jsm-6390系列扫描电镜性能介绍

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1、数字化扫描电镜JSM-6390系列主要性能简介JSM-6390钨灯丝扫描电镜，是日本电子株式会社在2006年1月10日推出的最新型号的数字化扫描电镜。是在近几年销售名列前茅深受好评的JSM-6360,JSM-6380的基础上，将电子光学系统进行技术革新，并保留了JSM-6360、JSM-6380良好的操作界面和出色稳定的控制系统，堪称世界上最先进的扫描电子显微镜。主要特点为全数字化控制系统，高分辨率、高精度的变焦聚光镜系统、全对中样品台及高灵敏度半导体背散射探头、丰富的成像模式等；用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。该型号在很多大学、研究院所及制造

2、业被广泛使用。该系列有四种型号：JSM-6390JSM-6390LVJSM-6390AJSM-6390LA高真空扫描电镜高、低真空扫描电镜高真空分析型扫描电镜，能谱一体化高、低真空分析型扫描电镜，能谱一体化价格为11万美元价格为13万美元价格为16万美元价格为18万美元请参考用户名单。一、电子光学系统的特点1.分辨率(Resolution)高真空模式：3.0nm（30kV），8.0nm（3kV），15nm（1kV），JSM-6390LV既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像。在低电压下提供的分辨率是世界上最高的分辨率指标，对于非导体样品观察意义重大。2

3、.全自动电子枪(FullyAutomatedElectronGun)当真空度达到要求后，只需按下HT按钮，加速电压的提升、灯丝的加热及图像的自动出现全部自动完成。无缝自主栅偏压和消像散的自动记忆功能均自动实现。3.大视野观察范围（LargeFieldofView）最低的放大倍数可达5倍，可观测到24mm见方的样品，便于用户分析寻找样品。4.高精度的变焦聚光镜系统(PrecisionZoomCondenserlens)探测电流发生变化时，图像的聚焦状态可保持不变。5.超级圆锥形物镜(SuperConicalObjectiveLens)超级圆锥形物镜允许样品在较小的工作距

4、离下，得到较大的倾斜角。在10mmWD的距离下，完成能谱的分析工作的同时可得到高分辨的图像。6.高灵敏度半导体背散射探头(Highsensitivitysemiconductordetector)此探头是日本电子的专利产品，它可提供三种图像：成分像、形貌像和立体像。7.全对中的样品台(EucentricStage)这种样品台保证样品旋转或倾斜时，被观察点聚焦状态不变,而且JSM-6390在任何工作距离下均能保持这种功能。-7-8.大样品室(Largespecimenchamber)JSM-6390可对直径为(150mm)的样品进行直接观察。9.样品观察条件自选(Sma

5、rtsettingsforcommonsamples)JSM-6390LV针对不同种类的样品设定了最佳光学参数，用户可以根据样品的种类选择、迅速到达最佳观察状态。10.多种成像模式(Multidisplay)JSM-6390LV可以同时显示二次电子图像和背散射电子图像。并且在某一种信号图像上任一区域显示另一种信号图像，对于更好地研究研究样品形貌和结构提供方便的功能。11.混合信号功能(signalmixing)JSM-6390LV可以将二次电子和背散射电子信号按照任意比例混合，以期得到最佳成像效果。12.各种探测探头的选配(VarietyofDetectorsMoun

6、ted)可以同时选配能谱、波谱和EBSD探头等。特别是二次电子探头、能谱和EBSD探头放在同一个区域，可以同时对样品的形貌、成份和结构进行研究，非常方便。二、数字化图像的输出JSM-6390中，数字化图像已完全取代模拟图像，这为图像处理提供了基础。图像可以方便地通过计算机进行存储，也可将图像存入光盘或打印。随机通常提供图像处理软件，可对图像进行分类管理、存储、排版和测量等功能。另外，对电镜观察过程进行录像记录。低真空扫描电镜(LowVacuumSEM)常规电镜要求被分析的样品具有良好的导电性，否则需在观察前进行表面喷碳和溅射金属的预处理。样品自然状态的观察成为人们追求

7、的目标，为此，日本电子推出了低真空扫描电镜，在低真空状态下，对非导体样品进行直接观察和能谱分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等部门，低真空技术有着突出的作用，对于生物样品，如组织、脂肪、花粉和根茎等，经我们特有的简单处理后，也可直接观察。低真空扫描电镜同时可作为高真空扫描电镜来使用，事实上，二者之间的切换只需按钮切换来实现的。三、扫描电镜的基本配置及价格通常我们提供的扫描电镜的构成包括了：主机单元、必不可少选件和选件部分。主机单元包括：主机、真空系统、计算机单元等。必不可少选件：稳压电源、冷却循环水单元和降压变压器。选件部分：能谱仪连接控制单元、马达驱