预清洗机备忘录

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1、清洗机概述FRIST清洗机配置有3个化学液清洗槽、7个纯水溢流槽、4个机械手、1个旋转式甩干机，可以实现硅片清洗全自动操作。操作员所需要做的只是放入硅片、取出硅片和日常维护检查。手动/自动状态切换清洗机配液、故障调试、校准机械手等操作必须在手动模式下可以进行。所以经常需要进行切换操作模式。自动→手动首先确保机械手没有在运行状态，各个清洗槽没在换液。1、点击操作界面右下角的“STOP”按键，使该按键亮起绿灯，停止设备机械部分运转2、长按操作界面中的“Manual”按键，直到“Manual”按键处亮起绿灯。3、点击“STOP”按键，使该按键的指示灯消除。自动到手动的模式切换完成

2、。手动→自动：1、首先点击“HOME”按键，进入复位界面，检查各个机械手、甩干机是否都在初始位置。否则就复位该设备2、退出初始界面回到操作界面，检查“STOP”按键，确保红灯没有亮起。3、检查各个槽子的液位，各个舱门是否关好。4、长按“AUTO”按键，直到AUTO”按键亮起绿灯。注释：如果按下“DOORILCANCEL”,那么舱门没有关闭时仍然可以切换到自动状态。如果按下“LIQUIDSURFACECANCEL”,那么当个别槽子液位不够时，仍然可以切换到自动状态。配液该清洗机有三个化学液槽：2号槽（HF）、5号槽（去蜡水）、6号槽（去蜡水），配液是手动进行的。在各个槽子多的

3、控制界面里（以5号为例）首先点击纯水注入（DIWSPLY）按键，使液槽LOW变绿，关闭纯水注入按键，然后按下供液键（LIQUIDCHANGE）,供液结束后再按下纯水注入按键，液槽忙后自动完成换液。载入、取出硅片载入硅片：把花蓝放到机械手指定取蓝位置，注意U面朝外、适配器分别插在花篮的U面。另外，两个花蓝承载的硅片尺寸一定要一致，花蓝内部硅片数量差距不得超过1片。花蓝放置前，将旁边旋转开关打到放蓝位置，放好后，将旋转开关打到自动位置，机械手会自动过来取片。取出硅片：硅片经过清洗、甩干之后，会被放到输出位置，每一对花蓝被输出，需要及时取出，否则会影响甩干机的正常工作。排液排液需

4、要在手动模式下进行。各个槽子的操作界面中，按下“DRAIN”按键就可以排液(排水)。排液按键位置在操作的下方正中间的位置。观察被操作的槽子，完成排液后关闭”DRAIN”按键。排液操作完成。调节溢流的流量该清洗机有两种溢流可以手动调节：溢流阀门开启时调节清洗溢流量；溢流阀门关闭时通过微调旋钮使槽子保持一定的流量。下图为溢流量调节阀门的位置。通过手动调节阀门就可以控制阀门打开时的流量，流量的数值可以通过流量计读出。下图为微调旋钮位置示意图通过旋转流量微调旋钮，可以使流量阀门关闭时仍然保持一定的流量，流量的数值可以通过流量计读出。设定工艺参数在设备的操作界面右边是用来设定工艺参数

5、的。工艺参数界面里可以设定清洗时间、换液频率、补液频率、流量范围、跳过那些槽子不用等等。下面以设定清洗时间为例说明工艺参数界面的使用办法。点击“WASHTIMESET—UP”进入工艺时间设定界面，点击“PASSWORD”在弹出的对话框里面输入密码，确认后点击图中第二行的“WASHTIMESET—UP”中相应得位置会弹出对话框，在里面输入目标时间（以秒为单位）。点击”ENTER”,检查“WASHTIMEPRESENT”一栏中的时间是否得到更改。调节甩干机转速甩干机的转速是由配电柜里面的频率盒控制的，调节甩干机转速就是调节频率盒的频率。转速与频率对照表转速（rpm）18.952

6、8.437.9547.456.966.476频率（Hz）2003004005006007008001、输入台在水槽加满水后，可以关闭进水阀，让回流阀保持畅通，调节流量控制在适量，让水流保持。控制阀在水槽后侧的左边，有流量调节阀。2、6、7号槽（化学液槽）主要管道有化学液进液管，排液管，内缸进水管（2根），内缸排液管，内缸液位管，外缸液位管，超声液位管。3、6BATH界面说明图中DIWSPLY指的是槽内进水US指的是超声DRAIN指的是槽内排水CIRC指的是循环泵FLOW指的是后室HF酸槽排液到前槽，这里是纯液。HIGHFULLLOW指的是HF酸桶的三个液位，液位指示在FS6

7、-11，其中L3表示低液位，L2表示高液位，L1报警液位。液位信号的灵敏度调节旁边的一字螺丝，顺时针灵敏度增加，反之相反。当前液槽处于满液位时，HF酸桶无法排液到前槽。需放掉部分水才能加液。BET报警消音RESET复位信号。NEXT下一页PREV上一页SPIKE自动换液主界面图在这个界面中，主要显示六个可操作按键。按任意一个键都能进入相对应的界面，同时可进行下一步操作。按下MODE键，进入下一界面在这个界面中可以选择运行模式。清洗时间另设。选择到某一模式时，相对应的指示显示为绿色。。左上角画面按下报警键，界面如下在