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时间:2018-09-08
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1、健康力:GEXR515DR曝光故障维修一例设备名称:XR515故障现象:不能正常曝光故障分析:DR设备不能正常曝光,连接JEDI,查看报错信息如下:110-0804H:TankThermalError70-0503H:InverterGatePowerSupplyerror80-0322H:KVconversionerror1、查看报错次数,发现70-0503H报错次数达到99次,首先考虑供电问题:(1)检查配电柜供电,在正常范围内;(2)检查PDU供电,正常;(3)检查JEDI供电,正常;(4)检测AC/DC供电,正常;(5)检测DCbus,正常;2、排除供电部分,转移检查JEDI部分的
2、连线,重新插拔所有线路接点,问题依旧出现。3、考虑各电路板部分:先将JEDI部分拆开,观察KV板跑马灯(依次亮起的LED灯)的情况,发现跑马灯会突然中断(发生跑马灯中断是因为报错提示),然后2、3、6位置指示灯同时闪烁一次,接着跑马灯会中断然后继续2、3、6位置指示灯同时闪烁一次。然后观察KV板上两个保险丝旁的绿灯,发现F2是无指示,断电后,确认保险丝熔断。2、测量电离室的R20保险状态将电离室卸下后,测量R20保险丝,处于导通状态,但是有一圈黑色明显烧灼痕迹,将电离室和KV板同时换掉。3、首先将KV板的数据信息导出。连接JEDI软件,备份KVBD记忆数据,在DOS环境下运行Asian.e
3、xe(打开DOSBox后选择dos shell 命令运行窗口,直接运行Asian)然后把bootapp等数据放到comm的文件夹下,Asian会自动在当日目录下查找bootapp等数。2、断电,同时更换电离室和KV板。(注意:KV板和电离室需要同时更换,如不同时更换有很大可能再次烧坏。注意提醒,供参考。)3、开机观察KV板情况,发现跑马灯只有四个灯亮,保险丝两个绿灯工作正常。4、连接Jedi软件,导入数据到KV板:(1)将boot426软件导入;(2)将applP426软件导入;(3)将KV板数据导入;(必须严格按照顺序执行导入,如遇困难,需多努力。)在导入的过程中,如果导入不进去,需要多
4、试几次。9、执行chenksm9、最后调节电离室,进行AEC校准;10、AEC校准完毕后,机器恢复正常。结论:维修时面对故障要有一个清晰的思路,然后跟着思路一路一路的检测下去,不能盲目。而且在检测维修时要细心,这样会有事半功倍的成效。健康力技术部
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