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1、真空镀膜蒸镀塑料件的工艺1，来料检查；2，干燥，待真空镀膜镀件来料时含较多水分，需干燥处理3-5h，温度为50-60oC；3，上架，一般注塑时基本按真空镀膜生产，因此待真空镀膜镀件表面一般油污较少经过一般的擦拭就可上架，但是来料油污多时需进行去污处理。方法是用清洁剂逐件刷洗，漂洗，烘干。油污严重时还需用清洗剂在50-600C，浸泡15-20min进行脱脂处理；4除尘，这道工序是保证真空镀膜镀膜质量的关键之一，方法有两种：一种是用吸尘器对准待真空镀膜镀件仔细地除尘，另一种是用高压其“吹尘”的方法；5涂底漆，涂底漆是保证真空镀膜镀膜质量
2、的关键之二；6烘干，涂漆流平后需进行干固处理，方法有红外线加热法，电热加热法及紫外线(UV)固化法等，固化温度为60-700C，固化时间为1.5-2.5h；7真空镀膜，真空镀膜是保证真空镀膜镀膜质量的关键。真空镀膜的镀膜操作：待真空镀膜镀件上架并装上钨丝，然后入炉，检查接触是否良好，转动正常，关真空镀膜真空室，抽真空。真空镀膜蒸发镀铝，作为装饰膜真空镀膜蒸铝时的真空镀膜真空度控制在(1-2)X10-2Pa，真空镀膜蒸发采用快速蒸发可减少氧化概率，又不会使真空镀膜膜层的组织结构变粗。冷却充气，真空镀膜蒸铝以后，即可充气出炉；8涂面漆，
3、保护真空镀膜的金属膜层，为着色工作做准备；9着色，面漆彻底固化后可进行染色处理。沈阳中卓真空镀膜技术有限公司发表于：2010-09-2811:13:21真空镀膜设备有关问题答复1.建议参照生产量掌握真空镀膜设备靶材厚度的消耗情况:前提:真空镀膜设备靶材厚度相同。比如目前贵厂主要是规格为1.7mm厚的海绵真空镀膜设备镀膜,相信目前已经明确大约生产多少平米时该换靶材，其他规格以此类推。2.真空镀膜设备靶材厚度是根据磁场、电场、强度以及板材标准厚度等来确定。可选厚度最佳范围：磁场、电场、强度三者综合指标来确定厚度最佳范围。选用不同厚度的真
4、空镀膜靶材时要注意调节极靴的位置。3.延时开真空镀膜室门的原因海绵厚度小于1.5mm时:由于溅射功率较低,,真空镀膜完毕可立即开门。海绵厚度大于1.5mm时:由于真空镀膜设备溅射功率较高,真空镀膜室内温度比室温高得多,不允许真空镀膜完毕立即开门,目的如下:a.真空镀膜室温度比室温高得多时,膜淀积后在真空镀膜室内进行适当的保温,使膜内部结构稳定,表面形成一层极薄的钝化膜,使新淀积的膜尽量不暴露或少暴露于大气中。b.真空镀膜室温度比室温高得多时,膜淀积后立即开门,人无法操作。4.在海绵能够镀透,其性能能满足要求的前提下,尽量采用较低的功
5、率,以使海绵基体的温度不致过高并且省电,海绵基体的温度与功率成正比,功率过大会造成海绵碳化,谈不上产品质量ZZ-560型射频磁控溅射真空镀膜设备一、用途及特点1.为单室立式结构的高真空多功能真空镀膜设备，射频磁控溅射真空镀膜、直流磁控溅射真空镀膜的组合，既能满足各类膜层的实验研究，又能减少射频辐射的机会，当溅射金属材料时，可采用直流磁控溅射真空镀膜;当溅射非金属材料时,可采用射频磁控溅射真空镀膜.2.可真空镀膜膜层:金属单质膜(如Al、Ni)、合金膜、氮化物膜、碳化物膜、氧化物膜、其它非金属化合物膜.二、主要技术指标和外部设施要求(
6、一)技术指标:1.真空镀膜室型式:立式圆筒形、间歇工作2.真空镀膜室尺寸:φ600×4003.极限真空度:5×10-3Pa4.压升率:≤2Pa/h5.靶数量:2个6.靶功率:单靶2KW7.加热温度:室温~150℃8.工件最大尺寸:垂直方向最大尺寸≤100mm9.总功率:25KW（二）外部设施要求:(用户自备)1.电源:380V2.气源:压缩空气:净化干燥,使用压力0.4~0.6Mpa高纯氩气:99.999%高纯氮气:99.999%其它气体3.冷却用水压力:1.5~2.5Kg/cm2、水温＜20℃4.占地面积:20m2三、主要组成部分
7、:真空镀膜室、真空系统、充气系统、气动系统、水路系统、电控系统1.真空镀膜室真空镀膜真空室体、靶装置、传动系统、加热器、观察窗、靶挡板机构、隔热屏、放气阀.1).真空镀膜室体:为立式园筒形侧开门不锈钢结构.2).靶装置:靶体及其零部件、磁体、屏蔽罩靶型式:园形平面靶靶面有效尺寸:φ120靶位排布:侧面对放靶特点:采取2个同心环磁体,每个同心环均由若干个磁柱组成环状,可拓宽靶刻蚀区和改善靶原子的沉积分布,从而提高膜厚的均匀度.靶-基距:靶与基片的距离为50~80连续可调3).传动系统:电机、主轴、密封箱、轴承、水冷箱等等.4).加热器
8、:管状加热器2.真空系统:扩散泵:K-200T罗茨泵:ZJ-30旋片泵:2X-8冷阱:DN200气动高真空挡板阀:3个电磁真空带充气阀波纹管:3套不锈钢连接管道:(1Cr18Ni9Ti)若干套泵架:3.充气系统:采用双路质量流量控制器
