esd培训系列之静电敏感等级介绍

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1、ESD基础培训IPQC系列培训之制作：杨永亮日期：2011-7-27目录前沿——ESD电子行业隐形杀手静电阐述静电定义静电放电人体能感知的静电静电产生模式分离带电摩擦带电感应带电接触带电静电放电模式人体放电模式机器放电模式充电器件模式静电来源于防护静电的来源静电敏感元器件静电防护措施及原则防静电基本要求设备的ESD实验SSD料件的静电敏感等级测试ESD电子行业隐形杀手在半导体，FPD，PCB板等电子行业中，我们经常会提及“静电”，因为它它会对我们的产品良率造成很大影响，并且是我们人体器官所感觉不到的，所以它常被我们称为隐形“杀手”。我们必须设法认识它，发现它，并且减小它对我们

2、产品的影响！静电现象举例:1.脱毛衣看到的火花或刺啦的声响2.接触容易产生静电的物体有电击感觉3.阴雨天空中闪电，雷鸣4.打印机吸附纸张的原理静电阐述静电定义物质内都是包含有正、负两种电荷的，当这两种电荷相互牵引，达到平衡时，则物质不带有静电；而当两种电荷由于某些原因不平衡了，这时，物质就带上了静电。如下图：正负电荷平衡带负静电的区域静电阐述当元器件本身带有大量静电时，与导电材料相接触，使电荷快速转移，这样就会形成很大的放电电流，最终导致我们元器件被打坏。静电阐述如右图所示，此ICDevice表面带有2000V的静电，如果与导电材料相接触，由于接触面积很小，IC本身的电阻也很

3、小，静电电荷会快速移动，形成很大的放电电流，最终导致ICDevice被打坏。我们称这种静电放电现象为ESD（ElectrostaticDischarge）——静电放电。导电材料绝缘材料----2000v静电阐述二．人体能感知的静电以下几种由于静电所产生的情况能被人体所感知：超过2000V的对人体放电现象带静电物体对灰尘的吸附由于静电放电造成的闪光由于静电放电造成的声音放电时间超过一秒的情况静电产生模式分离带电不同物质对正、负电荷吸引能力各不相同，当两个不同材料的物体突然分离时，由于两者的这种吸引能力的差异，使吸引负电荷能力相对较强的物体吸引了对方物体上的负电荷，在分离面带上负

4、的静电；同理，吸引正电荷能力较强的物体吸引对方物体上的正电荷，在分离表面带上正的静电。++++++++++++++++++－－－－－++++++－－－－－－－－++++++事例1事例2接地事例3绝缘体A绝缘体A绝缘体A绝缘体B绝缘体B导电体导电体当吸嘴吸起IC时，由于IC与Wafer分离使IC表面带上了大量得静电电压，如果不及时解决，在后面的步骤中碰到导电体，产生很大的放电电流，就会将IC打坏＋＋＋－－＋＋－－撕膜这一步骤不但在将IC插入PCB板的环节中存在，在做模组的环节中经常会遇到，如右图所示，这其实也是一个分离带电的过程，并且经常带有四、五千，甚至上万伏的静电电压，如果

5、碰到导体放电，会严重损害我们的产品，同时还有静电吸附的危害。－－－＋＋－－－＋－＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－－摩擦带电不同物质对正、负电荷吸引能力是各不相同的，当两个不同材料的物体相互摩擦时，正是由于这种吸引能力，使吸引正电荷能力相对较强的物体上的电子转移到了吸引负电荷能力较强的物体上，这样，就是前者带上了正的静电，后者带上了负的静电。－－－－－－－－++++++事例1++++++++++++－－－－－++++++事例2接地事例3绝缘体A绝缘体A绝缘体A绝缘体B绝缘体B导电体导电体感应带电当一个不带电的物体靠近带有静电的污染源时，表面会由于感应，带上相反极性的静电电压。带电体绝

6、缘体A高压源导电体靠近/远离－－－－－－－－－－－－－+++++++++++++++++++－－－－－－－电缆线或电极事例2绝缘体A绝缘体A绝缘体B绝缘体C事例1事例3摩擦/分离带电如右图所示，由于装有Wafer的容器是由绝缘材料制成的，当其表面由于分离、摩擦等原因带上静电以后，会使其内的Wafer由于感应，带上与容器表面静电电压相反极性的静电，当我们将其放入DI水中时，因为水是导电体，由于Wafer带有正极的静电，电荷会通过DI水形移动，也会损害Wafer。＋＋＋＋＋＋－－－－－－＋＋＋＋＋＋＋－－－－－－－－＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋－－－――――――――――――带电体与

7、绝缘体接触会物体进行静电充电，使物体带上静电。静电放电模型一、人体放电模型（HBM，HumanBodyModel）1）理论介绍：这个测试模型表示放电从人体的指尖传到器件上的导电管脚，该模型通过一个开关组件，将充了电的100pF电容器，在待测器件和与之相串联的一个1500Ω电阻上放电。放电本身是有2~10ns上升时间，和大约150ns脉冲宽度的双重指数信号波形。使用1500Ω串联电阻，意味着这个模型接近一个电流源。所有的器件都应该视为HBM敏感器件。2）电路图及示意图：静电放电模型二、机器放电模型（MM，