培训系列之13(巴德纯)：真空设备自动化控制

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1、培训系列之13(巴德纯)：真空设备的自动化控制本文由luochen262贡献ppt文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。真空技术讲义真空设备的自动化控制巴德纯CVD镀膜机自动化控制CVD镀膜机自动化控制实例1真空感应电炉自动化控制2CVD真空镀膜机自动化控制真空镀膜机自动化控制3等离子体诊断VacuumandFluidEngineeringResearchCenterofNortheasternUniversity,China真空感应CVI/CVD系统真空感应CVI/CV

2、D系统CVI/CVD分布式自动化控制技术研究王庆东北大学真空与流体工程研究中心Tel:13066764562VacuumandFluidEngineeringResearchCenterofNortheasternUniversity,China1课题的提出及研究的意义1.1课题的提出真空感应炉是生产镍基高温合金、钛合金、不锈钢、a.真空感应炉是生产镍基高温合金、钛合金、不锈钢、超高强度钢等特种合金材料的重要冶炼设备。超高强度钢等特种合金材料的重要冶炼设备。自动控制系统是真空感应炉的一个重要组成部分，控制系统是

3、真空感应炉的一个重要组成部分，直接影响产品的质量和产量。目前，影响产品的质量和产量。目前，我国真空感应冶炼过程控制技术落后、自动化水平低，过程控制技术落后、自动化水平低，已成为制约真空感应炉发展的一个瓶颈。空感应炉发展的一个瓶颈。随着市场对材料质量要求越来越高，b.随着市场对材料质量要求越来越高，感应炉生产工艺过程要求有更高的稳定性和可重复性，艺过程要求有更高的稳定性和可重复性，集散控制系统作为当今主流的控制技术在真空冶金控制领域发挥着越来越重要的作用。发挥着越来越重要的作用。VacuumandFluidEng

4、ineeringResearchCenterofNortheasternUniversity,China1课题的提出及研究的意义1.1课题的提出c.近年来DCS技术的成熟以及广泛应用，DCS在可近年来DCS技术的成熟以及广泛应用DCS技术的成熟以及广泛应用，DCS在可靠性、开放性、靠性、开放性、标准化方面都有了很大的进步和发展，可实现高级复杂规律的控制。发展，可实现高级复杂规律的控制。VacuumandFluidEngineeringResearchCenterofNortheasternUniversity,

5、China1课题的提出及研究的意义1.2研究的意义真空感应CVI/CVD系统由于有中频电源和感应线圈干扰较强CVI/CVD系统由于有中频电源和感应线圈干扰较强，a.真空感应CVI/CVD系统由于有中频电源和感应线圈干扰较强，同时由于其作为在特种材料的制备设备需要温度需要温度、同时由于其作为在特种材料的制备设备需要温度、流量的精确控制；另外需要控制的量又较多，确控制；另外需要控制的量又较多，因此对其的控制是近年来真空界的热点。来真空界的热点。真空感应熔炼过程具有多输入、多输出、非线性，成分、b.真空感应熔炼过程具

6、有多输入、多输出、非线性，成分、温度难以在线检测，并且坩埚内的反应复杂多变，度难以在线检测，并且坩埚内的反应复杂多变，难以建立精确的数学模型。由于自动化水平低，确的数学模型。由于自动化水平低，基本上依靠人工经验进行操作，产品质量不能保证稳定，行操作，产品质量不能保证稳定，这不但增加了生产成本和工人的劳动强度，也存在因错误操作导致熔炼失败的风险。工人的劳动强度，也存在因错误操作导致熔炼失败的风险。采用当今主流的集散控制系统和先进控制策略和算法,c.采用当今主流的集散控制系统和先进控制策略和算法,对提高真空感应系统

7、熔炼的稳定性，高真空感应系统熔炼的稳定性，提高真空感应熔炼自动化水平和产品质量有非常重要的现实意义。平和产品质量有非常重要的现实意义。VacuumandFluidEngineeringResearchCenterofNortheasternUniversity,China1课题的提出及研究的意义1.3论文研究的目的研究真空感应CVI/CVD过程控制中的抗干扰技术。CVI/CVD过程控制中的抗干扰技术a.研究真空感应CVI/CVD过程控制中的抗干扰技术。研究真空感应CVI/CVD过程控制的合理控制方案；CVI/C

8、VD过程控制的合理控制方案b.研究真空感应CVI/CVD过程控制的合理控制方案；同时开发出了一套真空感应CVI/CVD自动化控制系统；CVI/CVD自动化控制系统c.同时开发出了一套真空感应CVI/CVD自动化控制系统；VacuumandFluidEngineeringResearchCenterofNortheasternUniversity,China2课题的来源被控对象Vacuu