真空蒸发镀膜机需求书及投标说明书

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1、真空蒸发镀膜机需求书及投标说明(一)需求书该多功能真空镀膜机系统为单真空室结构（蒸发沉积室），其结构为圆筒形形式，侧面抽气结构，上盖可电动开启。前部留观察窗一个，观察窗有独立挡板，蒸镀时材料不会污染观察窗。按照使用方的要求预留两个以上接口法兰。具体指标如下：设备名称组成部件技术要求真空系统真空室1、不锈钢圆筒结构；2、真空室尺寸：Φ400×H400mm（根据设计需要适当调整）；3、侧面抽气，正面配Φ100玻璃观察窗，含防污挡板；4、真空室上盖电动开启；5、要求在两个卤素灯的配合下可以清楚观察到每个蒸发舟的蒸镀与每个样品台和掩模板的转动情况。抽气系统1、采用“分子泵+机械泵”的抽

2、气系统，分子泵抽速620L/S（中科科仪），机械泵采用D30C(莱宝)；2、主阀采用CC-BCF150插板阀(川北科技),系统配备旁抽阀及旁抽管道；3、真空室设置一套进气装置。真空测量与抽空效率1、采用NYGF-Ⅱ型数显复合真空计（105~10-5Pa），配备ZJ27与ZJ52金属真空规管，接口规格均为CF35;2、系统极限真空6×10-5Pa；3、恢复真空抽气时间：抽至1×10-3Pa≤15min（分子泵全开启）；蒸镀系统蒸发电极1、12对水冷蒸发电极位于腔室底部，对称状分布；4对电极用于蒸镀金属，其余的用于蒸镀有机物。均匀分布在底板的3个区域，每个区域四对电极采用一套公共端

3、，三个区域有隔离，避免交叉污染；2、蒸距调整幅度：100～200mm高度可调3、蒸发舟：V形钼舟10个，，钨舟10个，钨丝一公斤。要求拆卸更换方便。蒸发电源1、3套蒸发电源，通过切换分别满足对三个蒸发区域内任意3对电极上电（各区域内任选一对），满足混蒸要求；2、蒸发金属的电源功率1500VA，有机源功率1000VA，各电源配备蒸发电流数显装置；第8页共9页样品架1样品架可以一次安放三块基片，每个基片配独立挡板，满足所有基片不被污染。基片架上配掩膜板，每个基片架上的掩膜板有三种图形，真空状态下更换掩膜图形时定位准确；2掩膜板的特殊要求：每个基片所配的掩膜板至少有一个图形具有与样品

4、紧密接触的功能，在真空状态下与其它的非接触式掩膜图形更换要连续迅速；每一个样品需要有自己的独立挡板，在同一真空状态下可以连续蒸镀1～12层不同材料的3个独立实验的样品器件。膜厚测量膜厚仪配备上海泰尧FTM-Ⅴ型膜厚仪一台，6MHZ晶振探头2只，探头安装位可根据需要调整。其他真空保护对泵、电极等缺水、电源过流、断路等异常情况执行相应保护措施设备尺寸宽度不超过1.2米，长度不超过2.0米，高度不超过1.8米(二)投标说明本次投标采用电子邮件投标，需要提交的投标资料包括：1.报价表。报价应为含税价，包括：税金、运输、安装、调试、培训、售后服务等一切费用，除非采购人有新的要求，否则，不

5、再增加任何费用。2.投报设备的图样、详细技术参数、主要性能指标、规格型号、配置清单等资料。3.投标指标与采购指标之间的对照表，并注明偏离情况。4.供货时间承诺书及售后服务承诺书（含免费保修时间）。5.投标人原则上必须完全响应采购合同（见附件）的所有条款，如有异议，必须提交“合同条款偏离说明书”，否则，视为完全响应。采购合同如与本项目的需求书及投标说明有矛盾或不一致的地方，以采购人的解释为准。6.投标人的详细资料（营业执照、资质证明等）及联系方式（联系人和联系电话）。7.投标人认为有必要说明的事项。8.以上投标资料在投标截止时间6月23日12:00时前发送到：ztb@wyu.cn

6、。发送完成后，务必电话与采购人联系确认是否收到。采购人联系电话：0750-3296186，13702275462，联系人：陈老师。9.本项目使用部门联系方式：联系电话：0750-3296040；联系人：白钰老师。（招投标管理中心联系方式：联系电话：3296187、13702275462；联系人：陈老师；办公地点：五邑大学教学主楼651室；通信地址：广东省江门市五邑大学招投标管理中心）。五邑大学招投标管理中心2010年6月17日第8页共9页附件：采购合同货物采购合同项目名称：真空蒸发镀膜机采购合同总价：人民币元（大写:）采购单位：五邑大学供应单位：签订日期：2010年6月日第8页

7、共9页网上竞价货物采购合同甲方：五邑大学乙方：甲乙双方根据《中华人民共和国合同法》和《中华人民共和国政府采购法》等有关法律法规的规定，按照网上竞价申购单号：的中标结果，经双方协商一致，订立合同如下：第一条合同标的1.合同内容包括货物供货、运输、仓储、保险、安装、调试、培训、验收、技术服务（包括技术资料、图纸的提供）、质保期保障等全部相关服务。2.货物名称、型号、规格、技术参数、配置清单、制造商、数量、单价等：见附件第二条价格1.合同总价：（人民币）大写：(￥元)。2.合同总价包括了货物的全部