薄膜陶瓷基板工厂设计标准（征求意见稿）

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1、UDC中华人民共和国国家标准PGBXXXXX-XXXX薄膜陶瓷基板工厂设计标准Designcodeforthin-filmceramicsubstratemanufactory（征求意见稿）××××—××—××发布××××—××—××实施2中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局2中华人民共和国国家标准薄膜陶瓷基板工厂设计标准Designcodeforthin-filmceramicsubstratemanufactoryGBXXXXX-XXXX主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：

2、中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：XXXX年XX月XX日中国计划出版社20XX北京前言本标准是根据住房和城乡建设部《2016年工程建设标准规范制订修订计划》（建标[2015]274号）的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国电子科技集团公司第五十五研究所会同有关单位共同编制完成。本标准在编制过程中，编制组在调查研究的基础上，总结国内实践经验、吸收近年来的科研成果、借鉴符合我国国情的国外先进经验，并广泛征求了国内有关设计、生产、研究等单位的意见，最后经审查定稿。本标准共分10章和1个附录，主要内容包括：总则、术语、

3、总体设计、工艺设计、基本工艺、工艺设备配置、建筑与结构、公用设施、电气设计、环境保护、节能与安全设施。本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，工业和信息化部负责日常管理，中国电子科技集团公司第五十五研究所负责具体技术内容的解释。本标准在执行中，请各单位注意总结经验，积累资料，如发现需要修改或补充之处，请将意见和建议寄至中国电子科技集团公司第五十五研究所（地址：江苏省南京市中山东路524号，邮政编码：210016），以供今后修订时参考。本标准主编单位、参编单位、主

4、要起草人员和主要审查人员：主编单位：工业和信息化部电子工业标准研究院中国电子科技集团公司第五十五研究所参编单位：中国电子科技集团公司第二研究所中国电子科技集团公司第十四研究所中国电子科技集团公司第二十九研究所中国电子科技集团公司第四十三研究所中国航天科技集团公司五院西安分院中国航天科工集团公司二院第二十三研究所中国兵器工业集团公司第二一四研究所中国电子工程设计院南京市建筑设计研究院有限责任公司信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司主要起草人员：主要审查人员：目次1总则112术语123总体设计143.1一般规定143.2

5、厂址选择153.3总体规划及布局154工艺设计174.1工艺流程设计174.2工艺区划175基本工艺195.1一般规定195.2基板准备195.3镀膜工艺205.4光刻工艺205.5刻蚀工艺215.6调阻工艺225.7电镀工艺235.8划片工艺235.9钝化工艺245.10打孔工艺255.11测试工艺266工艺设备配置276.1一般规定276.2陶瓷基板处理工艺设备276.3镀膜工艺设备276.4光刻工艺设备286.5刻蚀工艺设备296.7电镀工艺设备306.8划片工艺设备306.9钝化工艺设备316.10激光打孔设备326.1

6、1测试工艺设备337建筑与结构357.1建筑357.2结构357.3接地368公用设施378.1空气调节和净化系统378.2给排水388.3气体动力399电气设计419.1供电419.2照明、配电和自动控制429.3通信、信息4310环境保护、节能与安全设施4410.1环境保护4410.2节能4410.3安全设施45附录A薄膜陶瓷基板生产线基本工艺流程45本标准用词说明46引用标准名录47附：条文说明……………………………………………………………………48Contents1Generalprovisions112Terms123

7、Generaldesign143.1Generalrequiement143.2Siteselection153.3Overallplanningandlayout154Processdesign174.1Processflowdesign174.2Processlayout175Basicprocess195.1Generalrequirements195.2Ceramicsubstratepreparing195.3Coatingprocess205.4Lithography205.5Etching215.6LaserTri

8、mming225.7Plating235.8Dicing235.9Passivation245.10Drilling255.11Testing266Processequipmentconfiguration276.1Generalrequirements276.