利用劈尖干涉检测工件的平滑程度

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1、利用劈尖干涉检测工件的平滑程度姓名沈霞民专业电子工程学号C042012013摘要空气劈尖的等厚干涉，可测量精确加工工件表面极小纹路的深度，在生活中有着广泛的运用。关键词劈尖等厚干涉现有一标准的平滑玻璃片和一待测工件，将待测工件放在下面且待测表面向上，把标准玻璃片置于上方，在两者之间放一薄片，组成一空气劈尖。用单色平行光垂直照射到玻璃片上，在显微镜中观察干涉条纹，可能会出现三种情形。干涉条纹现象如下一．明暗相间的与棱边平行的等间距直条纹二．明暗相间但与棱边不平行的弯曲且向左凸的条纹三．明暗相间但与棱边不平行的弯曲且向右凸的条纹由干涉条纹可知情形一待测工件表面是平滑的，因为条纹是等间距直

2、条纹；情形二待测工件表面是下凹的，因为本应在该处不出现明纹，却出现与高级次在同一级次的干涉明纹，可知此处光程差变大了；情形三待测工件表面是上凸的，因为本应在该处不出现明纹，却出现与低级次在同一级次的干涉明纹，可知此处光程差变小了。下面将通过理论计算求出待测工件表面上凸或下凹的程度。以情形二为例。由干涉条纹可知，相邻两明纹之间的距离为，明纹偏离的大小为，假设下凹深度为通过以上计算，很好地得出了待测工件表面下凹了。根据此表达式可以得出，当a越大，b越小，工件表面越不平滑。将此方法运用于实际中，能够精确地判断出工件是否符合工业标准，筛选出合格的产品。