SJT11259-2001制冷机低温泵总规范.pdf

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1、ICS31-550L97各鑫县:9880-2002中华人民共和国电子行业标准SJ/t11259-2001制冷机低温泵总规范Generalspecificationforrefrigeratorcryopump2002-01-31发布2002-05-01实施中华人民共和国信息产业部发布标准分享网www.bzfxw.com免费下载前言本规范参照GB7774.GB7776.GB/T6070.GB/1'3163制定，可用于指导该类产品的研制与生产。本规范由中国电子技术标准化研究所(CESI}归口。本规范起草单位:

2、信息产业部合肥低温电子研究所。本规范主要起草人:柳汉莹、赵东辉、徐友平、严善仓、田渠。标准分享网www.bzfxw.com免费下载中华人民共和国电子行业标准制冷机低温泵总规范SJ/T11259-2001Generalspecificationforrefrigeratorcryopump范围本规范规定了制冷机低温泵的要求、试验方法、质量评定程序及标志、包装、运输、贮存。本规范适用于制冷机低温泵的研制生产。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时，所示版本均为有效

3、。所有标准都会被修订，使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191-2000包装储运图示标志GB/T3163-93真空技术术语GB5080.7-86设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案GB/T6070-1995真空法兰GB7774-87涡轮分子泵性能测试方法GB7776-87蒸汽流直中凳凳浦饭流率测试方法3定义本规范采用下列定义。3.1低温泵cryopump利用低温表面搜集气体的真空泵。3.2制冷机低温泵refrigeratorcryopump用封闭循环制

4、冷机提供冷源的低温泵。3.3降温时间cooldowntime从室温启动制冷机至冷头温度达到20K时所需的时间。3.4极限压力ultimatepressure泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。3.5抽气速率volumeflowrate体积流率当泵装有标准罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。3.6抽气容量capacity中华人民共和国信息产业部2002-01-31批准2002-05-01实施I标准分

5、享网www.bzfxw.com免费下载SJ/T11259-2001制冷机低温泵的抽速由最大下降至抽速(Smax/e)时所抽的气体量，又称排气童。分类与命名4.1命名制冷机低温泵系列产品型号命名由以下部分组成:荃本型号辅助型号国一目国国代表制冷机低温泵名称，以构成名称的两个关键字(低温、制冷)的汉语拼音第一个字母DZ表示。~倒﹂曰川匕代表制冷机低温泵的规格，以其泵口直径表示，见表1e代表制冷机低温泵设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A,B,C0⋯顺序表示。4.2规格制冷机低温泵泵口直径推荐尺寸见表裹1泵

6、口直径示例泵口直径为200mm,第三次设计改进的制冷机低温泵命名示例如下。设计序号泵口直径，mm制冷机低温泵代号5要求5.1工作环境条件制冷机低温泵工作环境条件如下:a)室内运行:b)环境温度:00C-400C;c)相对湿度:<85%e5.2外观质t与尺寸5.2.1外观质f制冷机低温泵外观应光滑平整，无毛刺、裂纹等影响寿命和使用的缺陷.5.2.2尺寸制冷机低温泵的泵口直径应符合表1的规定。5.3性能特性5.3.1降温时间制冷机低温泵的降温时间应符合表2的规定。5.3.2极限压力标准分享网www.bzfxw

7、.com免费下载SJ/T11259-20015.3.3抽速制冷机低温泵的抽速应符合表2的规定。5.3.4抽气容f制冷机低温泵的抽气容It应符合表2的规定。54安全性5.4.1制冷机低温泵必须配有压力安全装里。5.4.2在正常工作条件下，制冷机低温泵的电源线与机壳之间的绝缘电阻应大于10Mn.5.5可命性制冷机低沮泵平均故除间隔时间(MTBF)大于或等于10000h.裹2主要技术指标项目泵口直径160100200250_320400m拍(150)(300)Hz020002500420050095001000

8、7抽速Nz/Ar500/400800/6001500/12002200/15003000/20005000/3700USN2/He500/1501000/3002000/6004000/12005500/17005500/1700抽气容里Ar/Nz2x10-'2.7x10'8.10,2xl0'2jx1003.10'P比H22.0.10'4.0.10'9.0.10,2.5x1063x1065x106极限压力Pa10-'10'11