jkb_100机组说明书

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1、JK-100B型高真空机组使用说明书成都欧微真空设备有限公司good,noloosening.6.5.2DCSsidewiringtocompletetheenclosureandtheothersideafterthewiringiscompleted,DCSwithintheenclosurewhenthepowermoduleshouldbeloosenedorthepowergoesout.6.6lowvoltagecableterminalmaking6.6.1first1、主要技术数据²极限压力7×10-4Pa²排气口通径Ø100（转接KF16---M12

2、）²工作电源380V/220±10％²功率2KW²水压01.～0.2MPa²外形尺寸900×550×900(长×宽×高)2、设备用途及结构说明2.1设备用途：采用油扩散泵与机械泵的组合使排气元件获得高真空。2.2主要结构²真空系统采用K—100油扩散泵作为主抽气泵，VRD-16机械泵作其前级。²K—100油扩散泵上有水冷挡板，以减少油蒸汽对真空系统的污染。²水冷挡板上有Ø100电动蝶阀作为系统的高阀，该阀使抽气系统与被抽容器连通与截止。²机械泵电磁放气阀，停电时自动关闭，使系统保持真空状态，并对机械泵放气以防止返油。²两个Ø40的电动蝶阀，一个用于预抽（预阀）；另一个

3、作前级阀（低阀）。²每台机组的电控装置装配一控电箱。²电源控制箱面板上有扩散泵﹑机械泵的开、停指示灯、水压报警、；内置电磁放气阀与机械泵联动。²当水压低于01.～0.2MPa时，有声光报警，同时截断扩散泵与机械泵。2.2安装说明²拆箱，取出装箱单及技术文件，清点件数。²设备安装在水平地基上，紧固。²接通总电源﹑进出水管，连接真空规管﹑真空计等。3.基本操作说明²使用前的准备及检查检查电气线路是否接触良好，进出水是否畅通，真空系统各密封处有无松动和漏气阀门是否灵活。²抽极限真空a)起动机械泵b)开前级阀（低阀）c)当真空度达到100Pa量级时，加热扩散泵，同时关闭前级阀

4、d)开预抽阀，对真空室进行抽气e)当真空度达到100Pa量级时，关闭预抽阀f)开前级阀good,noloosening.6.5.2DCSsidewiringtocompletetheenclosureandtheothersideafterthewiringiscompleted,DCSwithintheenclosurewhenthepowermoduleshouldbeloosenedorthepowergoesout.6.6lowvoltagecableterminalmaking6.6.1firsta)开高阀，用扩散泵对真空室抽气，使之达到7X10-4Pa的极

5、限真空。²关机a)关闭高阀b)停扩散泵c)待油温冷却至100℃以下时，关前级阀（低阀）、停机械泵d)关水、电。4．维护说明²设备应有良好的通风条件和清洁卫生的工作环境。²设备不工作时应保持真空状态；²请详细阅读其他所附各种说明书，进行操作维护。5．附录²真空系统图真空室V1G1LG2V2V3P1P２²机械泵、扩散泵、真空计说明书各一份；JK-100真空机组使用说明书三份。²备件表：名称规格数量直联泵备件1套扩散泵备件1套²附：电器图一张成都欧微真空设备有限公司2008年月日good,noloosening.6.5.2DCSsidewiringtocompletethe

6、enclosureandtheothersideafterthewiringiscompleted,DCSwithintheenclosurewhenthepowermoduleshouldbeloosenedorthepowergoesout.6.6lowvoltagecableterminalmaking6.6.1first