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《测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。
1、测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术渡,亚毫米波频段测量低损耗材料的重要方法L4一?.我国在八十年代初也开展了这方面的研究,并制定了国家标准一.近年来又有人研究测量非平面样品和多层样品的新技术”-.对于低损耗薄膜材料,准光腔的灵敏度难以分辨出单层薄膜所引起的变化.一种直接的方法是把多层薄膜叠加起来进行测量,但由此带来的层问空气隙将严重地影响测量结果.车文采用一介电特性已知的平扳样品压在待刮薄膜材料上面.尉可以减少空气问目lc的存在.特别是对于准光腔通常不能测量的卷翘或弯曲材料,该平扳样品还可以起到平整弯曲材料的作用针
2、对最常遇到的双层介质情况,本文导出了正确的理论计算公式,只要知道或测得其中一层介质的复介电系数,胃j由多层薄膜组成的另一层介质的复介电系数即可被求出.我们采用简易的变腔长法测量谐振腔口值,推导了半功率点频率变化4r和相应腔长变化△测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术渡,亚毫米波频段测量低损耗材料的重要方法L4一?.我国在八十年代初也开展了这方面的研究,并制定了国家标准一.近年来又有人研究测量非平面样品和多层样品的新技术”-.对于低损耗薄膜材料,准光腔的灵敏度难以分辨出单层薄膜所引起的变化.一种直接的方法是把多层薄膜叠
3、加起来进行测量,但由此带来的层问空气隙将严重地影响测量结果.车文采用一介电特性已知的平扳样品压在待刮薄膜材料上面.尉可以减少空气问目lc的存在.特别是对于准光腔通常不能测量的卷翘或弯曲材料,该平扳样品还可以起到平整弯曲材料的作用针对最常遇到的双层介质情况,本文导出了正确的理论计算公式,只要知道或测得其中一层介质的复介电系数,胃j由多层薄膜组成的另一层介质的复介电系数即可被求出.我们采用简易的变腔长法测量谐振腔口值,推导了半功率点频率变化4r和相应腔长变化△测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术渡,亚毫米波频段测量低损耗
4、材料的重要方法L4一?.我国在八十年代初也开展了这方面的研究,并制定了国家标准一.近年来又有人研究测量非平面样品和多层样品的新技术”-.对于低损耗薄膜材料,准光腔的灵敏度难以分辨出单层薄膜所引起的变化.一种直接的方法是把多层薄膜叠加起来进行测量,但由此带来的层问空气隙将严重地影响测量结果.车文采用一介电特性已知的平扳样品压在待刮薄膜材料上面.尉可以减少空气问目lc的存在.特别是对于准光腔通常不能测量的卷翘或弯曲材料,该平扳样品还可以起到平整弯曲材料的作用针对最常遇到的双层介质情况,本文导出了正确的理论计算公式,只要知道
5、或测得其中一层介质的复介电系数,胃j由多层薄膜组成的另一层介质的复介电系数即可被求出.我们采用简易的变腔长法测量谐振腔口值,推导了半功率点频率变化4r和相应腔长变化△测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术渡,亚毫米波频段测量低损耗材料的重要方法L4一?.我国在八十年代初也开展了这方面的研究,并制定了国家标准一.近年来又有人研究测量非平面样品和多层样品的新技术”-.对于低损耗薄膜材料,准光腔的灵敏度难以分辨出单层薄膜所引起的变化.一种直接的方法是把多层薄膜叠加起来进行测量,但由此带来的层问空气隙将严重地影响测量结果.车文
6、采用一介电特性已知的平扳样品压在待刮薄膜材料上面.尉可以减少空气问目lc的存在.特别是对于准光腔通常不能测量的卷翘或弯曲材料,该平扳样品还可以起到平整弯曲材料的作用针对最常遇到的双层介质情况,本文导出了正确的理论计算公式,只要知道或测得其中一层介质的复介电系数,胃j由多层薄膜组成的另一层介质的复介电系数即可被求出.我们采用简易的变腔长法测量谐振腔口值,推导了半功率点频率变化4r和相应腔长变化△测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术渡,亚毫米波频段测量低损耗材料的重要方法L4一?.我国在八十年代初也开展了这方面的研究,并
7、制定了国家标准一.近年来又有人研究测量非平面样品和多层样品的新技术”-.对于低损耗薄膜材料,准光腔的灵敏度难以分辨出单层薄膜所引起的变化.一种直接的方法是把多层薄膜叠加起来进行测量,但由此带来的层问空气隙将严重地影响测量结果.车文采用一介电特性已知的平扳样品压在待刮薄膜材料上面.尉可以减少空气问目lc的存在.特别是对于准光腔通常不能测量的卷翘或弯曲材料,该平扳样品还可以起到平整弯曲材料的作用针对最常遇到的双层介质情况,本文导出了正确的理论计算公式,只要知道或测得其中一层介质的复介电系数,胃j由多层薄膜组成的另一层介质的
8、复介电系数即可被求出.我们采用简易的变腔长法测量谐振腔口值,推导了半功率点频率变化4r和相应腔长变化△D的微分美系.利用本文提出的新技术,对几种多层薄膜材料进行了测量.取得了{茼意的结果.-I996年11月收到.1993’年12月恼改定稿¨w帅g‰帅,15=hk.xuD锄(b0fc…n.n&Ir,~o~tlonETIeel
