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1、ESD防护的原理及应用ESD的概念ESD之三种模式静电的概念静电的危害静电的影响因素静电源为什么要做ESD防护静电防护有关专有名词和符号如何进行有效的静电防护?如何进行有效的静电防护?ANSI/ESDS20.20之摘要ANSI/ESDS20.20之建议ANSI/ESDS20.20之要求离子化静电消除ESD防护之注意事项ESD（ElectroStaticDischarge）静电放电：静电出现后，如果没有及时宣泄或消除，便可能因直接接触或感应而产生放电，形成静电放电。晚上脱衣服,有时会看到小小的电花;碰到金属或者人时,会有被电的感觉;
2、风雨交加的天空,时不时的出现的闪电;这都是静电放电现象,它无处不在,有的可以被我们看到或者感觉到,但有的静电放电我们无法捕捉.ESD的概念ESD之三种模式人体模式（HBM:HumanBodyModel）由指尖放电至静电敏感物.人体活动时,与衣服摩擦产生静电,当静电得不到及时有效宣泄,在拿取静电敏感物时就会由指尖放电至敏感物,微電子器件的主要破壞都是由此型式造成的.机器模式(MM:MachineModel)带电导体放电至静电敏感物.快速的能量传遁,没有串联电阻而直接进入待测元器件,对其造成伤害,此模式近似一个电压源.充电装置模式(C
3、DM:ChargeDeviceModel)静电敏感物放电至周围物件.元器件本身已经带电,当它接触到不同电位的金属表面而出现快速的放电.静电的概念物质表面的正/负电荷分离所产生的电位。物质分为导电体、半导体、绝缘体三种，这三中物质都会因摩擦及空气中相对湿度的不同而产生不同程度的静电。静电的危害静电影响产品的良率和品质!谁希望被闪电打中?当然,电子元件也不希望!半导体被破坏59%是由静电引致的!ESD的最大伤害不是立即将产品打坏(10%完全失去功能),而是将产品变成”危险良品”的半不良品(90%间歇性失去功能).静电导致ESA(Ele
4、ctrostaticAttraction)、EMI(ElectromagneticInterference)致命现象!-CleanRoom最怕的是ESA导致的表面污染物(Contamination),一个4英寸晶圆负载1000V电荷时,1micron的微粒撞击可产生撞击力达830000磅/平方英寸或148公吨/平方公分,远超过使晶圆受损的程度.(资料来源:美国静电防护协会)-电流产生电磁场，它会干扰机器的正常运作！静电的影响因素湿度大约40%R.H.或更低湿度,便容易形成严重静电问题静电源人员：坐立、移动工作台面：磨光、油漆、上蜡
5、地板：塑胶地板、地毯注：在30%相对湿度下量测椅子：木质、塑胶、纤维质设备：生产仪器、治具、产品本身其他：塑胶垫子、文件夹等任何可能产生摩擦的地方静电源-人员人员人员的坐立导致电容改变人身上静电位=人身上总静电荷/人身电容电容越小，静电位就越大，危险就越大。静电源-人员人员人员的移动导致电位的改变当人员坐下时电位最小，变化幅度也最小为什么要做ESD防护制造业为何要做ESD控制？避免灰尘吸附；减低元件被破坏；减少产品失效或运作不稳定；避免人员受伤；预防火灾或爆炸发生；每年因静电不当释放所造成的损失高达数十亿美金以上；电子业为何必须做
6、ESD防护？静电是无所不在的（就象细菌），只是程度不同；静电放电是微电子元件防不胜防的敌人；依据美国、欧洲及小日本电子产品制造商的实际经验，如果在产品组立封装过程或处理零件时，实施了严格的静电防护，成品良率一定显著提高；静电放电将产品变成半不良品（90%），使得产品在客户手中产生严重的可靠性问题或”突然故障”的巨大灾难；静电还会导致ESA、EMI。静电防护不只是为了品质，不只是为了良率，不只是为了人员安全，不只是为了应付客户稽核，更为了量产时的风险管理和公司的整体的品牌形象，说白了，就是赚取更大的利润。静电防护有关专有名词和符号静
7、电安全的（ESD-Safe）:本身很难产生静电的材质静电消散的（ESD-Dissipative）:可以适当速度宣泄静电的材质静电防护区（E.P.A):明确标示且有执行适当静电防护的区域共同接地点(C.G.P):静电防护区中一个大家共同的接地点ANSI/ESDS20.20:美国标准静电防护规范(AmericanNationalStandardsInstitute)IEC-61340:欧洲标准静电防护规范如何进行有效的静电防护?依照国际规范,制定一套适合自己的静电防护计划制定务实的实施步骤与时程投入所须的资源(可依预算分阶段)从一开始
8、便须将所有相关人员动员起来必须确实做好静电防护计划的执行,尤其是自我稽核随时跟上国际规范的脚步配合世界潮流,满足客户要求→定单确保工作场所符合适当的作业程序→良率获取资讯,据以执行准确的稽核→品保完善品保制度,明订奖罚依据→内控ANSI/ESDS2
