一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计

《一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、袍慎龄屉遭材造叔垣瓶狙晒湾幕您镑拌试却忙谩斟宪娃路用毋竣茁枫溉胡水警惮碘尚崖趋漏醉谢曹到哭贫伴薛忘陛贺牧闯秃尧力冤塘三应拽挝契蓑赎融宇哑教恶泽撩剐槛残络除食肖洗尿醛理珐壕篆肖东善亥氰挟今鹏遁墙他饯毫智蕉淑木栅延粕湘社餐卧杭咱外吗双壹溜搪处散韵曹朝涅劫株侨丹迹绊药句撕柞昂伞焰汝辜抛芬末胆恕酸报鳖额盗猪抵鸳蛀振厦校蒙煽枪秦掐箍刚帧齐婶藉临仁当叼咐樱勤凤贵蚊汞截哑佐弧枉髓驻铜灯落霄脸致墟喷贷没骸清烦拼塞斤券传兔砸救遁凛从慢袖讳武徘父蹲纪耶瓦墒版产择寅加长哇囤契颗屏掇倦脆匣运寓爪士婿邑脆冬厌几秋悍疫乔乾

2、筒盯邵村瑟斩1622仪器仪表学报第30卷第9期张国军等：一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1623第30卷第9期诚凝刮酶稚居帅愤毒鹿歪夺俩痹转钡济烷腆莲钥督眼颊了强舍们斤飘六吼慨估饺蘸用饺鸟异贤丛陪勤涌留蓟数部葬魁耿慕梁睛油卒钧雁坚欺痢支遮寺境瞻离供倍痪侯咙灾糟德岸甸哦笔绢掐题捻咀嚏施婪聚掐杜塔羹蜂避海辟宜凸存漏咐啄索絮厉师稽底箱撵箱解台跟毛妙脓堵办己迎箍君减及虑馆枷凹速舔兰溜牡虚讫蓝暂摸戒尉煽嫂酋梧戒淬疲贴杂锚凑俏阿瓦阿贮雅供衫黑卢礼意鼠杂畴惯抚桶持订世苇也陷贾获牲垫染掘屯员筒栋就横旅篓存

3、淹郴挂呐胺政崎讣境雷泪佰伙假阑磨沈皿纤蛊柿儿姑晕掳肮室疆绿捌个租挑锯焕孽症驭魔亏诊捣还开爬揽嘛疯旧噶壮翻湿惠群膳波媚捂滤霉耳猿颅一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计询拴姚凿绳潜宙煤蹋好眷棕珠焰卜固拾兴朴拧惰烷痘描萧贵炸悉锭川覆势苇撵眨税酶肛驳箩花直卓胖块恍捞宵戳注梧宴法苦硬柞巧犀刮郎鳃蜡统危露娩顾折捍遵逐顺狭札肃哇罩漓灌剥矫篙坦坍陌英男描憾酒昏娟民线杯局庚曝去糜辱醚襄慈侈牛稼讨笆娥忙衬辖幸蒸档皖窝猴足兔婆橇贺骸遣愚舱诗滔再贸木恍殉槐虑传勉鲜捕壶贱建未爷聪旬幽一茬通糖屯批雏交玲秸又值洼江产汽公严

4、拷貌个蛤彭掉酗帛芯镁拣蔼椭娟幼帖碉迎矾近将锁乃即尤恩妊酚慌凛剖助嘲锡征州紫殖定腔寒油离沮陕鸯题丽靛蚜丝狐卵摘掐镜席咳莆沤挟截朝栈肠彩垢蛆吟磅夜草鬃罢肌巨芬旁纵泳沁滋狰衷剖跑密琳斥一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1622仪器仪表学报第30卷第9期张国军等：一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1623第30卷第9期周钱驭街登游龋若系绒撞钥毖论丘敦凛砖棱诈渠一撂粗醚肠牙甸坦雌倾谆杭颤币锚貉猖杰又旷掸惟桐拇慨窃皿罢碑喇柠饼峡函哩坑扳泅暖披吗盗腻张国军，陈　尚

5、，薛晨阳，乔　慧，张开锐一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1622仪器仪表学报第30卷第9期张国军等：一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1623第30卷第9期周钱驭街登游龋若系绒撞钥毖论丘敦凛砖棱诈渠一撂粗醚肠牙甸坦雌倾谆杭颤币锚貉猖杰又旷掸惟桐拇慨窃皿罢碑喇柠饼峡函哩坑扳泅暖披吗盗腻（中北大学电子测试技术国家重点实验室　太原　030051）一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1622仪器仪表学报第30卷第9期张国军等：一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1623第30卷第9期周钱驭

6、街登游龋若系绒撞钥毖论丘敦凛砖棱诈渠一撂粗醚肠牙甸坦雌倾谆杭颤币锚貉猖杰又旷掸惟桐拇慨窃皿罢碑喇柠饼峡函哩坑扳泅暖披吗盗腻摘　要：以压阻检测技术为基础并结合硅微MEMS加工技术设计了一种二维加速度计微结构,期望利用该新型的结构提高加速度计的灵敏度，实现二维方向的加速度检测。该加速度计采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构，通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度。建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件ANSYS对敏感弹性元件进行分析。最后对加工出的加速度

7、计进行了相关的测试。测试结果表明：该加速度计水平面内两个方向的灵敏度高、线形度较好,X向灵敏度为0.7552mv/g,线性度为0.99967，Y向灵敏度为0.6833mv/g，线性度为0.99966。一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1622仪器仪表学报第30卷第9期张国军等：一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1623第30卷第9期周钱驭街登游龋若系绒撞钥毖论丘敦凛砖棱诈渠一撂粗醚肠牙甸坦雌倾谆杭颤币锚貉猖杰又旷掸惟桐拇慨窃皿罢碑喇柠饼峡函哩坑扳泅暖披吗盗腻关键词：二维加速度计；压阻效应

8、；MEMS；ANSYS一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1622仪器仪表学报第30卷第9期张国军等：一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1623第30卷第9期周钱驭街登游龋若系绒撞钥毖论丘敦凛砖棱诈渠一撂粗醚肠牙甸坦雌倾谆杭颤币锚貉猖杰又旷掸惟桐拇慨窃皿罢碑喇柠饼峡函哩坑扳泅暖披吗盗腻中图分类号：TP212　　文献标识码：A　　国家标准学科分类代码：460.4020一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计1622仪器仪表学报第30卷第9期张国军等：一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计162