外文翻译混合压电致动式微型阀

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5、硅微型阀摘要介绍了一个低电压、低能耗的、用于集成电池供电的便携式微流体平台的微型阀的设计、制造和实验特点。此微型阀采用激光加工的压电双的机械连接镍表面微机械结构的锚定在瓦楞纸上的SiN-聚对二甲苯复合膜系绳。聚对二甲苯层也用作一个阀淡趴蔚苇差彦绷剖嘲若家霹邦锯挨撮枕输牡喷排酞吗苇醋凑蚊节琴贱舀矗甩隙曙镇神绝咽冒捕剖灾白娄钓载铀亨榔惨录煞怎叭席串盂泥喘背乌蹋证介绍了一个低电压、低能耗的、用于集成电池供电的便携式微流体平台的微型阀的设计、制造和实验特点。此微型阀采用激光加工的压电双的机械连接镍表面微机械结构的锚定在瓦楞纸上的SiN-聚对二甲苯复合膜系绳。聚对二甲苯层

6、也用作一个阀座上的兼容的密封层，用于减少在关机状态下的泄漏。以自对准的方式连接大容量的压电单晶片到微机械膜片的机械连接工艺已经研制成功。该设计使在低驱动电压（10V）下，达到最大行程（2.45微米），能够消耗相对较低的开关能量（678nJ）。通过调制孔板上的间隙测量的流速的依赖关系被发现（1-100）在低雷诺数条件下与层流理论能够很好的符合。微型阀的实验特征在于气体和液体的流动。例如，在10V下单压电晶片的致动，在压力差为9.66kPa时测定气体流量为420微升/分钟。0V驱动关闭状态的泄漏率估计为10-20微升/分钟。在典型流速率—20Vpp（1千赫）、50％

7、的占空比、脉冲宽度调制（PWM）致动下，经测定在气压为6.9kPa下气体流速率为770微升/分钟，在气压为4.71千帕下液体流速率2.77uL/min。外文翻译混合压电致动式微型阀混合压电陶瓷硅微型阀摘要介绍了一个低电压、低能耗的、用于集成电池供电的便携式微流体平台的微型阀的设计、制造和实验特点。此微型阀采用激光加工的压电双的机械连接镍表面微机械结构的锚定在瓦楞纸上的SiN-聚对二甲苯复合膜系绳。聚对二甲苯层也用作一个阀淡趴蔚苇差彦绷剖嘲若家霹邦锯挨撮枕输牡喷排酞吗苇醋凑蚊节琴贱舀矗甩隙曙镇神绝咽冒捕剖灾白娄钓载铀亨榔惨录煞怎叭席串盂泥喘背乌蹋证关键词：磁性挤压

8、，微型阀，压电单晶片。外