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1、上海博恩世通光电股份有限公司质量管理体系文件文件编号PN-STONE/WIB0701版本号A/0页次/总页1/5新风空调箱操作维护指导书版本与更改记载版本实施日期记载编制审核批准A/02012/04/01首版otherstaffoftheCentre.Duringthewar,ZhuwastransferredbacktoJiangxi,andDirectorofthenewOfficeinJingdezhen,JiangxiCommitteeSecretary.Startingin1939serve
2、dasrecorderoftheWestNorthOrganization,SecretaryoftheSpecialCommitteeAfterthevictoryofthelongMarch,hehasbeentheNorthwestOfficeoftheFederationofStateenterprisesMinister,ShenmufuguSARmissions,DirectorofNingxiaCountypartyCommitteeSecretaryandrecorderoftheCo
3、untypartyCommitteeSecretary,Ministersand上海博恩世通光电股份有限公司新风空调箱操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0701版本号A/0页次/总页5/51目的确保机组的正常运行操作和良好的维护保养,保证机组正常运行,2适用范围本规程规定了天加新风机组运行操作步骤,内容,方法等等,适用于天加新风机组的操作。整个系统包括新风系统,回风系统,空气过滤装置,冷热盘管,喷雾加湿系统,管线及末端送回风装置。3职责权责范围为厂务动力部,负责MAU新风空调箱的运行操作及
4、维护保养工作。4定义新风空调箱是空调送风系统核心,保证无尘室正压及温湿度环境的生产需求。5控制内容5.1工作流程:5.1.1全新风机组由离心式风机、冷热交换装置,板式/袋式过滤器及高效过滤器、箱体等组成。新风机通过风管从室外抽取新风,通过过滤、加湿/除湿、预热/表冷/再热处理,送入洁净室内;5.1.2采用MAU+FFU+DCC方式控制洁净室内温湿度及压差;100级与1000级区域采用上送下回的气流方式,10000级区域采用上送侧回的气流方式;5.2供给区域:5.2.1洁净室1FLLAPPINGROOM
5、(10000级);MOCVD1/2ROOM(10000级);THINFILM1/2ROOM(1000级);SCRUBBER1/2ROOM;PHOTOROOM(100级);5.3开机前检查5.3.1检查机组外观5.3.1.1箱体内部洁净,无积水积污现象;5.3.1.2各检修门均可靠锁闭,间隙无过大过小现象;5.3.2检查控制柜电源5.3.2.1电源电压380V±5%,电源指示正常,无故障提示;5.3.2.2变频器运行正常,无故障提示;otherstaffoftheCentre.Duringthewar,
6、ZhuwastransferredbacktoJiangxi,andDirectorofthenewOfficeinJingdezhen,JiangxiCommitteeSecretary.Startingin1939servedasrecorderoftheWestNorthOrganization,SecretaryoftheSpecialCommitteeAfterthevictoryofthelongMarch,hehasbeentheNorthwestOfficeoftheFederatio
7、nofStateenterprisesMinister,ShenmufuguSARmissions,DirectorofNingxiaCountypartyCommitteeSecretaryandrecorderoftheCountypartyCommitteeSecretary,Ministersand上海博恩世通光电股份有限公司新风空调箱操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0701版本号A/0页次/总页5/55.3.2.3各开关均在“合闸”位置,节点牢固可靠;5.3.3检查电动机5.3
8、.3.1电机外观良好,皮带无破损断股、过松过紧现象;5.3.3.2离心风机无严重结垢及扇叶磨损;5.3.4检查换热系统5.3.4.1冷冻水(热水)供、回水阀门处于开启位置,旁通阀均处于关闭位置;5.3.4.2冷冻水(热水)供回水压力应在0.2~0.4MPa;5.3.4.3管路无渗漏,保温无破损现象;5.3.5检查风系统5.3.5.1风阀开度正常,可靠锁闭,防火阀状态正常;5.3.5.2滤网洁净,无严重积尘,初效过滤器压差<150Pa,中效过滤器压差<30