国内外半导体硅材料与技术的发展近况

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1、国内外半导体硅材料与技术的发展近况本文由zhangsolomon贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。维普资讯http://www.cqvip.com们【ＩＩｌｉｎ　．．　瞳；■国内外半导体硅材料与技术的发展近况　中国电子材料行业协会半导体材料分会　朱黎辉　１半导体硅材料在国民经济中的作用与地位　　是以煤为主的，但我国的煤只能开采不到５Ｏ年了；且随着现　代化建设的进程，我国已成为世界上第二大石油消耗国和输　１１半导体硅材料在电子信息技术、．　产业中的应用　人类社会已进入了信息社会，入了网络文明时代

2、。在全　八国，进能源压力将日趋严重，能源安全问题早已提到议事日程　球信息化和经济全球化的进程中，以通信业、计算机业、网络　上，因此大力加速发展可再生能源硅光伏产业及其基础材料一　业、电业为代表的信息技术和信息产业获得了迅猛发展。其　高纯半导体硅（晶、晶片）料已成为当务之急。家多单材　中，息产业早已成为每个发达国家的第一大产业。信　与建硅集成电路生产线相比，建设硅太阳能电池生产线　进入２１世纪以来，我国的信息产业也已快速超过传统产　其投资强度与技术难度的门槛都较低，比较合乎我国的国情，　业而成为国民经济中的第一大产业和对外出口创汇的支柱产　加之其国

3、际市场十分看好，利润空间较大，其引发了我国不少　业。从２００３年开始我国的电子信息产业规模已超过日本而跃　地区与企业的巨大兴趣。因此可以预测，光伏产业的发展在　硅居世界第二位，仅排在美国之后。到２００６年，我国电子信息产　我国将有着极好的前景，对我国半导体硅材料，尤其是对高纯　业销售总值达４７．５万亿元，比增长２％，占全国总出口同４并　多晶硅的研制生产带来了巨大的市场空间，极好的机遇和严　值的３％。６　峻的挑战。　半导体工业（其是集成电路工业）信息产业的基础　尤是但是，我国目前多晶硅的严重短缺以及近三年来销售价　和核心，是国民经济现代化与信息化建

4、设的先导与支柱产业，格十几倍的暴涨所造成的各类硅片供应极度紧张状态已经成　　是改造和提升传统产业及众多高新技术的核心技术。而半导　为我国发展半导体工业、电子信息产业及新能源硅光伏产业　体硅（单晶）材料则是半导体工业的最重要的主体功能材料，的主要瓶颈，目前我国电子工业中最大的结构性矛盾。半导　　是是第～大功能电子材料，至今全球硅材料的使用仍占半导体　体高纯多晶硅材料已成为～种战略性的物资。　材料总量的９％以上，５而且国际集成电路（Ｃ）Ｉ芯片及各类半　２国际半导体硅材料的发展概况　　导体器件的９％以上也是用硅片制造的。５硅材料、硅器件和硅　２１国际十

5、大多晶硅生产厂家的简况　．　集成电路的发展与应用水平早已成为一个国家的国力、国防、　国民经济现代化及人民生活水平的重要标志。　迄今为止，际上生产高纯多晶硅的主要方法仍然以“国改　良西门子法——三氯氢硅氢还原法”（占全球总产量的　约鉴于其在一个独立国家中的这种战略地位，因此多年来，各　８％）硅烷热分解法（占总量的约２％）０和０为主。　发达国家和地区都投以巨资发展硅材料、硅器件和硅集成电路。　据２０年３月１日出版的日文《０６稀有金属新闻》报道，国外多　１２半导体硅材料在新能源、　可再生能源、绿色能源硅光伏产　晶硅十个主要生产厂家的生产能力及发展预测如

6、表１所示，未来几　对业中的应用　年世界主要多晶硅厂家在产能与产品结构方面的预测如表２所示，　“世界未来多晶硅生产能力和市场需求的统计、预测如表３所示。　朱黎辉，授／究员。１３教研９９年生，湖　南省兴化县人，９２年兰州大学物理系半　１６导体专业毕业，国电子科技集团公司第４　中６研究所副总工程师、国电子材料协会半导　中体材料分会秘书长。电话：２—４８３６０２２３２０　随着地球上矿物能源的加速消耗所造成的“源危机”能　不断）￣及传统能源消耗所产生的二氧化碳等温室气体对环　ｊｒｎＪ境压力的不断加重，发新能源、再生能源、色能源已成为　开可绿人类社会今后的重

7、大课题。其中，利用太阳能发电的硅太阳能　电池的研究与生产是最具前途的科技前沿之一。因此，半导体　硅材料的研究与生产又进入了新的发展期。我国的能源消耗　订阅本刊请拨：１－８８８３８２　０Ｏ８６１４转０７维普资讯http://www.cqvip.com；ＩＩ．【Ｉ１．■ｉｎ】Ｉ【　　ＩＩ】．．咐ＩＩＩ毒表１国外１　０个主要多晶硅生产企业的生产能力及发展预测　２００５年来　用　途　２００６年柬　用　途　２００７年来　单位：吨　２００８盘　能力　德山　５２０　０　实际产量　半导体用　５２０　０　４１０　０　太阳能用　１１０　０　能力　５４００　预测产量　

8、５４００　半导体用　太阳能用　４１０　０　１３０　０　能力　５４００　预测产量　５４００　能力　５４００　日本　三菱材料　１６０　０　１