电子元器件抗esd损伤的基础知识

《电子元器件抗esd损伤的基础知识》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、word资料下载可编辑引言4第1章电子元器件抗ESD损伤的基础知识51.1静电和静电放电的定义和特点51.2对静电认识的发展历史61.3静电的产生61.3.1摩擦产生静电71.3.2感应产生静电81.3.3静电荷81.3.4静电势81.3.5影响静电产生和大小的因素91.4静电的来源101.4.1人体静电101.4.2仪器和设备的静电111.4.3器件本身的静电111.4.4其它静电来源121.5静电放电的三种模式121.5.1带电人体的放电模式(HBM)121.5.2带电机器的放电模式（MM）131.5.

2、3充电器件的放电模型131.6静电放电失效151.6.1失效模式151.6.2失效机理15第2章制造过程的防静电损伤技术192.1静电防护的作用和意义192.1.1多数电子元器件是静电敏感器件192.1.2静电对电子行业造成的损失很大202.1.3国内外企业的状况222.2静电对电子产品的损害232.2.1静电损害的形式232.2.2静电损害的特点232.2.3可能产生静电损害的制造过程242.3静电防护的目的和总的原则242.3.1目的和原则242.3.2基本思路和技术途径252.4静电防护材料262.4

3、.1与静电防护材料有关的基本概念262.4.2静电防护材料的主要参数272.5静电防护器材272.5.1防静电材料的制品272.5.2静电消除器（消电器、电中和器或离子平衡器）292.6静电防护的具体措施31专业技术资料word资料下载可编辑2.6.1建立静电安全工作区312.6.2包装、运送和存储工程的防静电措施332.6.3静电检测332.6.4静电防护的管理工作35第3章抗静电检测及分析技术373.1抗静电检测的作用和意义373.2静电放电的标准波形373.3抗ESD检测标准393.3.1电子元器件静

4、电放电灵敏度（ESDS）检测及分类的常用标准393.3.2标准试验方法的主要内容（以MIL-STD-883E方法3015.7为例）403.4实际ESD检测的结果统计及分析423.4.1试验条件423.4.2ESD评价试验结果分析423.5关于ESD检测中经常遇到的一些问题433.6ESD损伤的失效定位分析技术443.6.1端口I－V特性检测443.6.2光学显微观察443.6.3扫描电镜分析453.6.4液晶分析463.6.5光辐射显微分析技术473.6.6分层剥离技术473.6.7小结483.7ESD和E

5、OS的判别方法讨论483.7.1概念483.7.2ESD和EOS对器件损伤的分析判别方法48第4章电子元器件抗ESD设计技术514.1元器件抗ESD设计基础514.1.1抗ESD过电流热失效设计基础514.1.2抗场感应ESD失效设计基础524.2元器件基本抗ESD保护电路524.2.1基本抗静电保护电路524.2.2对抗静电保护电路的基本要求534.2.3混合电路抗静电保护电路的考虑544.2.4防静电保护元器件544.3CMOS电路ESD失效模式和机理544.4CMOS电路ESD可靠性设计策略554.4

6、.1设计保护电路转移ESD大电流。554.4.2使输入/输出晶体管自身的ESD阈值达到最大。564.5CMOS电路基本ESD保护电路的设计564.5.1基本ESD保护电路单元564.5.2CMOS电路基本ESD保护电路574.5.3ESD设计的辅助工具－TLP测试58专业技术资料word资料下载可编辑4.5.4CMOS电路ESD保护设计方法604.5.5CMOS电路ESD保护电路示例614.6工艺控制和管理63参考文献：65专业技术资料word资料下载可编辑引言随着电子元器件技术的发展，静电对元器件应用造成

7、的危害越来越明显。一方面，电子元器件不断向轻、薄、短、小、高密度、多功能等方向发展，因而元器件的尺寸越来越小，尤其是微电子器件，COMSIC中亚微米栅已进入实用化，栅条宽度达到0.18um，栅氧厚度为几个nm或几十个Å，栅氧的击穿电压小于20V。尺寸的减小，就使电子元器件对静电变得更加敏感。而大量新发展起来的特种器件如GaAs单片集成电路（MMIC）、新型的纳米器件以及高频声表面波器件（SAW）等多数也都是静电敏感元器件；另一方面，在电子元器件制造和应用环境中，作为静电主要来源的各种高分子材料被广泛采用，使

8、得静电的产生更加容易和广泛。因此，必须应用各种抗静电放电损伤的技术，使静电对电子元器件的危害减小到最低的程度。编写本讲义的主要目的是对电子元器件制造和应用行业的有关技术和管理人员进行“电子元器件抗静电放电损伤技术”的基础培训。本讲义主要分为4个章节的内容。第1章“电子元器件抗ESD损伤的基础知识”，介绍有关静电和静电放电的基本原理，以及对元器件损伤的主要机理和模式；第2章“制造过程的防静电损伤技术”，重点介绍在电