mems触觉传感器-综述

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1、摘要微小型化是当今技术领域发展的重要趋势之一，微电子机械系统（MicroElectroMechanicalSystem，简称MEMS）正是顺应这一趋势而应运而生的一门新学科。传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志，它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱，其对人类社会具有革命性影响，是关系国民经济建设和国家安全保障的战略高科技。触觉与视觉一样，都是模拟人的感觉，是机器人实现与环境直接作用的必需媒介。常用触觉传感器有压阻式触觉传感器、光传感式触觉传感器、压电式触觉传感器、电容式触觉传感器等。其中压阻式触觉传感器是利用硅的良好机械和电学性能，通过扩散或离子注入的方法将力敏电阻注入到

2、感压薄膜中实现感压元件和转换电路的集成，具有输入和输出间良好线性关系，制作工艺简单等优点。触觉传感技术是实现智能机器人技术的关键因素之一，触觉传感器的发展对智能机器人具有相当重要的意义。其广泛应用一直备受学者们的关注，尤其在生物医药、食品加工、及微外科学等应用非常广泛。因此，世界上许多国家均不同程度地花费大量人力、物力和财力从事触觉传感器的研究。本文首先介绍了微电子机械系统、触觉等相关概念，然后叙述了触觉传感技术研究现状和发展趋势，再详细总结了常见类型触觉传感器性能特点及研究现状，最后简单介绍有限元方法在传感器设计中的应用。关键字：微电子机械系统，触觉传感器，压阻式，智能机器人，设计39）A

3、BSTRACTMicrominiaturizationisthecurrentdevelopmenttrendofnowadaystechnicalfield,yetMEMShasalsocreated.Sensortechnologyisacriticalcriterioninjudgingthelevelofdevelopmentofthemodernscience,whichwilleffectnationaleconomyandstatesecurity.Sensortechnology,communicationtechnology,computertechnologymakeup

4、thethreemainstaysofthemoderninformationindustry.Touchisthenecessarymediumtorealizethedirectactionofrobotandsurroundings.Thecommontactiletypesensorincludespiezoresistivetactilesensor、lightsensortypetactilesensor、piezoelectrictactilesensor、capacitivetouchsensorandsoon.Piezoresistivetactilesensorbring

5、abouttheintegrationofsensingelementandswitchcircuitbysilicic’sexcellentelectricalandmechanicalproperties,whichhaswelllinearrelationbetweeninputandoutput.Tactilesensingtechnologyisoneofthecrucialfactorsofrealizingintelligentrobottechnology.Thedevelopmentoftactilesensor,tointelligencerobot,hasquiteim

6、portantsense.Itswidelyapplication,especiallyinBiomedicine、Foodprocessing、Microsurgeryandsoon,haslongbeenamajorconcernamongthescholars.Therefore,manycountriesaroundtheworldspendmuchinvest,agreatamountofmoney,stuff,andmanpoweronstudyingtactilesensor.Inthefirst,thetextintroducestherelatedconceptofthes

7、ubject,thennarrateinvestigatedactualityanddevelopment’strendoftactilesensortechnology,summarizethecommontypesoftactilesensors’performanceandinvestigatedactuality,finallygiveanoutlineofthefiniteelementapplic