YST27-1992晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法.pdf

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1、中华人民共和国有色金属行业标准YSIT27一92晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法主题内容与适用范围本标准规定犷应用显微技术，测量在平坦与不平坦的表面上沾有粒径大于5pm的微粒的方法，并统计一定粒径范围内的微粒数量。本标准适用干分析小型电子器件零部件的表面，也适用于检验硅片表面。2术语2.1沾污微粒particulatecontaminant用超声清洗可除去的表面附着的微小固体物质2.2粒径particlesize微粒在一条特定直线上的最大投影尺寸。2.3纤维物fibers长度在100I'm以上，长宽比

2、大于10的微粒2.4平坦表面planarsurface在用显微镜的最高放大倍率下，受检表面轮廓不超过该显微镜景深的表面。反之为不平坦表面3试剂和材料3}，净水经。·45dent滤膜过滤的蒸馏水或去离子水。3.2异丙醇C(CH,),CHOH):化学纯，经0.45pm滤膜过滤。3.3P肪酸烷醇胺聚氧乙烯:即非离子表面活化剂，经。.45ym滤膜过滤。3.4硅脂3.5平板玻璃片:50mmX75turn.16微孔滤膜:膜径50m-，孔径0.451-，用混合纤维素醋制成，黑色，无荧光，标有栅格。滤膜有效}i积，.6

3、cm`，含有100个3.08turnX3.08-m的栅格元。3.7T料膜经。.45txm滤膜过滤的异丙醇清洗。4试验仪器和设备4.1显微镜配有45-100X放大倍率的光具组，载物台配有螺旋测微装置4.2物镜测微尺:为标准刻尺，最小分度为。.01mm,4.3目镜尺:选刻尺总长5mm，最小分度为。.05turn4.4超声波清洗槽4.5抽气机:采用水流抽气机，其压力不大于80kPa4.6杯式过滤器:过滤器由器盖、贮液杯、"O”形环、网板、集液漏斗和夹钳组装而成，如图1所示。中国有色金属工业总公司199203一

4、09批准1993一01一01实施YS/'r27一92器盖贮液杯O型环夹钳滤膜网板润斗图1杯式过滤器示意图4·7抽滤瓶500m1。4.8贮存容器:采用玻璃培养皿。4.9玻璃烧杯:500m工4.10移液管。4.11不带钩、槽的平头镊子。5试样制备5门平坦表面平坦表面试祥直接放置在显微镜载物台上进行微粒测量和计数5.2不平坦表面5.2.1用含有非离子表面活化剂的50-60'C热水超声清洗玻璃器皿、移液管、贮存容器和过滤器，再用净水与异丙醇漂洗，待用5.2.2经净水冲洗后的滤膜，放入净水中，浸泡不少于8ho5.

5、2.3滤膜再用净水冲洗2min，平铺在过滤器网板上，放入贮存容器内，加盖自然干燥30min以上，或于60-70'C强迫干燥。然后放在显微镜载物台上，测定滤膜的背景，该值要在显微分析的总数中扣除。当背景值与显微分析的总量处在同一水平时，则要重新采样，强化o膜清洗，降低背景。5.2.4滤膜经背景测定后，用净水冲洗2min，按图1要求接入抽气系统。5.2.5在500mL烧杯内放入200m1净水，加入。.1mL一作离子表面活化剂，摇匀，盖上塑料膜，加温到50-60'C。5.2.6将试样放入烧杯内，超声清洗5mi

6、n,5.2.了从烧杯中取出试样，立即将水倒入过滤器贮存杯，试样贴上标签保存5.2.8烧杯壁用50mL净水冲洗，加入贮存杯中，放下过滤器的盖板，进行减压抽滤5.2.9过滤结束后取出滤膜放入加盖容器内自然干燥30min以上，或于60-70C强迫干燥5.2.10试样表面微粒转移工作完成后，滤膜移入显微镜载物台v，按第6章进行微粒测量和计数若滤膜出现翘曲，可将滤膜先移置在抹有薄层硅脂的50mmX70mm玻璃片上:或用玻璃片压在滤膜LYS/T27一925.2-11第一次试验时，要将5.2.7条保存的试样，重复5.

7、2.6条至5.2.10条操作.测定去除可动微丰的hl分比6测量步骤6.1测量在层流罩内进行。6.2按粒径(纤维)5-25[.m,>25-100pm,>100p.m三个范围的次序计算粒子数，片作好记录6.3选定目镜和物镜后，用物镜测微尺对目镜尺上的刻线定标6.4调节物距和光强，使被测表面上附着的微粒，经物镜形成清晰的实像6，5先横向后纵向有次序地移动载物台，使显微镜的有限视区扫遍试样表面或滤膜有效面积区.对V.径测量和计数6.6若估计某粒径范围的粒子总数为50^1000,则在滤膜上任意选择20个方格元，测

8、出各方格兀f"7粒子数，将其相加求和再乘I:5倍，就得出试样表面附着的该粒径范围的粒了总数。6-7若估计某粒径范围的粒子总数为1000--5000，则在滤膜上任意选择1。个方格元测出各方格元的粒子数，将其相加求和再乘L10倍，就得出试样表面附着的该粒径范围的粒子总数。6.8若估fl-某粒径范围的粒子总数超出5000，则在滤膜上任意选择10个方格元，测出备个方格元内某局部区域附着的粒子数(选择局部区的面积大小，以其上存在粒子数为50左右为准)