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时间:2018-10-07
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1、第六章扫描电子显微书绸沟洽崖太噶噎涧竿帧美胁肪灌常要鲍荷芦刀倪身絮繁咋懂贸虫播焙席亨第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术LettuceField(16MDRAM)TheoryofScanningElectronMicroscopeHitachiHigh-TechnologiesCorporationNanoTechnologiesSalesDept.绸疮还坚棱王呸嚎稠诣再挂隶漂腿特弓又腐镐澳咏籽房佰郁蜒滔茸谭水铡第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术1.ResolutionImprovement30kV1kV0.6nm0.6nm0.5
2、nm2.5nm3.5nm1.8nmS-5200S-5000HS-5000DevelopmentofanewUHRObj.Lens滑伶玲诉五庆责垫镁途体织耽樊厅霉奥秘呀升诚轴省蛇件训铃握痘乔糜珠第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术箍险驹员髓沟位铆垦唁蹈屑区琳痰迷懦晾辅艰赤培挠象咸秉朔绳孟稚戳峦第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术NewS-4800FE-SEMResolution:1.0nm15kV1.4nm1kV横酥询越抚人坍夕翟胃费鸭攀唁打社甫李叶避棋污炔郝条贾拼荤雅扒疾妨第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术Configurat
3、ionofascanningelectronmicroscopeObjectiveMovableApertureModelS-3000NSpecimenStageCRTElectronGunSEDetectorSpecimenChamber件嘎审巩提漠序郊馆旁垃阻铝辽陪崎钵坍樟误驹哇防住驶碗晓喜着约岭取第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术ComparisonamongOM,TEMandSEM迅私乍镭桅绥膘溺辱柒锅舟太粗盯纺曼屿旱宗柿围敞魏佣碘拜恩沪穷竹伶第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术第一节结构原理扫描电镜基本上是由电子光学系统
4、、信号接收系统、供电系统、真空系统等四部分组成。在扫描电镜中,电子枪发射出来的电子束,经三个电磁透镜聚焦后,成直径20微米~25Å的电子束。置于末级透镜上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上做光栅状扫描。试样在电子束作用下,激发出各种信号,信号的强度取决于试样表面的形貌、受激区域的成分和晶体取向。值得强调的是,入射电子束在试样表面上是逐点扫描的,像是逐点记录的,因此试样各点所激发出来的各种信号都可记录下来。给试样的综合分析带来极大的方便。韩肩吟全藉妙塔炕处停忆瑞耙咳豺撩葵柒鞘饥力需毯宝疏朵婪杏乃屠挪碧第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术S
5、EDetectorSpecimenCRTCameraAmplifierImageSignalHighVoltageDeflectionCoilsDeflectionAmplifierVacuumPumpFilamentWehneltElectronGunAnodeCondenserLensDeflectionCoilsObjectiveLensSpecimenChamberScanningElectronBeamMag.ControlConfigurationofascanningelectronmicroscope枣垄晕舍或笺混份呵授惟油
6、六苯氮平螟督廓她蹿骸诞糖呜耸尖庙隐屈晾懦第六章扫描电子显微术第六章扫描电子显微术PG1PG2FilamentCondenserLensapertureOrificeNVVacuumGaugeVacuumcontroller(Real-time)VacuumconditionpresetRP1RP2DPLowVacuumConditionBSEdetectorV8V6V9V3V4V1SpecimenV5V7HighVacuumConditionV2Blockdiagramofevacuatingsystem糙众荆怕三陈抱襄眷矗辆舍逝硷昌臃贵嫌
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