精密环控房间空调设计

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1、精密环控房间空调设计：　　248nm光刻胶生产工艺有其自身的特点，本文据其生产工艺特点，就生产环境的温、湿度、洁净度等环境参数进行了设计描述。提供了高精度空调的一些设计经验，以供同类房间环境的空调设计参考。　　　　关键词：精密环控高精度恒温恒湿空调温湿度自动控制　　Abstract:　　248nmthephotoresistproductionprocesshasthecharacteristicsofitsoenttemperatureandhumidity,cleanlinessandotherenvironmentalparam

2、etersforthedesigndescription.Providesomeofthedesignofhighprecisionairconditioningexperience,forsimilarenvironmentalairconditioningdesignofreference.　　　　Keyentalcontrolprecisionconstanttemperatureandhumidityairconditioningtemperatureandhumidityautomaticcontrol　　　　　　：S611

3、：A　　　　1、概述　　随着社会、经济的发展和计算机X络、通信X络、电子工业、医疗事业及军事工业的迅速发展，高精度恒温恒湿空调的需求量日益剧增。　　本文主要是围绕248nm光刻胶生产精密环控区域的百级、千级净化和高精度温度、湿度环境的实现而确定的空调净化系统。　　根据生产工艺要求，精密环控区域分为三个房间：过滤间，功能实验室，激光室。各房间的环控指标要求如下：　　1）、过滤间：　　a、温度控制精度为：静态情况下19.5±0.5℃，环控区域内任意两点间温差不超过0.25℃/1000mm(就工作面而言)，控制的基础温度为19.5±0.1℃

4、；　　b、湿度：45%~60%RH之间可调，控制精度≤±5%RH，无凝露；　　c、洁净度：J6级；　　d、气压稳定性：房间正压大于10Pa（与相邻房间）；　　2）、功能实验室：　　a、温度控制精度为：静态情况下23±0.2℃，环控区域内任意两点间温差不超过0.1℃/1000mm(就工作面而言)，控制的基础温度为23±0.1℃；　　b、湿度：45%，控制精度≤±2%RH，无凝露；　　c、洁净度：J5级；　　d、气压稳定性：房间正压大于15Pa（与相邻房间）；　　3）、激光室：　　a、温度控制精度为：静态情况下23±0.5℃，环控区域内任

5、意两点间温差不超过0.25℃/1000mm(就工作面而言)，控制的基础温度为23±0.1℃；　　b、湿度：45%，控制精度≤±5%RH，无凝露；　　c、洁净度：J6级；　　d、气压稳定性：房间正压大于10Pa（与相邻房间）；　　2、围护结构：　　根据各关键环控间的要求，对整个净化区域的维护结构采用了不同的材料及方式，具体阐述如下：　　1）、维护彩钢结构　　根据各房间的功能、环控条件、所在区域等条件分别采用50mm手工岩棉夹心玻镁彩钢板、50mm聚氨酯夹心冷库彩钢板。不同功能房间的彩钢板隔断、不同空调系统间的房间隔断、房间外围隔断及房间

6、外围吊顶均采用50mm手工岩棉夹心玻镁彩钢板，其隔断上的门为成品净化彩钢密闭专用门，门板材料与隔断相同，这样选材主要是满足建筑防火规范的要求。同一功能房间内的彩钢隔断、同一空调系统内的房间隔断均采用50mm聚氨酯夹心冷库专用彩钢板，其隔断上的门为成品净化彩钢密闭专用门，门板材料与隔断相同，这样选材主要是满足房间精密温控条件的要求。　　采用聚氨酯夹心彩钢板，相比其它彩钢夹心材料而言，聚氨酯材料有隔热效果好和强度好的优点。各精密环控的外围过渡区域的房间温度精度应控制在±2.0℃的范围内，为精密环控房间（精度为±0.2℃）提供四周温度稳定的

7、空气隔层，最大限度的减少过渡区域温度波动而产生的热传导对精密环控房间温度调节的影响，作为保证精密环控房间温度精度和千级、百级净化实现的前提条件。　　精密环控房间采用密封性好的成品彩钢板净化专用密闭门，减小在弱空气正压工作的情况下外界空气对室内的影响。　　2）、±0.0地面及下夹层地面　　根据各房间的功能、环控条件、所在区域等条件±0.0地面分别采用铸铝架空防静电PVC地坪（根据房间的回风量采用开孔率25%或盲板，架空地坪高度为800mm）、静电PVC地坪（设备基础混泥土平台上敷设）。精密环控实验室（±0.2℃）下夹层地面、设备基础侧壁

8、均采用贴50mm的橡塑保温层。　　3、空调及冷热源系统　　根据以上工艺布局及室内环境要求，每个房间单独配置一套空调净化系统。三套空调净化系统均布置在一层空调机房内。三套空调净化系统均采用冷冻水型高精度恒温恒湿空调机组加室