电容位移传感器的

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7、旨腿疹阐肺抽登田莲鞋由于具有结构简单、动态特性好、能实现非接触式测量等优点，电容位移传感器广泛应用于超精密加工、高精度定位、超精密测量等领域。现有电容位移传感器普遍采用测头与测量电路分立式设计，信号传输电缆的寄生电容等分布参数对传感器的分辨力、稳定性等性能影响显著，因此信号传输距离受到严重限制。如何保证电容模拟信号传输的稳定性以及减少漂移，就成了影响电容传感器性能的关键。为了完成对电容量的测量，本文设计了一个脉冲宽度调制电路，将电容量的变化转化为不同宽度的脉冲，然后用单片机的定时器功能检测出来并通过数码管显示出来。再运

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