一、物品与厂商资料

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1、物質安全資料表矽甲烷Silane一、物品與廠商資料物品中(英)文名稱：矽甲烷Silane物品編號：PT01製造商或供應商名稱：三福化工股份有限公司竹北廠製造商或供應商地址：新竹縣竹北市泰和里泰和路2~1號製造商或供應商電話：03-5552306緊急聯絡電話：03-5552306傳真：03-5557984二、成份辨識資料：中(英)文名稱化學式含量化學文摘社登記號碼(CASNO.)矽甲烷SilaneSiH4>99.%7803-62-5同義名稱：四氫化矽三、危害辨識資料:最重要危害效應緊急概要：矽甲烷為一無色、會與空氣反應、有窒息性影響。與空氣接觸會自燃，

2、燃燒時會釋放出未結晶的二氧化矽濃煙。主要的健康危害是此氣體在空氣中會自燃且有潛在的劇烈燃燒危害。高溫或火燄時，若鋼瓶的釋壓裝置故障可能引起鋼瓶爆炸。若矽甲烷在高壓下釋放或在高流速下，可能發生延遲性的爆炸。排放矽甲烷時若沒有發生自燃，便要小心有極大危險將發生，亦不可靠近排放區。緊急應變人員當進入洩漏區需穿著SCBA及全身防火衣。在未關閉瓶閥前不要企圖滅火。健康危害效應：吸入：吸入高濃度的矽甲烷會引起頭痛、頭昏、昏睡、刺激上呼吸道。矽甲烷會刺激黏膜和呼吸系統。高度曝露在矽甲烷會引起肺炎和肺水腫。眼睛接觸：矽甲烷會刺激眼睛，矽甲烷會分解產生二氧化矽。眼睛接

3、觸到微粒的二氧化矽會感到刺激。皮膚接觸：矽甲烷會刺激皮膚，矽甲烷會分解產生二氧化矽。皮膚接觸到微粒的二氧化矽會感到刺激。環境影響：－物理性及化學性危害：－特殊危害：自燃性。主要症狀：－危害物質分類:2.1、2.3圖示:四、急救措施：不同暴露途徑之急救措施：吸入：施救前先做好自身的防護措施以確保自己的安全。如穿戴適當防護裝備，人員採"支援互助小組"方式進行救援。將患者移至新鮮空氣處，立即請人幫忙打電話求救，若意識不清將患者置於復甦姿勢，不可餵食，檢查呼吸維持呼吸道暢通，若呼吸停止由受過訓練之人員施以人工呼吸，若心跳停止立即施以心肺復甦術(CPR)，或給

4、予氧氣，立即送醫並告知醫療人員曾接觸此物質。MSDSPT01矽甲烷Silane頁次5/5物質安全資料表矽甲烷Silane皮膚接觸:脫掉受污染衣服，用大量水清洗患部，繼續用水沖洗至少15分鐘，結束時用乾淨衣物覆蓋受傷部位，立即送醫。眼睛接觸：使用溫水緩慢沖洗15分鐘，並不時撐開眼皮沖洗，隱形眼鏡必先除去或用水沖出來，用濕潤棉棒將眼睛任何可移除之異物移除，沖洗完畢用乾淨紗布覆蓋，並以紙膠布固定，立即送醫。最重要症狀及危害效應：-對急救人員之防護：-對醫師之提示：如果需要供給氧氣，觀察是否有肺水腫初始症狀。五、滅火措施：適用滅火劑：關閉瓶閥，使用水霧以降低

5、燃燒產物的形成。不可使用海龍滅火器，儘量於遠距離以水霧冷卻火災區鋼瓶。滅火時可能遭遇之特殊危害：自燃性氣體！此產品為無色，會與空氣反應的氣體。此氣體在與空氣接觸時會自燃，釋放出稠密的二氧化矽濃煙。若矽甲烷以高壓或高流速洩漏，可能發生延遲性的爆炸。矽甲烷洩漏時若沒有發生自燃，便要小心有極大危險將發生，亦不可靠近洩漏區。大部份的鋼瓶皆被設計可由瓶閥之破裂片釋放高壓氣體。如果破裂片失效，可能導致爆炸。特殊滅火程序：疏散所有人員。如果沒有風險關閉氣源。再依據著火物質進行滅火。使用水霧降低在空氣中燃燒產物的形成。針對矽甲烷的火災，水可能不是有效率的滅火劑。不可

6、使用海龍滅火器。若有可能止住洩漏。未關閉洩漏之氣源前，勿嘗試滅火，這將可以避免混合的可燃性氣體濃度累積或再點燃的可能性。若是微漏，又無法止漏，對人員有危險性不大，讓洩漏之火燄自行燒完畢。噴灑大量的水以冷卻附近的鋼瓶，直到火燄自行燒完。大火時，必須在遠距離以無人操作的灑水設備撲滅大火。滅火人員須戴安全眼鏡、空氣呼吸器SCBA、全身性的防護裝備，包括防火衣。如有需要，滅火後的設備可用肥皂及水清洗。消防人員之特殊防護設備：消防人員須穿著個人防火衣，並攜帶正壓式SCBA。危害燃燒產物：二氧化矽。六、洩露處理方法：個人應注意事項：疏散所有人員，隔離洩漏區。矽甲

7、烷是自燃性氣體，與空氣接觸便會自行燃燒，並釋放出未結晶的二氧化矽。意外的洩漏必須由受過訓練的人員依應變計劃程序來處理。一般矽甲烷的洩漏會引起火災，若矽甲烷在高壓下釋放或在高流速下，可能發生延遲性的爆炸。矽甲烷洩漏時若沒有發生自燃，便要小心有極大危險將發生，亦不可靠近排放區。如果可行，關閉洩漏源。隔離洩漏容器。若無法止漏，允許洩漏之鋼瓶於在安全地區任其釋放。若鋼瓶洩漏通知供應商。若是製程設備發生洩漏，關鋼瓶閥，安全地排放壓力，於維修前確定使用惰性氣體進行管線沖吹。濃度需低於0.14%，（矽甲烷爆炸下限的10%）人員方可進入。環境注意事項：避免進入環境。

8、清理方法：可用肥皂及水清洗。七、安全處置與儲存方法：處置：使用無火花手工具。不可嘗試修理、調整、修改矽甲烷鋼