二次配工程规范

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1、中緯積體電路(寧波)有限公司NingboSINOMOSSemiconductorInc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁數PAGE:32OF32資料號碼SPECNONS-SP006版本REV.0中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THEINFORMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNingboSINO

2、MOSSemiconductorInc.ANDSHALLNOTBEDISTRIBUTEDTHEREPRODUCED,ORDISCLOSEDINWHOLEORINPARTWITHOUTPRIORPERMISSIONOFNingboSINOMOSSemiconductorInc.May22,2003filename：dd33b0a2e85241048aecf481febe421e.doc中緯積體電路(寧波)有限公司NingboSINOMOSSemiconductorInc.資料名稱TITLE:氣體管

3、線二次配工程規範頁數PAGE:32OF32資料號碼SPECNONS-SP006版本REV.0CONTENTSPAGES1.目的32.範圍33.文件送審44.施工說明45.其他說明96.驗收標準107.保固期限12本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THEINFORMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNingboSINOMOSSemiconductorInc.AN

4、DSHALLNOTBEDISTRIBUTEDTHEREPRODUCED,ORDISCLOSEDINWHOLEORINPARTWITHOUTPRIORPERMISSIONOFNingboSINOMOSSemiconductorInc.May22,2003filename：dd33b0a2e85241048aecf481febe421e.doc中緯積體電路(寧波)有限公司NingboSINOMOSSemiconductorInc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁數PAGE:32OF32資

5、料號碼SPECNONS-SP006版本REV.0目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護HookUp二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。1.範圍1.1.製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶

6、櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2

7、二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulkgastake-offlist”、附件二”SpecialtygasVMB/VMPlist”及附件三”CDAtake-offlist”。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。1.2.前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施

8、工圖及ISO圖面，需依照機台用量流程圖(P&ID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。1.3.本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。1.4.配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。1.5.所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用THEINFOR