深圳国家863计划研发中心

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1、深圳国家863计划研发中心材料表面分析检测中心简介深圳市材料表面分析检测中心是深圳市政府投资建立起来的面向全社会的公共性技术服务机构，它以深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心为依托，拥有较齐全的国际知名品牌材料表面分析精密测试仪器，是华南地区集综合性、开放性、权威性为一体的材料表面分析测试机构。可按GB、ASTM、ISO及、各行业、企业等标准承检各种材料的性能检测，主要检测项目包括：表面形貌、成份、织构、薄膜厚度、表面粗糙度、孔隙率、硬度、薄膜结合力、摩擦磨损、应力、电化学与盐雾、腐蚀、颜色及色差等。分析检测中心技术力量雄厚，现有涉及材料、物理、化学、精仪等诸多学科的高级技术人员

2、多名，致力于材料的分析测试与合作研究，开展有关专业的技术咨询、新材料开发、技术规范和标准制定、人员培训等业务。测试中心具有一整套质量保障体系，以科学、公正、准确、高效的质量方针面向社会服务。1.X射线光电子能谱仪（XPS）俄歇电子能谱仪（AES）X射线光电子能谱利用光电效应的原理，测量X射线激发出的光电子能量和计数，对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析；俄歇电子能谱利用电子激发出的俄歇电子，对表面进行微区的成分和化学态分析。XPS和AES结合离子溅射还可以对多层膜等样品进行深度剖析，测得每层的成分、化学态以及相应的厚度。测试范围与服务项目：各种固体表面的元素成分、化学

3、价态、分子结构分析和深度剖析等。2.X射线衍射仪（XRD）利用X射线衍射原理，精确测定物质的晶体结构，织构及应力，进行定性和定量的物相分析，配有平行光路系统，可以进行表面相分析，对薄膜的结构进行表征。还配有高温样品台（室温~1200℃），可以对样品在不同温度下的相变进行表征。测试范围与服务项目：粉末样品、固体样品的物相分析、微量相分析、薄膜分析、高温衍射、应力测量、结晶度、晶胞参数等的测定。3.扫描电子显微镜（SEM）X射线能谱仪（EDS）扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，最大放大倍数可达30万倍，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微

4、区的成分进行定性定量分析。测试范围与服务项目：各种固体材料的形貌分析、微区化学成分检测，样品成分的线分布和面分布分析。4.微纳米综合力学测试系统微纳米力学综合测试系统可以对样品表面微区进行压痕（施加正向垂直载荷力）、划痕（施加侧向载荷力）、原位成像压痕或划痕后的表面形貌。主要应用于微硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、结合强度、临界载荷、断裂刚度、蠕变、粘变力（结合力）、存储模量、损失模量等测试。a纳米划痕仪主要技术指标:加载力：10uN～1N加载力分辨率：150nN摩擦力范围：6μN～1N加载方式：恒定载荷、台阶载荷、往复式运动、定位划痕测试范围与服务项目：实时记录法向力、摩擦力、穿透深度

5、、声发射信号，从而准确可靠地获得膜与基底的结合力，或研究薄膜与其它样品表面的摩擦、磨损行为。b纳米压痕仪主要技术指标:加载力：0～300mN加载力分辨率：40nN最大压入深度：20μm测试范围与服务项目：准确可靠地获得材料的压入硬度、弹性模量、接触刚度、应力－应变、蠕变等数据及接触刚度、硬度和弹性模量的连续纵深分布c原子力显微镜主要技术指标：扫描范围：20×20×2μm分辨率：X、Y、Z<1nm测试范围与服务项目：生物组织、涂层、薄膜、半导体材料的刻蚀结构及纳米、微米结构的三维形貌分析、表征5.大载荷划痕仪主要技术指标:加载力：1～200N加载力分辨率：3mN摩擦力范围：0～200N测试范

6、围与服务项目：同a6.摩擦磨损及表面光洁度测试仪试样的待磨层与摩擦纸，在荷重摩擦体的作用下，以规定的速度相互摩擦。通过测量摩擦前后密度的减少量（或涂层厚度的减少量），来判断墨层（或涂层）的耐磨性。其结构原理是：采用微电脑控制、LCD动态显示、机电一体化原理，进行设定的摩擦试验。试验前将试验标准要求的、或操作者自定的摩擦次数输入控制系统，试验则可实现自动控制，并在每次试验结束后蜂鸣提示。控制系统具有断电记忆功能，即每次重新上电后，保持上次断电前输入的参数状态。执行机构采用高精度齿轮减速微型电动机驱动摩擦体进行直线往复摩擦运动。主要技术指标：摩擦磨损方式：针-盘，球-盘转速：30~300rpm

7、最大载荷：150N表面光洁度测量范围：10nm~100μm触针驱动范围：21mm测试范围与服务项目：用于薄膜或者基材对接触针或球的摩擦系数、磨损体积测量、表面光洁度测量等。7.电化学综合测试仪电化学测试仪，又称电化学工作站，可进行循环伏安法、交流阻抗法、交流伏安法等测量。工作站可以同时进行四电极的工作方式。四电极可用于液/液界面电化学测量，对于大电流或低阻抗电解池(例如电池)也十分重要，可消除由于电缆和接触电阻引起的测量