刚石刀具单点车削加工出符合光学质量要求的非球面光学零件。该技术主要用于加工中小尺寸、中等批量的红外晶体和金属材料的光学零件，其特点是生产效率高、加工精度高、重复性好、适合批量生产、加工成本比传统的加工技术明显降低。采用该项金刚石车削技术加工出来的直径120mm以下的光学零件，面形精度达l/2～1l，表面粗糙度的均方根值为0.02～0.06mm。目前采用金刚石车削技术可以加工的材料有：有色金属、锗、塑料、红外光学晶体（碲镉汞、锑化镉、多晶硅、硫化锌、硒化锌、氯化纳、氯化钾、氯化锶、氟化镁、氟化钙、铌酸锂、KDK晶体）无电镍、铍铜、

6、锗基硫族化合物玻璃等。（2）计算机数控研磨和抛光技术计算机数控研磨和抛光技术是一种由计算机控制的精密机床将工件表面磨削成所需要的面形，然后用柔性抛光模抛光，使工件在不改变精磨面形精度的条件下达到镜面光洁度的光学零件制造技术。该技术主要用来加工中、大尺寸的非球面光学零件。工件加工精度主要取决于测量精度和所采用的误差校正方法。非球面光学零件的精密研磨抛光比较普遍采用的一种技术是：小型磨床修正研磨抛光法。小型磨床最早是由美国研究开发的，其磨头直径不超过工件的1/3，由计算机计算去除量，加工精度比较高。可以高精度地加工直径1500～1800mm的大口径非球面。

7、目前，美国亚里桑那大学的光学中心，已基本上用计算机数控研磨抛光加工技术取代了传统的手工研磨抛光加工非球面光学零件。80年代末，日本研制出了的超精密数控范成法研磨机，使用该研磨机加工出的光学零件，其面形精度达到了0.08μm，表面粗糙度的均方根值为0.2nm。若用沥青抛光模进行加工，表面粗糙度的均方根值能达到0.035nm。最近，日本采用门型机械加工中心，使用4000#～8000#铸铁丝结合金刚石砂轮，利用ELID（在线电解修正法）磨削法，磨削BK-7光学玻璃，所获得的非球面的面形精度为1μm，表面粗糙度为43nmRmax。德国的计算机数控研磨抛光技术也

8、59毕业论文很快。Loh公司生产的CNCSPM50和120研磨抛光机，不仅可以粗、精磨球面光学