上海mocvd装备技术及产业发展分析

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1、上海MOCVD装备技术及产业发展分析MOCVD是LED生产过程中的核心装备，是决定LED产业发展技术水平的关键因素。MOCVD装备技术创新已被列入上海市科技“十二五”规划重大任务。“十一五”以来，上海市科委在LED材料、芯片、装备等领域前瞻部署了一系列研发项目，积极打造完整的LED技术链和产业链，为上海MOCVD装备的技术创新和产业发展提供了良好的环境和基础。近年来，上海在MOCVD装备领域取得了可喜的突破，已涌现出了数家各具技术特色和优势的MOCVD装备研发企业。近期，我们深入企业开展调研，系统梳理了上海MOCVD装备技术及产业发展现状，并对MOCVD装备行业的发展形势、发展环境和发

2、展前景作了全面分析。调研结果汇报如下：一、MOCVD装备市场需求前景从2009年始，在LED背光源显示、照明等巨大市场的推动下，全球LED芯片生产高速增长，生产规模迅速扩大。2011年第二季度以来，由于产业发展周期因素（背光市场需求已充分释放），LED产业进入了产品结构调整阶段，芯片产能数量增长幅度有所放缓趋于合理，而在技术水平、产品品质等方面的竞争更为激烈。据McKinsey公司预测，目前LED产业在通用照明领域已经走上了快速增长的轨道，2020年之前LED光源将占据全球照明市场主导地位。随着LED在通用照明领域的大规模应用，可预期LED芯片即将迎来新一轮需求快速增长的高峰期。LED

3、全球照明市场份额预测（McKinsey）LED产业近年来的迅猛发展导致作为产业核心设备的MOCVD装备需求量2010年到2011年上半年呈井喷式增长（仅中国2010年一年的设备需求量超过200台，比过去近20年的总装机容量还多50台），出现了严重的供不应求的局面。2011年下半年，随着LED产业整体进入调整期和前期设备产能的逐渐形成，MOCVD装备市场增长幅度有所回落。预期随着LED产业的进一步发展和MOCVD技术的进一步成熟，MOCVD装备市场在未来5-10年还将会迎来两到三次显著增长的窗口期，最近的窗口期可能在2013年下半年到来。我国MOCVD设备装机数量增长趋势（Goldman

4、Sachs）一、MOCVD装备国际国内竞争态势（一）MOCVD装备产业国际竞争情况MOCVD装备产业当前在全球范围内仍是一个新兴的产业，面对近年来需求的迅猛增长，技术和产业都尚未充分成熟。2005年之前，由于LED产业总体规模较小，设备更新较慢，进入的设备厂家不多，全球MOCVD设备主要制造商仅有德国的Aixtron、美国的Veeco、日本的大阳日酸株式会社等三家企业。由于日本禁止出口的政策，国际市场几乎都被Aixtron（占据60%市场份额）与Veeco（占据近40%市场份额）垄断。随着2006年之后全球LED产业的迅速升温，对MOCVD装备需求量迅速增加，使三家企业的产值飞跃，设备

5、的技术升级步伐也大大加快。然而时至今日MOCVD装备技术仍未进入成熟阶段，现有设备产品仍未能适应LED产业大规模、自动化、高质量、低成本生产的需求，在LED芯片生产中普遍存在着装备与工艺脱节的问题，MOCVD装备制造厂商对于下游LED芯片厂家实际生产中面临的诸多问题仍然缺少有效解决方案。近年来Aixtron与Veeco等企业开始积极实施专利战略，试图阻止后进入的厂商竞争，但因LED产业技术变革迅速，很难形成实质性的专利壁垒。总体而言，目前国际MOCVD设备市场仍处于有效竞争阶段，领先者的优势显著但不稳固，后发者正面临着追赶和超越的关键机遇窗口。技术创新、服务创新和业态创新三者的结合，将

6、成为奠定明日产业优势的关键因素。国际主要MOCVD装备供应厂商技术对比情况大规模生产能力产品质量生产成本控制Veeco自动化程度较高，设备可连续工作，生产效率较高相对较不稳定炉体技术特点决定了原料用量比较浪费Aixtron需频繁停机清洗，生产效率相对较低相对Veeco而言较好，但仍不能满意原料用量较为节省大阳日酸由于技术路线限制，单炉只能做到三到五片，无法大规模生产产品质量最优，良品率高生产成本介于Veeco和Aixtron两者之间总体评价装备的自动化水平仍有待提升以适应大规模生产需求目前国际主流的Veeco和Aixtron设备都达不到满意的生产质量生产成本仍有进一步控制的空间（一）M

7、OCVD装备国内布局与发展情况在科技兴国战略指引下，从“九五”到“十一五”期间国家先后对MOCVD设备的研制组织了多次攻关。但由于市场整体需求的不充分，技术也没有完善到适应产业化生产需求，前期科研成果没有走向良好的产业化，但也为我国自主MOCVD装备的发展打下了重要的技术和人才基础。随着“国家半导体照明工程”于2003年正式实施，MOCVD设备国产化已被列入国家层面的技术创新重点支持方向。在国家政策与市场需求的双重引领下，我国多个地区都积极参与