半导体薄膜用镍铂靶材讨论稿-中国有色金属标准质量信息网

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1、GB/T××××—××××ICS77.150.30H62YS发布中华人民共和国工业和信息化部××××-××-××实施××××-××-××发布半导体薄膜用镍铂靶材SputteringNickel-PlatinumTargetusedinSemiconductorFilm（讨论稿）2012.3.20YS/T××××—××××中华人民共和国有色金属行业标准1YS/T××××—××××前言本标准是根据近年来半导体薄膜制造技术的日趋成熟，首次制定。本标准由全国有色金属标准化技术委员提出并归口。本标准起草单位：有研亿金新材料股份有限公司

2、。本标准主要起草人：。IYS/T××××—××××半导体薄膜用镍铂靶材1　范围本标准规定了半导体薄膜用镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材（以下简称镍铂靶）。2　规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GJB1580A变形金属超声检验方法GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则YS/T347铜及铜合金

3、平均晶粒度测定方法YS/T镍铂合金中铂含量分析YS/T镍铂合金中杂质元素含量分析3　要求3.1　产品分类镍铂靶型号分类按照化学成分分成4个牌号：NiPt5、NiPt15、NiPt30、NiPt60。3.2　成分要求镍铂靶的成分及杂质元素要求应符合表1、表2规定。表1　镍铂合金元素化学成分比及其偏差产品名称化学成分质量比偏差Ni：PtPtNiPt595:5±1NiPt1585：15±1NiPt3070：30±1.5NiPt6040:60±2表2　镍铂靶材化学成分表镍铂含量不小于（%）99.95%99.99%99.995%简称3

4、N54N4N5杂质含量，不大于，10-6Ag—≤250.1Al50（10）0.55YS/T××××—××××As（8）Au——B——0.1Ba——Bi（3）Ca——0.5Cd—（3）Cl—0.5Co—503Cr—202Cu50152F—Fe100206Ga——Ge——K——0.1Li——Mg50（10）6Mn50100.5Mo——Na——0.05Na+Li+K—Nb——NiPPb5030.5Sb（3）Se—Si50101Sm0.1Sn50（3）Te—Th——0.001Ti——U——0.001U+Th—V——0.5W——Zn5

5、0100.1Zr——Total≤500≤100≤50H105YS/T××××—××××气体杂质含量，不大于，10-6C50N30O50杂质总含量，不大于（不包含C、H、O、N），%0.050.010.005注：客户对特定杂质元素含量有要求的,由供需双方协商.1.1　镍铂靶晶粒度镍铂靶的平均晶粒度应小于等于100μm，最大值应小于等于150μm，并且晶粒分布均匀。注：客户有要求的应按照客户要求1.2　内部质量镍铂靶坯内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方生产工艺保证。需方有特殊要求时按GJB1580A标准执行。1.3　

6、焊接质量镍铂靶的焊接分为钎焊和非钎焊。焊接质量应符合表3的规定，需方如有特殊要求时，由供需双方商定。表3焊接质量要求焊接方式焊接结合率单个未焊合间隙面积/总面积钎焊≥95%≤2%非钎焊≥98%≤1%1.4　几何尺寸与允许偏差1.4.1　镍铂靶按照形状通常可分为圆形、矩形和其他形状，按照结构方式可分为单体型和焊接型两类，靶材的背板可包括铜及铜合金、铝及铝合金等。1.4.2　半导体用镍铂靶，其尺寸、规格及结构方式与用户使用的溅射机台类型有关，一般由客户提供图纸，经双方确认后，方可生产。1.5　外观质量镍铂靶表面应清洁光滑，无指痕

7、，无油污和锈蚀，应无拉伸润滑痕迹，颗粒附加物和其它沾污，应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。2　试验方法2.1　镍铂靶化学成分的分析方法2.1.1　Pt元素及金属杂质元素的分析方法按照YS/T***镍铂化学分析方法标准执行。2.1.2　气体元素H、O、N、C的分析方法按照GB/T14265金属材料中H、O、N、C分析方法通则标准执行。2.2　镍铂靶的晶粒度检验按照YS/T347进行观察、评定和确认。2.3　镍铂靶内部质量的检验按GJB1580A规定进行。2.4　镍铂靶焊合质量的检验按YS/T***溅射靶材-背板结合质量超声波检

8、验方法标准进行。2.5　尺寸检测方法2.5.1　半导体用镍铂靶的几何尺寸通过三维坐标测定仪（CMM），按照加工图纸标识尺寸进行测定，测定精度为0.001mm。5YS/T××××—××××1.1　外观质量及内包装质量用目视检查，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。2　检验规则2.1