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1、中图分类号:单位代码:学号:低温等离子体处理技术及装置学科专业:电力电子与电力传动研究方向:电力传动及控制系统作者姓名:燕杰指导教师:张加胜教授二2一一年五月TechnologyandDeviceofLow-TemperaturePlasmaAThesisSubmittedfortheDegreeofMasterCandidate::关于学位论文的独创性声明本人郑重声明:所呈交的论文是本人在指导教师指导下独立进行研究工作所取得的成果,论文中有关资料和数据是实事求是的尽我所知,除文中已经加以标注和致谢外,本论文不包含其他人已经发表或撰写的研究成果,也不包含本人或他
2、人为获得中国石油大学(华东)或其它教育机构的学位或学历证书而使用过的材料与我一同工作的同志对研究所做的任何贡献均已在论文中作出了明确的说明若有不实之处,本人愿意承担相关法律责任学位论文作者签名:日期:年月日学位论文使用授权书本人完全同意中国石油大学(华东)有权使用本学位论文(包括但不限于其印刷版和电子版),使用方式包括但不限于:保留学位论文,按规定向国家有关部门(机构)送交学位论文,以学术交流为目的赠送和交换学位论文,允许学位论文被查阅借阅和复印,将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,采用影印缩印或其他复制手段保存学位论文保密学位论文在解密后的使用授
3、权同上学位论文作者签名:日期:年月日指导教师签名:日期:年月日摘要低温等离子体处理技术在工业中的应用越来越广泛,有关低温等离子体发生装置的研究需要进一步深入本课题研究低温等离子体技术的应用与发生装置,设计一种基于交直流叠加供电的低温等离子体放电装置,选题具有重要的实际意义论文介绍了低温等离子体处理技术在工业各个方面的应用以及低温等离子体供电电源的现状及发展趋势,对现阶段几种常见的低温等离子体的放电装置及低温等离子体的放电模式进行了分析,确定了电源系统交直流叠加供电的低温等离子体的放电装置方案设计出了低温等离子体电源的逆变硬件电路,以系列单片机为核心,实现了低温等
4、离子体的放电装置的主体——基于移相控制的单相桥逆变器完成了主电路以及交直流叠加电路的参数设计,并进行了仿真研究通过对低温等离子体放电过程的分析,建立起了低温等离子体放电发生器的仿真模型,并对其高压放电过程进行了仿真进而完成了对交直流叠加供电的低温等离子体放电装置的仿真及部分实验调试仿真与实验研究的结果证实了系统方案的可行性关键词:低温等离子体,交直流叠加供电,串联谐振,移相控制TechnologyandDeviceofLow-TemperaturePlasmaYanJie(),,——Keywords:Low-temperatureplasma,ACandDCpo
5、wersupply,Seriesresonance,Phaseshiftcontrol目录第章绪论课题提出的背景低温等离子体的概念低温等离子体的产生介质阻挡放电的基本原理介质阻挡放电参数的测量课题的研究意义与应用低温等离子体技术在臭氧合成方面的应用低温等离子体技术在紫外光源和高功率激光器方面的应用低温等离子体技术在平板显示器方面的应用低温等离子体技术在新物质合成领域的应用低温等离子技术在环境保护方面的应用研究课题研究的现状与发展趋势课题研究的现状课题研究的发展趋势本论文的主要研究内容第章低温等离子体放电发生器及放电模式低温等离子体放电发生器的概述电阻阻挡放电金属
6、网电极放电水电极放电多孔阴极放电气流控制的多点对板放电紫外线预电离放电离子捕获放电放电发生器的分类和特点低温等离子体放电模式辉光放电2.3.2电晕放电火花放电流光放电流光放电的原理流光放电低温等离子体的产生第章低温等离子体电源系统的原理概述反应器负载的分析交流侧电源的原理交流侧电源的主电路串联谐振的原理交流侧谐振电路工作状态分析直流侧电源的原理直流侧电源的主电路并联谐振原理交直流叠加电路的原理第章低温等离子体电源逆变电路的设计与实现单相桥逆变电路及其控制方式移相控制方式固定°移相方波控制方式单相桥逆变电路的控制逆变电路的设计编程实现移相波按键控制角度的增减数码管
7、显示实验结果及波形分析第章基于交直流叠加供电的低温等离子放电装置的仿真低温等离子体放电装置的主电路仿真主电路的参数设计5.1.2主电路的仿真模型仿真结果及波形分析低温等离子体放电装置放电发生器的仿真放电过程放电发生器的仿真模型仿真结果及波形分析基于交直流叠加供电的低温等离子放电装置的仿真装置的仿真模型仿真结果及波形分析第章结论及展望参考文献致谢中国石油大学(华东)硕士学位论文第章绪论课题提出的背景低温等离子体的概念存在于自然界的各种物质,根据所处温度的不同可以分为三种状态,分别是固态液态和气态这些状态指的是由微观粒子组成的大物体的实际聚集状态,根据所处环境的不同
8、会体现出不同的存在状态在
