marc-d-ⅲa激光干涉仪说明书 - 南京英特飞光电技术有限公司

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1、Marc60-D-ⅢA激光干涉仪使用说明书南京英特飞光电技术有限公司2015年4月Marc-60-Ⅱ激光干涉仪使用说明书9/9目录一、干涉仪安装与环境条件要求…………………………………（2）二、仪器主要技术指标……………………………………………（3）三、仪器简介………………………………………………………（3）四、仪器主要用途…………………………………………………（4）五、标准透镜选取原则……………………………………………（5）六、仪器操作使用…………………………………………………（6）七、测试结果分析…………………………………………………（8）八、常见故障排除…………

2、………………………………………（8）九、注意事项………………………………………………………（9）十、联系方式………………………………………………………（9）十一、附图：测试工装加工图纸…………………………………(10)Marc-60-Ⅱ激光干涉仪使用说明书9/9友情提醒：本仪器说明书内容为Marc60-D-ⅢA型干涉仪的使用及安装说明。请用户安装和使用本干涉仪前仔细阅读说明书。一、干涉仪安装与环境条件要求1．整机及配件Marc60-D-ⅢA激光干涉仪整机装箱应包括：干涉仪主机、液晶显示器(含电源)、电源变换器（220V交流-12V直流）、视频连接线、说明书及装箱单。选

3、配件（标准镜头、干涉图拷贝打印系统等）在装箱单上另行列明。2．干涉仪安装和显示器的连接：干涉仪右侧面板接线位置见图11)开箱后将干涉仪安放在适合的工作台上后，首先卸去干涉仪立柱上的两个固定螺丝（运输时用于固定内部配重块），使干涉仪上的工作平台可以沿导轨上、下移动。显示器开箱后将显示器座扳到合适的角度位置放置在干涉仪旁。2)连接干涉仪主机上的电源：将干涉仪用的直流电源变换器12V输出端插入干涉仪右下方“12V输入”插孔内，另一端插到220V交流电源。3)干涉仪与液晶显示器的连接：视频线的一头插到显示器下方左侧第一个插孔内，另一端插到干涉仪右下方的“视频信号输出”插孔内。

4、3、开机：依次打开干涉仪右下方的“电源开关”和显示器的“电源按钮”（位于显示器下方右侧第一个按钮）。此时干涉仪主机上应有红色激光射出（请勿用眼睛直接观看，以免灼伤眼睛），显示器应有显示。图1干涉仪右侧接线位置图4．干涉仪对环境条件要求Marc60-D-ⅢA激光干涉仪要求安放在平整、稳定的桌面上，周围无振动源。在测量使用时，室内应处于恒温状态下，室内恒温应保持20℃±3℃，温度梯度≯Marc-60-Ⅱ激光干涉仪使用说明书9/91℃/h；相对湿度≯60%。警告：激光危险，禁止用眼睛直接观察二、仪器主要技术指标本干涉仪技术指标符合南京英特飞光电技术有限公司企业标准Q/320

5、2YTF001-20151．仪器口径：φ60mm2．仪器光源：Marc60-D-ⅢA为半导体激光器，λ=635nm3．仪器精度：λ/20（平面），λ/10（球面）4．调节范围：Z轴的有效行程为500mm调整架调整X/Y轴为（＋/－8mm）5．外形尺寸：Marc60-D-ⅢA500（长）×300（宽）×920（高）mm重77KG6．输出：标准视频信号（可为图像采集卡直接接收）7．光路切换：调整（十字叉丝）与测试（干涉图）之间为电控切换8．图像接收：CCD摄像机9．螺纹接口：M104×1干涉仪附带一个供调试干涉仪时用的测试工装。客户可根据本说明书后附录图纸加工合适自己的工

6、装使用。10．电源：220V/50Hz11．标准镜头（供用户选购）：（1）标准平面镜（λ/20）：Φ60mm（2）标准镜头（λ/10）：F0.6、F0.7、F1.0、F1.5、F2.0、F2.8、F5.0、F8.0三、仪器简介1．仪器特点干涉仪立式倒置斐索型干涉仪。其结构紧凑、操作方便、仪器自带隔振器，在加工现场使用时能够取得较好的效果；测量时摆放工件方便，使测量迅速、快捷，特别适于在线测量。导轨有效行程500mm，可以基本满足常规中小球面光学零件的测量范围。由于仪器采用切换按钮转换“对点”状态和“测试”状态，使得仪器在测量时易于调整，即使对干涉仪不甚熟悉的人员，亦可

7、以很快调整出干涉图形。另外，仪器如另选配置“二维调整架”便可以进行平面光学镜片的测试。也可以配置光栅测长系统进行球面曲率半径的测量。2．仪器外形结构图如图2Marc-60-Ⅱ激光干涉仪使用说明书9/9图2Marc60-D-ⅢA激光干涉仪四、仪器主要用途1．检测平面零件面形误差和局部误差将标准平面镜装入仪器上后，可对平面零件面形误差和局部误差进行检测。2．检测球面零件面形误差和局部误差装入不同F数的标准镜头，可测量不同曲率半径和口径的球面零件的面形局部误差。当采用与被测球面参数相同，高质量面形误差的标准球面作参照比对时，可测量球面零件的面形误差。五、标