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1、压电薄膜泵驱动的新型直线马达第38卷 第6期2008年11月吉林大学学报(工学版)JournalofJilinUniversity(EngineeringandTechnologyEdition) Vol.38 No.6 Nov.2008阚君武1,阚君满2,唐可洪1,任 玉3,朱国仁1,高俊峰1(1.吉林大学机械科学与工程学院,长春130022;2.吉林工商学院科研处,长春130062;3.吉林大学数学学院,长春130012)摘 要:提出了一种由压电薄膜泵和液压缸构成的新型直线马达(简称压电液压马达)。介绍了其结构和工作原理,并进行了性能分析与测试。利用尺寸为??35m
2、m×1振子制作了两腔体串联压电泵,并与直径15mm、验。研究结果表明,在驱动频率一定,驱动电压超过性增加。在驱动电压为140V、工作频率为,推力分别为14.5mm/s和17.8。关键词:;;驱动器T:A 文章编号:167125497(2008)0621337205Piezomembranepumpdrivenlinearmotor———————————————————————————————————————————————KANJun2wu1,KANJun2man2,TANGKe2hong1,RENYu3,ZHUGuo2ren1,GAOJun2feng1(1.Coll
3、egeofMechanicalScienceandEngineering,JilinUniversity,Changchun130022,China;2.DepartmentofScienceandResearch,JilinBusinessandTechnologyCollege,Changchun130062,China;3.CollegeofMathematics,JilinUniversity,Changchun130012,China)Abstract:Anovelpiezohydrauliclinearmotorconsistingofatwochamber
4、piezomembranepumpandacylinderwaspresentedwithintruductionofitsstructureandworkingprinciple.Theperformanceofthismotorwasanalyzedandtested.Todriveacylindermeasuring??15mm×100mm,adoublechamberserialpiezomembranepumpwasmadeusingpiezoelectricmembraneactuatorsmeasuring??35mm×1mm,Experimentonth
5、ismotorwasperformedintermsofflowrate,pressureandoutputpower.Theresultsshowthatatagivenfrequency,andwithdrivingvoltagebeyound100V,thrustandvelocityofthemotorwilllinearlyincrease.Theachievedmaximalvelocity,thrustandpowerofthemotorare14.5mm/s,17.8Nand63.5mWrespectively.Keywords:automaticcon
6、troltechnology;piezoelectricmotor;piezoelectricpump;linearmotor;actuator 在过去的几十年里,已开发出了多种不同类型的压电直线马达(piezoelectriclinearmotors,国内多称压电直线驱动器,piezoelectriclinearactuator),并在光学、精密机械以及航空航天等领收稿日期:2008203225.———————————————————————————————————————————————基金项目:国家自然科学基金项目(50775093).域得到了广泛的应用[122
7、]。目前所研究的压电直线马达总体上可分为超声波马达(ultrasonic/resonantmotors)和步进马达(stepper/walkmotor)两大类,其中超声波直线马达又包括行作者简介:阚君武(19652),男,副教授.研究方向:压电驱动与控制技术.E2mail:kanjw@jlu.edu.cn通信作者:阚君满(19732),男,助理研究员.研究方向:计算机应用,自动控制.E2mail:kanjunman@jlbtc.edu.cn?1338?吉林大学学报(工学版)第38卷波、驻波和表面波马达等多种类型[325];步进式直线马达主
